Atmosphärenofen
1200C Atmosphäregeregelter automatischer Bodenbeladungsofen mit 6-Zoll-Quarzrohr-Dualzonensystem
Artikelnummer: TU-DZ14
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Produktübersicht




Dieses hochleistungsfähige thermische Verarbeitungssystem ist der Höhepunkt automatisierter Laborgeräte, speziell entwickelt für fortschrittliche materialwissenschaftliche und industrielle F&E-Anwendungen. Durch die Kombination einer maximalen Betriebstemperatur von 1200°C mit einem ausgeklügelten Bodenbeladungsmechanismus bietet das Gerät eine stabile und wiederholbare Umgebung für komplexe Wärmebehandlungen. Die Integration eines großen 6-Zoll-Quarzrohres mit großem Durchmesser ermöglicht die Verarbeitung sperriger Proben oder Chargen mit hohem Durchsatz, während gleichzeitig die höchsten Standards für Reinheit und Atmosphärenkontrolle eingehalten werden. Diese Einheit ist für Forscher konzipiert, die Präzision ohne Kompromisse bei der Kapazität benötigen, und bietet eine vielseitige Plattform sowohl für Vakuum- als auch für kontrollierte Gasumgebungen.
Das System ist auf Branchen wie Halbleiterfertigung, Luft- und Raumfahrtmaterialprüfung und fortschrittliche Keramik ausgerichtet und unterstützt kritische Prozesse wie Sintern, Glühen und chemische Gasphasenabscheidung. Seine vertikale Ausrichtung und der automatisierte Probentisch minimieren das Risiko von Probenkontamination und thermischem Schock und gewährleisten, dass empfindliche Substrate mit größter Sorgfalt gehandhabt werden. Die robuste Konstruktion ist dafür gebaut, den Belastungen des Dauerbetriebs standzuhalten, und bietet industrielle Zuverlässigkeit in einem Format, das für hochwertige Laborumgebungen geeignet ist. Ob für einzelne Experimente oder integriert in eine größere automatisierte Produktionslinie – das System liefert konsistente, hochgenaue Ergebnisse, die die strengen Anforderungen moderner Technik erfüllen.
Vertrauen in dieses Gerät wird durch seine präzisionsgefertigten Komponenten und autonomen Fähigkeiten untermauert. Das System ist für den 24/7-Betrieb ausgelegt und verwendet hochwertige FeCrAlMo-Heizelemente sowie eine fortschrittliche PID-Steuerung, um thermische Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Durch die Reduzierung manueller Eingriffe erhöht das Gerät Sicherheit und Effizienz, sodass das Personal sich auf die Datenanalyse statt auf Geräteverwaltung konzentrieren kann. Diese Einheit ist nicht nur ein Ofen – sie ist eine umfassende Lösung für thermische Verarbeitung, die entwickelt wurde, um das Innovationstempo bei der Materialentwicklung und industriellen Prozessoptimierung zu beschleunigen.
Hauptmerkmale
- Automatisierter Bodenbeladungsmechanismus: Der präzise motorgetriebene Probentisch ermöglicht eine sanfte, vibrationsfreie Bewegung von Proben in die Heizzone. Diese vertikale Beladungskonfiguration ist ideal, um thermische Symmetrie zu gewährleisten und die Handhabung großer oder schwerer Tiegel zu vereinfachen, ohne die interne Atmosphäre zu stören.
- Dualzonen-Temperaturregelung: Mit zwei unabhängigen Heizzonen mit einer Gesamtlänge von 350 mm bietet das System beispiellose Flexibilität bei der Erstellung spezifischer Temperaturgradienten oder der Aufrechterhaltung einer breiten, ultrahomogenen Konstanttemperaturzone von 120 mm innerhalb von ±2°C.
- Integriertes Atmosphärenmanagement: Ausgestattet mit einem 1–1000 sccm Massenflussregler (MFC) und wassergekühlten Edelstahlflanschen ermöglicht die Einheit präzise Gaszufuhr und Druckregelung und unterstützt problemlos inerte, oxidierende oder reduzierende Atmosphären.
