Vakuumofen
1600°C Kaltwand-Hochvakuumkammerofen mit Molybdänheizung und 400 mm Würfel-Arbeitsraum
Artikelnummer: TU-ZK04
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Produktübersicht


Dieses Hochleistungswärmebehandlungssystem ist für die anspruchsvollsten Forschungs- und Industrieanwendungen konzipiert, bei denen eine kontaminationsfreie, ultrareine Umgebung von größter Bedeutung ist. Durch die Verwendung eines wassergekühlten Kaltwand-Designs hält die Ausrüstung eine niedrige Außentemperatur, selbst während die innere Heizzone anhaltende Temperaturen von bis zu 1600°C erreicht. Das System ist speziell für die Hochvakuum-Wärmebehandlung von kleinen bis mittelgroßen Proben optimiert und bietet eine ideale Plattform für Materialien, die empfindlich auf Oxidation oder interstitielle Verunreinigung reagieren. Seine robuste Architektur stellt sicher, dass die Vakuumintegrität während des gesamten thermischen Zyklus aufrechterhalten wird, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die fortschrittliche Materialwissenschaft und die Hochtechnologie-Fertigung macht.
Primär eingesetzt in der Metallurgie, Halbleiterentwicklung und bei fortschrittlichen Keramiken, dient die Einheit als vielseitiges Arbeitstier für Prozesse wie Entgasen, Vakuumlöten und Sintern. Das große effektive Heizvolumen von 64 Litern bietet reichlich Platz für komplexe Geometrien oder die Chargenbearbeitung von Spezialkomponenten. Ob in Unternehmens-F&E-Laboren oder spezialisierten industriellen Produktionslinien eingesetzt, liefert dieses System die für die Entwicklung von hoch-entropischen Siliziden und andere anspruchsvolle Materialsyntheseprotokolle erforderliche Präzision. Sein Design konzentriert sich auf die kritische Balance zwischen thermischer Leistung und Vakuumstabilität und stellt sicher, dass jeder Zyklus den strengen Anforderungen der Hightech-Industrie entspricht.
Aus hochwertigen Industriekomponenten gefertigt, bietet dieses System unter Dauerbetriebsbedingungen unübertroffene Zuverlässigkeit und Leistung. Die Kombination aus einer elektropolierten 304-Edelstahl-Vakuumkammer und einer vollmetallischen Heizzone stellt sicher, dass keine Ausgasung von Isolierfasern auftritt, was für die Aufrechterhaltung eines Endvakuums von weniger als 1e-6 Torr unerlässlich ist. B2B-Käufer können sich auf die konsistente Wiederholbarkeit dieser Ausrüstung verlassen, in dem Wissen, dass die strukturelle Integrität der wassergekühlten Jacke und die Präzision der vollmetallischen thermischen Reflexionshüllen das System und die Umgebung schützen, während sie die für komplexe Phasenumwandlungen notwendige thermische Gleichmäßigkeit liefern.
Hauptmerkmale
- Kaltwand-Vakuumtechnologie: Die Kammer ist aus elektropoliertem Edelstahl 304 mit einer speziellen wassergekühlten Jacke gefertigt, was sicherstellt, dass die Außenseite berührungssicher und dimensionsstabil bleibt, während die Innentemperatur extreme Werte erreicht.
- Vollmetallische Wärmedämmung: Durch die Verwendung eines 6-lagigen metallischen Reflexionshüllensystems anstelle von Keramikfaserisolierung eliminiert diese Einheit das Risiko einer faserbasierten Kontamination und reduziert die Ausgasung erheblich, was für das Erreichen und Halten ultrahoher Vakuumstufen entscheidend ist.
- Fortschrittliche Molybdän-Heizelemente: Das Heizsystem verfügt über Hochreinemolybdänspulen, die speziell für Vakuumumgebungen entwickelt wurden. Diese Elemente bieten schnelles thermisches Ansprechverhalten und langfristige Haltbarkeit bei Temperaturen bis zu 1600°C.
- Ultrahohe Vakuumleistung: Ausgestattet mit einem Standard-DN100CF-Anschluss und kompatibel mit Hochleistungs-Turbomolekularpumpen kann das System ein Endvakuum von besser als 1e-6 Torr erreichen und bietet so eine makellose Atmosphäre für empfindliche Materialien.
- Präzise Eurotherm-Steuerung: Das System integriert einen Eurotherm EPC 3000-Serien-Controller, der 28-Segment-programmierbare Profile und PID-Automatikregelkreise für eine außergewöhnliche Temperaturgenauigkeit von ±1°C bietet.
- Mehrgas-Atmosphärenflexibilität: Während für Vakuum optimiert, ist der Ofen vollständig kompatibel mit inerten und reduzierenden Gasen wie Argon (Ar), Stickstoff (N2) und Wasserstoff (H2), was eine vielfältige atmosphärische Bearbeitung in einem einzigen System ermöglicht.
- Optimierte thermische Gleichmäßigkeit: Die interne Molybdän-Probenbühne und sorgfältig positionierte Heizspulen erreichen eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±8°C und stellen sicher, dass große Chargen oder komplexe Komponenten eine gleichmäßige Wärmeverteilung erfahren.
