1000 °C Hochtemperatur-Vakuumofen mit 8-Zoll-ID-Kammer für Materialsintern und Forschungsglühen

Vakuumofen

1000 °C Hochtemperatur-Vakuumofen mit 8-Zoll-ID-Kammer für Materialsintern und Forschungsglühen

Artikelnummer: TU-ZK05

Ultimatives Vakuum: ≤ 7E-7 Torr (Edelstahlkammer) Temperaturgenauigkeit: ±0,1°C Max. Arbeitstemperatur: 1000°C (Quarz) / 800°C (Edelstahl)
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Produktübersicht

Produktbild 4

Dieser leistungsstarke Vakuumofen mit Top-Loading-Design wurde entwickelt, um Forschern und Industrieingenieuren im Bereich der Materialwissenschaft eine fortschrittliche thermische Verarbeitung zu ermöglichen. Durch die Integration einer Heizkammer mit großem Durchmesser und hochentwickelter Vakuumtechnologie bietet das System eine kontrollierte Umgebung, die für Prozesse unerlässlich ist, die empfindlich auf atmosphärische Verunreinigungen reagieren. Das Gerät ist so konzipiert, dass es nahtlos zwischen Reaktionsgefäßen aus Edelstahl und Quarz wechseln kann, sodass Anwender je nach spezifischen Projektanforderungen entweder ultrahohe Vakuumniveaus oder höhere Betriebstemperaturen priorisieren können. Sein Hauptnutzen liegt in der Fähigkeit, bei längeren Heizzyklen eine außergewöhnliche thermische Stabilität und Vakuumintegrität aufrechtzuerhalten, was ihn zu einem Eckpfeiler für Labor- und Pilotproduktionen macht.

Das System wird hauptsächlich in Sektoren wie der Halbleiterfertigung, der Luft- und Raumfahrttechnik und der modernen Metallurgie eingesetzt. Es zeichnet sich bei Anwendungen aus, die Vakuumglühen, das Löten unterschiedlicher Metalle und das Sintern hochreiner Keramiken erfordern. Durch die Verwendung einer Zwei-Zonen-Heizkonfiguration stellt das Gerät sicher, dass Proben einem gleichmäßigen thermischen Feld ausgesetzt sind, was interne Spannungen reduziert und die strukturelle Integrität der verarbeiteten Materialien verbessert. Dies macht das Gerät besonders geeignet für die Entwicklung neuer Legierungen, elektronischer Komponenten und Hochleistungsverbundwerkstoffe, bei denen Präzision und Wiederholbarkeit unerlässlich sind.

Zuverlässigkeit steht im Mittelpunkt der Designphilosophie. Konstruiert mit erstklassigen Komponenten, einschließlich Eurotherm-Temperaturreglern und hocheffizienten Heizelementen, ist dieses System so gebaut, dass es den Anforderungen anspruchsvoller industrieller Forschungsumgebungen standhält. Das Kühlsystem und die robusten Flanschdesigns gewährleisten die Betriebssicherheit selbst bei maximalen Temperaturen und geben Benutzern die Sicherheit, komplexe, mehrstufige thermische Profile durchzuführen. Ob für die routinemäßige Wärmebehandlung oder modernste Materialsynthese eingesetzt, liefert dieses Gerät die konsistente Leistung, die erforderlich ist, um die Grenzen der modernen Fertigung und F&E zu erweitern.