- Hochreine Quarzkammer: Das 150 mm Quarzrohr (Außendurchmesser) bietet eine chemisch inerte Umgebung, die thermischem Schock widersteht und die visuelle Überwachung des Prozesses ermöglicht. Seine hohe Transparenz ist für Forscher unerlässlich, die physikalische Veränderungen von Materialien während Heizzyklen verfolgen.
- Bereit für autonomen Betrieb: Das System ist vollständig kompatibel mit PC-Integration und Roboterarmsteuerung und ermöglicht 24/7-autonomen Betrieb. Dies ermöglicht Hochdurchsatz-Screening und langfristige Stabilitätstests ohne ständige menschliche Überwachung.
- Fortgeschrittene Touchscreen-Oberfläche: Ein benutzerfreundliches Panel integriert alle Verarbeitungsparameter, einschließlich Heiz-/Kühlraten und Haltezeiten. Bediener können 50-segmentige Profile programmieren und komplexe Temperaturrezepte mit einem einzigen Tippen ausführen.
- Überlegene Vakuumleistung: Durch die Verwendung hochwertiger Dichtungsflansche und optionale Molekularpumpen-Upgrades kann das System Vakuumniveaus bis zu 10⁻⁵ Torr erreichen, was es für feuchtigkeits- oder sauerstoffempfindliche Prozesse geeignet macht.
- Umfassendes Kühlsystem: Ein standardmäßiger 16 l/min Umlaufwasserkühler ist enthalten, um die Silikon-O-Ringe zu schützen und die Integrität der Dichtungsflansche zu erhalten. Dies gewährleistet die langfristige Haltbarkeit der Vakuumdichtungen auch bei andauernden Hochtemperaturläufen.
- Wasserstoff-Sicherheits-Upgrades: Für spezielle Metallurgie kann die Einheit mit einem automatischen Wasserstoffgasbrenner, Leckdetektor und Zufuhrmodul aufgerüstet werden, wodurch sie zu einem Ofen mit hoher Sicherheit für wasserstoffbasierte Prozesse wird.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Halbleiterglühen | Präzise Wärmebehandlung von Silizium- oder Verbindungshalbleiterwafern unter kontrollierten Gasströmen. | Minimiert Defekte und verbessert die Ladungsträgerbeweglichkeit durch ultrastabile Temperaturzonen. |
| Technisches Keramiksintern | Hochtemperaturverfestigung von fortschrittlichen Keramikpulvern zu dichten, hochfesten Bauteilen. | Automatisierte Beladung verhindert mechanischen Schock an empfindlichen Grünteilen. |
| Dünnschichtabscheidung | Nutzung der Dualzonenkonfiguration für Dampftransport oder CVD-Prozesse auf verschiedenen Substraten. | Ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über den großen 6-Zoll-Durchmesser gewährleistet konsistente Schichtdicke. |
| Hochdurchsatz-Screening | Durchführung kontinuierlicher, automatisierter Chargenzyklen für die Materialentdeckung durch Roboterintegration. | Reduziert Personalkosten und beschleunigt F&E-Zeitpläne durch 24/7-autonomen Betrieb. |
| Synthese von Batteriematerialien | Kalzinierung und Synthese von Kathoden-/Anodenmaterialien in spezifischen inerten oder reaktiven Atmosphären. | Verhindert Oxidation und gewährleistet chemische Reinheit durch Hochvakuum- und MFC-Steuerung. |
| Wasserstofflöten | Verbindung von spezialisierten Metallbauteilen in einer reduzierenden Wasserstoffatmosphäre zur Oxidationsverhütung. | Integrierte Sicherheitsbrenner und Leckerkennung bieten eine sichere Umgebung für gefährliche Gase. |
