Vakuumofen
1100°C Hochtemperatur-Quarzkammerofen, 8 Zoll Außendurchmesser, 7,6 Liter Kapazität und Vakuumatmosphären-Funktion
Artikelnummer: TU-QF01
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Produktübersicht


Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem stellt den Höhepunkt der Wärmebehandlung im Labormaßstab dar und wurde speziell entwickelt, um eine kontrollierte Umgebung für die Materialsynthese und -charakterisierung zu bieten. Im Kern verfügt das Gerät über eine horizontale Quarzkammer mit einem beachtlichen Volumen von 7,6 Litern, die die Verarbeitung großer Proben oder Chargen mit hohem Volumen ermöglicht, während gleichzeitig die für die Halbleiter- und Elektronikmaterialforschung erforderlichen Reinheitsstandards eingehalten werden. Das hermetisch abgedichtete Design stellt sicher, dass Forscher hochstabile thermische Profile unter variierenden Druckbedingungen erreichen können, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Labore macht, die auf Präzision und Wiederholbarkeit ausgerichtet sind.
Das auf Vielseitigkeit ausgelegte System bedient ein breites Spektrum industrieller und akademischer Anwendungen, vom Glühen von Halbleiterwafern bis hin zum Sintern spezialisierter Keramiken und dem Kalzinieren fortschrittlicher Batteriematerialien. Seine robuste Konstruktion ermöglicht den Einsatz in anspruchsvollen F&E-Umgebungen, in denen konsistente Leistung eine unverzichtbare Anforderung ist. Durch die Integration eines Quarzrohrs mit großem Durchmesser und einer hochentwickelten Atmosphärenkontrolle bietet das Gerät eine flexible Plattform für die Entwicklung neuer Materialien und die Verfeinerung komplexer Herstellungsprozesse in den Bereichen Luft- und Raumfahrt, Energie und Elektronik.
Zuverlässigkeit ist in jeden Aspekt der Konstruktion dieses Geräts eingebettet. Von den präzisionsgewickelten Heizelementen bis hin zu den hochintegrierten Edelstahlflanschen wurde jede Komponente so ausgewählt, dass sie den Anforderungen von Hochtemperaturzyklen standhält. Das System behält eine außergewöhnliche thermische Stabilität bei und stellt sicher, dass die experimentellen Ergebnisse sowohl konsistent als auch skalierbar sind. Benutzer können mit vollem Vertrauen arbeiten, da sie wissen, dass das Gerät so konzipiert ist, dass die Integrität des thermischen Zyklus und die Reinheit der Verarbeitungsumgebung auch bei langen Verweilzeiten oder Hochvakuumzyklen geschützt bleiben.
Hauptmerkmale
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Großräumige hochreine Quarzkammer: Das Gerät verwendet ein erstklassiges Quarzrohr mit einem Außendurchmesser von 8 Zoll und einer Länge, die für ein Verarbeitungsvolumen von 7,6 Litern optimiert ist. Diese transparente Kammer ermöglicht eine einfache visuelle Inspektion des thermischen Prozesses und bietet gleichzeitig eine hervorragende chemische Beständigkeit und Thermoschockstabilität. Der große Durchmesser ist speziell für die horizontale Waferverarbeitung oder die Pulverbehandlung mit großem Volumen geeignet und bietet einen erheblichen Durchsatzvorteil gegenüber Standard-Laboröfen mit kleiner Bohrung.
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Präzise thermische Steuerung mit mehreren Segmenten: Ausgestattet mit einem professionellen PID-Regler bietet das System 30 programmierbare Segmente für eine präzise Steuerung der Heiz-, Halte- und Kühlphasen. Dies ermöglicht die Ausführung komplexer thermischer Profile mit einer Genauigkeit von +/- 1°C. Die Auto-Tune-Funktion stellt sicher, dass die PID-Parameter perfekt auf die spezifischen Lastmerkmale abgestimmt sind, wodurch Temperaturüberschwingungen eliminiert und konsistente Ergebnisse von Charge zu Charge sichergestellt werden.
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Hermetische Abdichtung für Vakuum und kontrollierte Atmosphären: Das Gerät verfügt über eine hochentwickelte Edelstahlflanschbaugruppe, die eine echte hermetische Abdichtung erzeugt. Dies ermöglicht den Betrieb unter Hochvakuumniveaus (< 5e-2 Torr) und kontrollierten Inert- oder Reaktivgasatmosphären. Das Dual-Purpose-Design ermöglicht es, innerhalb eines einzigen Aufbaus nahtlos zwischen Vakuumglühen und atmosphärengesteuertem Sintern zu wechseln, was die Laboreffizienz und experimentelle Flexibilität maximiert.