Hauptmerkmale

  • Vielseitige Kammeroptionen aus zwei Materialien: Benutzer können zwischen einer äußerst langlebigen Edelstahlkammer (SS310) für Ultrahochvakuum-Anwendungen (bis zu 7E-7 Torr) oder einer hochreinen Quarzkammer für Anwendungen wählen, die Temperaturen bis zu 1000 °C erfordern, was eine beispiellose Flexibilität im experimentellen Design bietet.
  • Fortschrittliche Zwei-Zonen-Heizarchitektur: Das System integriert sowohl Boden- als auch Seitenheizelemente und schafft so eine 3D-thermische Umgebung, die eine überragende Temperaturgleichmäßigkeit über den gesamten effektiven Heizbereich gewährleistet, was für große oder komplexe Probengeometrien entscheidend ist.
  • Präzise Eurotherm-PID-Steuerung: Ausgestattet mit zwei EPC3004 Eurotherm-Reglern bietet der Ofen eine Genauigkeit und Auflösung von ±0,1 °C. Diese hochpräzise Steuerung ermöglicht 28 programmierbare Segmente und die Ausführung komplexer Ramp-and-Soak-Profile mit extremer Wiederholbarkeit.
  • Ultrahochvakuum-Kompatibilität: Das Gerät verfügt über einen dedizierten DN63-Anschluss für den direkten Anschluss an eine Turbomolekularpumpe. Dieser optimierte Strömungspfad ermöglicht es dem System, ein Endvakuum von bis zu 7E-7 Torr zu erreichen, wodurch Oxidation und Restgasverunreinigungen effektiv eliminiert werden.
  • Integriertes Wasserkühlsystem: Hochtemperaturbetriebe werden durch einen Push-to-Connect-Wasserkühlkreislauf für die Flansche unterstützt. Diese Schutzmaßnahme verhindert thermische Schäden an Vakuumdichtungen und stellt sicher, dass die Außenseite berührungssicher bleibt, was die Langlebigkeit des Geräts erhält.
  • Verbesserte Wärmedämmung: Ein hochreiner Quarz-Thermiblock wird verwendet, um eine saubere, klar definierte Glühumgebung zu schaffen. Diese Designwahl minimiert den Wärmeverlust und verhindert die Migration von Verunreinigungen aus der Isolierung in die Verarbeitungszone.
  • Robuste Sicherheit und Überwachung: Das System umfasst integrierte Thermoelemente (Typ K) und RS485-Kommunikationsanschlüsse für die Fernprotokollierung und -überwachung von Daten. Das Design hält sich strikt an Sicherheitsprotokolle für den Vakuum- und Umgebungsdruckbetrieb und stellt sicher, dass das Gefäß niemals versehentlich unter Überdruck gesetzt wird.
  • Große Verarbeitungskammer: Mit einem Innendurchmesser von 200 mm (ca. 8 Zoll) und einer Höhe von 350 mm bietet der Ofen Platz für beträchtliche Probengrößen und eignet sich somit sowohl für die industrielle Kleinserienproduktion als auch für diverse akademische Forschungsprojekte.

Anwendungen

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
Vakuumglühen Entfernung interner Spannungen in Metallkomponenten in einer sauerstofffreien Umgebung. Verhindert Oxidation und Zunderbildung auf Oberflächen.
Diffusionslöten Verbinden von Hochleistungslegierungen und unterschiedlichen Materialien mittels Hitze und Vakuum. Erzeugt hochfeste, leckdichte Verbindungen ohne Flussmittel.
Keramiksintern Konsolidierung von Keramikpulvern zu hochdichten Strukturbauteilen. Erreicht gleichmäßige Dichte und überragende mechanische Eigenschaften.
Halbleiterverarbeitung Thermische Behandlung von Wafern und Substratmaterialien in einer reinraumkompatiblen Anlage. Gewährleistet hohe Reinheit und eliminiert Spurenverunreinigungen.
Entgasung Erhitzen von Materialien unter Vakuum zur Entfernung eingeschlossener Gase oder Feuchtigkeit. Verbessert die Materialstabilität für Luft- und Raumfahrt sowie Vakuumanwendungen.
Metallpulverspritzguss (MIM) Nachbearbeitung von MIM-Teilen zur Erzielung der Enddichte und strukturellen Verfeinerung. Liefert konsistente Schrumpfung und Teilegeometrie.
CVD-Vorbehandlung Reinigung und Vorbereitung von Substratoberflächen vor der chemischen Gasphasenabscheidung. Verbessert die Schichthaftung und Filmgleichmäßigkeit.
Nuklearforschung Verarbeitung spezialisierter Materialien und Isotope unter streng kontrollierten thermischen Bedingungen. Bietet hochpräzise Eindämmung und thermische Kontrolle.