| Kristallwachstum | Kontrollierte Kühlung und Temperaturgradienten für das Wachstum hochreiner Einkristalle. | Dualzonen-PID-Steuerung ermöglicht den exakten Temperaturverlauf, der für hochwertige Kristallisation benötigt wird. |
Technische Spezifikationen
| Parameterkategorie | Spezifikationsdetails für TU-DZ14 |
|---|---|
| Modellnummer | TU-DZ14 |
| Stromversorgung | 220VAC +/- 10%, 50/60Hz, Einphasen |
| Maximale Leistung | Max. 6,0 kW |
| Max. Arbeitstemperatur | 1200℃ (Dauer ≤ 30 Minuten) |
| Dauertemperatur | 1100℃ (Dauerbetrieb) |
| Heizelemente | Hochwertiger FeCrAlMo-Widerstandsdraht |
| Heizzonenkonfiguration | Dualzonen: 175mm (Zone 1) + 175mm (Zone 2) |
| Gesamtheizzonenlänge | 350 mm |
| Gleichmäßige Temperaturzone | 120 mm (gehalten innerhalb von ±2°C) |
| Heizrate | Empfohlen 10°C / Minute |
| Steuerungsschnittstelle | Integriertes Touchscreen-Panel mit PLC-Logik |
| Temperaturregler | Duale 50-segmentig programmierbare Regler |
| Genauigkeit | Standard ±1°C (Optionales Eurotherm-Upgrade auf ±0,1°C) |
| Thermoelemente | Duale hochpräzise Sonden vom Typ K |
| Fernkonnektivität | Standardmäßiger DB9-PC-Anschluss mit mitgelieferter Software für Fernüberwachung |
| Prozessrohrabmessungen | Geschmolzenes Quarz: 150 mm AD x 144 mm ID x 600 mm Länge |
| Flanschanordnung | Wassergekühltes SS304; Oben: Vakuum-/Gasanschlüsse; Unten: Probentisch |
| Gashandhabung | 1x Massenflussregler (MFC), Bereich: 1 - 1000 sccm |
| Probentisch | 130 mm Durchmesser Quarzplatte (anpassbar für hohen Durchsatz) |
| Kühlsystem | 16 l/min Umlaufwasserkühler inklusive |
| Vakuumfähigkeit | Mechanisch: 10⁻² Torr; Molekular (Optional): 10⁻⁵ Torr |
| Zertifizierungen | Optionale NRTL-zertifizierte 240 l/min schwere Vakuumpumpe verfügbar |
Warum Sie uns wählen sollten
- Unübertroffene Präzision und Stabilität: Die Dualzonen-Heizarchitektur des Systems stellt sicher, dass Ihre Proben das exakte Temperaturprofil erhalten, das für wiederholbare Materialeigenschaften erforderlich ist – unterstützt durch hochgenaue Sensoren vom Typ K und PID-Logik.
- Skalierbare Automatisierung: Dieses Gerät ist auf die Zukunft der Laborarbeit ausgelegt und wechselt nahtlos von manueller Forschung zu vollständig autonomem, robotergestütztem Betrieb, was den Output und ROI Ihres Labors deutlich erhöht.
- Robuste Konstruktion für industriellen Einsatz: Von den wassergekühlten SS304-Flanschen bis zur schweren Quarzkammer wird jede Komponente danach ausgewählt, kontinuierliche thermische Zyklen und anspruchsvolle chemische Umgebungen zu widerstehen.
- Flexibles Atmosphärenmanagement: Unabhängig davon, ob Ihr Prozess Hochvakuum, Inertgasspülung oder reaktive Wasserstoffatmosphären erfordert, bietet diese Einheit die Modularität und Sicherheitsfunktionen, um unterschiedliche experimentelle Anforderungen auf einer einzigen Plattform zu bewältigen.
- Umfassender Support und Anpassung: THERMUNITS bietet tiefgreifende technische Expertise zur Anpassung von Probentischen, Tiegeln und Gaszufuhrsystemen, um sicherzustellen, dass das Gerät bereit für die Integration in Ihren spezifischen Arbeitsablauf ist.
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