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Integrierte Wasserkühlungsarchitektur: Um die Integrität der Silikon-O-Ringe zu schützen und eine sichere Außentemperatur aufrechtzuerhalten, verfügt der Ofen über ein multifunktionales wassergekühltes Flanschsystem. Dieses Design ist für Betriebstemperaturen über 500°C entscheidend und stellt sicher, dass die Vakuumdichtungen auch bei längeren Läufen bei der maximalen Betriebstemperatur von 1100°C langlebig und effektiv bleiben. Die Push-to-Connect-Wasseranschlüsse erleichtern die schnelle und sichere Integration mit Standard-Labor-Kühlern.
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Fortschrittliche Sicherheits- und Diagnosesysteme: Sicherheit hat Vorrang durch die Einbeziehung von eingebauten Übertemperaturalarmen und Thermoelement-Fehlererkennung. Das System überwacht automatisch Abweichungen vom programmierten thermischen Profil und reagiert sofort, um sowohl das Gerät als auch die wertvollen Proben darin zu schützen. Diese ausfallsichere Architektur ist für Langzeitexperimente oder unbeaufsichtigte Laborabläufe unerlässlich.
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Leistungsstarke Fe-Cr-Al-Heizelemente: Das Heizmodul verwendet hochdichte Fe-Cr-Al-Legierungsdrahtelemente, die für ihre Langlebigkeit und Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen bekannt sind. Diese Elemente sind strategisch positioniert, um eine optimale thermische Gleichmäßigkeit in der gesamten 7,6-Liter-Quarzkammer zu gewährleisten, Kältezonen zu reduzieren und sicherzustellen, dass jeder Teil der Probe genau die gleiche thermische Historie erfährt.
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Datenkonnektivität und PC-Integration: Ein Standard-DB9-Kommunikationsanschluss ist enthalten, um eine nahtlose Verbindung zu einem PC zu ermöglichen. Dies ermöglicht die Datenprotokollierung in Echtzeit, die Fernüberwachung von thermischen Zyklen und die Archivierung von Prozessparametern. Für die industrielle Konformität und Forschungsdokumentation stellt dieses Merkmal sicher, dass jeder thermische Lauf vollständig rückverfolgbar und reproduzierbar ist.
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Thermische Effizienz und Isolierung: Der Ofen verwendet fortschrittliche Al2O3-Schaum-Feuerfestblöcke als Wärmeisolatoren. Dieses Material mit hoher Porosität schließt die Wärme effektiv in der Verarbeitungszone ein, reduziert den Energieverbrauch und verhindert, dass Wärmestrahlung die externe Laborumgebung beeinträchtigt. Die Isolierung ist so konzipiert, dass die thermische Masse minimiert wird, was bei Bedarf schnelle Aufheizraten von bis zu 20°C pro Minute ermöglicht.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Halbleiter-Wafer-Glühen | Hochtemperaturverarbeitung von Silizium- oder Verbindungshalbleiter-Wafern zur Reparatur von Kristallschäden. | Die 8"-Kammer bietet Platz für große Wafer mit exzellenter Gleichmäßigkeit und Reinheit. |
| Pulvermetallurgie & Sintern | Wärmebehandlung von Metall- und Keramikpulvern in einer kontrollierten Vakuum- oder Inertgasumgebung. | Verhindert Oxidation während des Sinterprozesses und sorgt für hochdichte und hochreine Endprodukte. |
| CVD-Forschung | Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) von dünnen Schichten und Nanomaterialien auf verschiedenen Substraten. | Großes Volumen und präzise Atmosphärenkontrolle ermöglichen skalierbare Experimente zur Dünnschichtabscheidung. |
| Fortschrittliche Batteriematerialien | Kalzinierung und Synthese von Kathoden- oder Anodenmaterialien für Lithium-Ionen- und Festkörperbatterien. | Außergewöhnliche thermische Stabilität und PID-Steuerung gewährleisten eine konsistente elektrochemische Leistung der Materialien. |