Technische Spezifikationen

Parameter Edelstahlkammer-Variante (TU-ZK05-SS) Quarzkammer-Variante (TU-ZK05-Q)
Produktartikelnummer TU-ZK05-SS TU-ZK05-Q
Reaktionsgefäßmaterial 310 Edelstahl (SS310) Hochreiner Quarz
Gefäßabmessungen Ø216 × Ø206 × 600H mm Ø216 × Ø206 × 600H mm
Max. Arbeitstemp. 800 °C 1000 °C
Endvakuum ≤ 7E-7 Torr (mit Turbopumpe) ≤ 7E-6 Torr (mit Turbopumpe)
Vakuumflanschtyp DN200 CF DN200 ISO-K
Heizzonen Zwei (Seite und Boden) Zwei (Seite und Boden)
Heizbereich-Abm. ID 250 × H 350 mm ID 250 × H 350 mm
Effektive Heizzone Ø200 × H 350 mm Ø200 × H 350 mm
Eingangsleistung 208 - 240 VAC, 50/60 Hz, 8 kW 208 - 240 VAC, 50/60 Hz, 8 kW
Heizelemente NiCrAl: Mo NiCrAl: Mo
Heizrate ≤ 10 °C/min ≤ 10 °C/min
Temperaturregler 2x Eurotherm EPC3004 PID 2x Eurotherm EPC3004 PID
Temperaturgenauigkeit ± 0,1 °C ± 0,1 °C
Thermoelement Typ K Typ K
Vakuumanschluss DN63 (vorbereitet für Turbopumpe) DN63 (vorbereitet für Turbopumpe)
Wasserkühlungsbedarf 5-15 L/min; 1500-2500 btu/h 5-15 L/min; 1500-2500 btu/h
Kühlanschlüsse Zwei Ø12 mm Push-to-Connect Zwei Ø12 mm Push-to-Connect
Thermiblock Quarz Ø204 × 158 mm Quarz Ø204 × 158 mm
Konformität CE-zertifiziert CE-zertifiziert

Warum diesen Vakuumofen wählen?

  • Industrielle Präzision: Durch die Verwendung von Eurotherm EPC3004-Reglern bietet dieses System eine Temperaturstabilität (±0,1 °C), die die Standardanforderungen im Labor übertrifft und sicherstellt, dass Forschungsdaten korrekt und Produktionschargen konsistent sind.
  • Zwei-Zonen-Wärmemanagement: Im Gegensatz zu Ein-Zonen-Geräten bewältigt dieser Ofen die Herausforderung thermischer Gradienten durch Wärmezufuhr sowohl von unten als auch von den Seiten, was ein gleichmäßiges Temperaturfeld bietet, das empfindliche Proben vor ungleichmäßiger Ausdehnung oder lokaler Überhitzung schützt.
  • Extreme Vakuumleistung: Die Kompatibilität des Designs mit Turbomolekularpumpen und die Wahl der CF/ISO-K-Flansche ermöglichen es Benutzern, die tiefen Vakuumniveaus zu erreichen, die für sauerstoffempfindliche Materialien und hochreine metallurgische Prozesse erforderlich sind.
  • Auf Langlebigkeit ausgelegt: Von den wassergekühlten Flanschen, die Dichtungen schützen, bis hin zu den Mo-dotierten NiCrAl-Heizelementen wurde jede Komponente aufgrund ihrer Fähigkeit ausgewählt, unter wiederholten thermischen Zyklen in industriellen Umgebungen zuverlässig zu arbeiten.
  • Umfassende Anpassung und Support: Wir bieten flexible Kammeroptionen und können NRTL- oder CSA-Zertifizierungen anbieten, um spezifische regionale Sicherheitsstandards zu erfüllen, wodurch sichergestellt wird, dass sich das Gerät perfekt in den Arbeitsablauf Ihrer Einrichtung integriert.

Unser Ingenieurteam steht Ihnen bei technischen Fragen gerne zur Verfügung oder erstellt Ihnen ein detailliertes Angebot für ein System, das auf Ihre spezifischen thermischen Verarbeitungsanforderungen zugeschnitten ist; kontaktieren Sie uns noch heute, um Ihre Anwendung zu besprechen.

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