- Robuste Schleusentür: Die wassergekühlte Fronttür verfügt über hochintegritätsdichtungen und spezielle Kühlung, um einen O-Ring-Abbau zu verhindern, und gewährleistet so eine zuverlässige Vakuumdichtung über hunderte von Zyklen.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Hoch-Entropische Silizide | Phasenumwandlung und Homogenisierung fortschrittlicher Silizidverbindungen bei 1600°C. | Verhindert oxidative Zersetzung und gewährleistet einphasige tetragonale Strukturen. |
| Sintern von Refraktärmetallen | Verdichtung von Molybdän-, Wolfram- oder Niobpulvern zu dichten Komponenten. | Erreicht hohe Dichte ohne atmosphärische Kontamination oder Oxidation. |
| Vakuumlöten | Fügen spezieller Metallkomponenten unter Verwendung von Hochtemperatur-Lotmetallen in einer flussmittelfreien Umgebung. | Erzeugt saubere, oxidfreie Verbindungen mit überlegener mechanischer Festigkeit. |
| Spannungsarmglühen | Nachbearbeitung von 3D-gedruckten oder bearbeiteten Komponenten zur Beseitigung innerer Spannungen. | Verhindert Rissbildung und Verzug bei gleichzeitiger Wahrung der Oberflächengüte. |
| Halbleiterausheilen | Hochtemperaturbehandlung von Wafern oder Substratmaterialien zur Reparatur von Kristalldefekten. | Bietet eine ultrareine Umgebung, die eine Dotierstoffwanderung oder Kontamination verhindert. |
| Keramik-Co-Firing | Sintern von fortschrittlichen technischen Keramiken, die präzise kontrollierte Vakuumstufen erfordern. | Erhält die Stöchiometrie des Materials, indem es atmosphärische Reaktionen verhindert. |
| Diffusionsschweißen | Fügen ähnlicher oder unähnlicher Materialien durch Festkörperdiffusion unter Hitze und Vakuum. | Erzeugt nahtlose, hochfeste Verbindungen ohne zusätzliche Klebstoffe oder Füllmaterialien. |
Technische Spezifikationen
| Merkmal | Spezifikationsdetails (Modell: TU-QF17) |
|---|---|
| Stromversorgung | 460 VAC, 3-phasig, 50/60Hz |
| Gesamtleistung | 100 kW |
| Effektive Heizzone | L 400 x B 400 x T 400 mm (64 Liter) |
| Maximale Arbeitstemperatur | 1600°C |
| Temperaturgenauigkeit | ±1°C |
| Temperaturgleichmäßigkeit | ±8°C |
| Maximale Aufheizrate | <10°C/min |
| Vakuumkammermaterial | Elektropolierter wassergekühlter Edelstahl 304 |
| Wärmedämmung | 6-lagige vollmetallische Wärmereflexionshüllen |
| Heizelemente | Molybdän-Heizspulen |
| Probenbühne | Molybdänkonstruktion |
| Endvakuumstufe | <1,0e-6 Torr (mit 300L/s Turbopumpe) |
| Maximaler Arbeitsdruck | <1,5 bar |
| Temperaturregler | Eurotherm EPC 3000 Serie (PID, 28-Segment) |
| Thermoelementtyp | Typ B |
| Kommunikationsanschlüsse | RS485, MODBUS RTU für Fernüberwachung |
| Vakuumanschlüsse | DN100CF (Erzeugung), DN40KF (Ionisation), DN16KF (Konvektion) |
| Gas-Einlass/Auslass | Zwei 1/4"-Balgen-dichtungs-Nadeldichtungsventile (VCR) |
| Standardkonformität | CE-zertifiziert (NRTL/CSA auf Anfrage erhältlich) |
| Optionale Vakuummessgeräte | InstruTech IGM402 Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter & Konvektionsvakuummeter |
| Optionale Wasserkühlung | 3,5KW Kühlleistung, 40L Tank, 75L/min Durchflussrate |
| Optionale Pumpenoptionen | 260L/s Turbomolekularpumpe, Trockenlaufspiral- oder Drehschieber-Vorvakuumpumpen |
Warum uns wählen
- Überlegene Vakuumintegrität: Unsere vollmetallische Heizzone und elektropolierten Kammeroberflächen sind darauf ausgelegt, die Ausgasung zu minimieren, sodass Ihre Prozesse ultrahohe Vakuumstufen schneller und zuverlässiger erreichen als bei traditionellen keramikgefütterten Systemen.
- Präzisionskonstruktion: Durch die Verwendung des Eurotherm EPC 3000-Serien-Controllers und Typ B-Thermoelemente bietet diese Einheit die exakte thermische Kontrolle, die für sensible materialwissenschaftliche Forschung erforderlich ist, und gewährleistet wiederholbare Ergebnisse bei jeder Charge.
- Industrielle Haltbarkeit: Die Kombination aus wassergekühltem Edelstahl und hochreinem Molybdän stellt sicher, dass die strukturelle Integrität des Ofens über Jahre hinweg erhalten bleibt, selbst beim Betrieb bei der maximalen Nenntemperatur von 1600°C.
- Skalierbar und anpassbar: Von der Auswahl der Vakuumpumpen (Turbomolekular- vs. Trockenspiralpumpen) bis hin zur Ergänzung von Hochleistungswasserkühlern kann dieses System an spezifische Labor- oder Industriedurchsatzanforderungen angepasst werden.
- Umfassende Konformität: Jede Einheit ist CE-zertifiziert und kann auf NRTL- oder CSA-Standards aufgerüstet werden, was den Beschaffungsteams die Gewissheit gibt, dass die Ausrüstung internationale Sicherheits- und Qualitätsstandards erfüllt.
Unser technisches Team steht bereit, Sie bei der Konfiguration der idealen thermischen Lösung für Ihre spezifischen Anwendungsanforderungen zu unterstützen. Kontaktieren Sie uns noch heute für eine detaillierte technische Beratung oder um ein formelles Angebot anzufordern.
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