| Testen von Luft- und Raumfahrtkomponenten | Thermische Zyklen und Belastungstests kleiner Luft- und Raumfahrtkomponenten unter Vakuumbedingungen. | Simuliert Höhen- und Weltraumumgebungen mit wiederholbaren, dokumentierten thermischen Profilen. |
| Glas & Optoelektronik | Schmelzen, Formen und Glühen von spezialisierten optischen Gläsern und Kristallen. | Die Quarzkammer bietet eine saubere, kontaminationsfreie Umgebung für hochtransparente Materialien. |
| Katalysatorcharakterisierung | Hochtemperaturaktivierung und -reduktion von Industriekatalysatoren unter Gasfluss. | Präzise Gaseinlass-/Auslassanschlüsse ermöglichen eine genaue Dosierung reaktiver Gase während des thermischen Zyklus. |
| Phasenumwandlungsstudien | Untersuchung des Materialverhaltens bei Heiz- und Kühlübergängen in der Metallurgie. | Schnelle Rampen- und Kühlraten gepaart mit PID-Genauigkeit ermöglichen eine detaillierte Phasendiagramm-Kartierung. |
Technische Spezifikationen
| Parameter | Spezifikationsdetails für TU-QF01 |
|---|---|
| Produktmodellkennung | TU-QF01 |
| Leistungsanforderungen | 208 - 240 VAC, einphasig, 50/60Hz, 20 A |
| Maximale Nennleistung | 4,0 kVA |
| Max. Temperatur (< 30 Min.) | 1100 °C (Umgebungsdruck) |
| Dauerbetriebstemperatur | < 1000 °C (Umgebungsdruck oder Vakuum) |
| Aufheizrate | Empfohlen < 10 °C/Min; Maximal < 20 °C/Min |
| Quarzkammerabmessungen | Ø203 mm AD × Ø192 mm ID × 340 mm Länge |
| Internes Verarbeitungsvolumen | Ca. 7,6 Liter |
| Heizelementtyp | Fe-Cr-Al-Widerstandsdrähte (⌀240 * 260 mm Modul) |
| Temperaturregler | 30-Segment-PID mit Auto-Tune und +/- 1 ºC Genauigkeit |
| Vakuumfähigkeit | < 5e-2 Torr (mit geeigneter mechanischer Vakuumpumpe) |
| Max. Druckbelastbarkeit | < 3 psig (0,2 bar) |
| Dichtungssystem | Wassergekühlte Edelstahlflansche mit Silikon-O-Ringen |
| Gasanschlussports | 8 mm Schlauchtülle (Einlass/Auslass) und KF25 (Vakuum) |
| Kühlungsanforderung | Wasserkühler erforderlich für Betrieb bei T > 500 °C |
| Konformität & Sicherheit | CE-zertifiziert; Eingebaute Übertemperatur- und Thermoelementalarme |
| Standardzubehör | Al2O3-Schaum-Feuerfestblock (Ø190 * 50 mm); Netzkabel |
Warum TU-QF01 wählen?
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Überlegene Materialkompatibilität: Die hochreine Quarzkammer wurde speziell aufgrund ihrer inerten Eigenschaften ausgewählt, was das System ideal für die Synthese empfindlicher Materialien macht, bei denen eine Kontamination durch metallische Heizelemente oder feuerfeste Ziegel strikt vermieden werden muss.
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Industrielle Zuverlässigkeit: Mit Fokus auf Langlebigkeit gebaut, verwendet das System hochwertige Fe-Cr-Al-Elemente und Edelstahl-Hardware, wodurch sichergestellt wird, dass das Gerät über Jahre hinweg ein zuverlässiger Bestandteil Ihres Labors bleibt.
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Präzises Atmosphärenmanagement: Das Dual-Purpose-Design für Vakuum- und Atmosphärenkontrolle bietet die nötige Flexibilität für die moderne Materialwissenschaft und ermöglicht die Durchführung komplexer mehrstufiger Prozesse in einer einzigen Kammer.
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Sicherheitsorientierte Konstruktion: Mit integrierten Kühlsystemen, Übertemperaturalarmen und CE-Zertifizierung ist dieses Gerät so konzipiert, dass es die höchsten Sicherheitsstandards erfüllt, die von industriellen F&E-Einrichtungen und akademischen Institutionen gefordert werden.
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Unübertroffene Anpassung und Unterstützung: Unser Ingenieurteam bietet umfassende Unterstützung bei der Systemintegration, einschließlich optionaler hochpräziser Eurotherm-Regler und spezialisierter Probenschiffchen, um Ihre spezifischen Forschungsanforderungen zu erfüllen.
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