Hochtemperatur-Rohrofen 1700 °C mit Hochvakuum-Turbomolekularpumpensystem und Mehrkanal-Massendurchflussregler-Gasmischer

Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem wurde für fortschrittliche Materialwissenschaften und industrielle Forschungsanwendungen entwickelt, die extreme Temperaturen und ultrareine atmosphärische Bedingungen erfordern. Durch die Kombination eines 1700 °C Aluminiumoxid-Rohrofens mit einer Hochleistungs-Turbomolekular-Vakuumstation und einem präzisen Massendurchfluss-Gasversorgungsmodul bietet das Gerät eine schlüsselfertige Lösung für komplexe chemische Gasphasenabscheidungs- (CVD), Diffusions- und Sinterprozesse. Das robuste Design stellt sicher, dass Forscher hochreproduzierbare Ergebnisse erzielen und gleichzeitig die Integrität empfindlicher Proben bei einem Vakuum von bis zu 10^-5 Torr bewahren können.

Das Gerät richtet sich an die Halbleiterfertigung, Luft- und Raumfahrtentwicklung sowie die fortschrittliche Keramiktechnik und schließt die Lücke zwischen Laborexperimenten und Pilotproduktion. Seine vielseitige Architektur ermöglicht die präzise Steuerung mehrerer Gasarten, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Herstellung von Dünnschichten, Nanodrähten und komplexen 2D-Materialien macht. Die gesamte Einheit ist auf einem mobilen Schwerlastwagen montiert, was einen einfachen Transport und eine nahtlose Integration in bestehende Reinräume oder Laborarbeitsplätze ohne komplexe Festinstallationen ermöglicht.

Zuverlässigkeit steht im Mittelpunkt des Designs dieses Ofens. Durch die Verwendung hochwertiger Molybdändisilizid-Heizelemente (MoSi2) und einer hochreinen Aluminiumoxid-Feuerfestkammer ist das System so gebaut, dass es den strengen thermischen Zyklen standhält, die in der industriellen F&E erforderlich sind. Das doppelschichtige Stahlgehäuse mit integrierter Lüfterkühlung sorgt dafür, dass die Außenflächentemperaturen auch bei Hochtemperaturbetrieb für das Bedienpersonal sicher bleiben. Dieser Fokus auf Sicherheit, kombiniert mit hochpräziser PID-Steuerung und in Deutschland entwickelten Vakuumkomponenten, bietet die langfristige Betriebskonsistenz, die professionelle Beschaffungsteams und leitende Wissenschaftler fordern.

Hauptmerkmale

• Außergewöhnlicher Temperaturbereich: Dieses System erreicht eine maximale Heiztemperatur von 1650 °C bei einer Dauerbetriebstemperatur von 1600 °C, angetrieben von acht hochwertigen MoSi2-Heizelementen, die speziell für eine optimale thermische Gleichmäßigkeit positioniert sind.
• Ultrahochvakuum-Integration: Ausgestattet mit einer originalen Pfeiffer-Turbomolekularpumpe erreicht das System einen Enddruck von <1E-7 mbar, was eine sauerstofffreie Umgebung ermöglicht, die für hochreine Materialsynthesen und kontaminationsempfindliche Prozesse entscheidend ist.
• Präzise Massendurchflussregelung: Die integrierte Gasmischstation verfügt über 2 bis 4 Kanäle mit digitalen Massendurchflussreglern (MFC), die eine exakte Zufuhr von Prozessgasen wie Stickstoff, Helium oder Wasserstoff mit hoher Wiederholgenauigkeit und digitaler Touchscreen-Überwachung ermöglichen.
• Fortschrittliche PID-Steuerungslogik: Der Temperaturregler verwendet ein phasenwinkelgesteuertes Widerstandssystem mit Strombegrenzung und 30 programmierbaren Segmenten, wodurch eine Genauigkeit von ±1 °C über den gesamten Heizrampenverlauf beibehalten wird.
• Robuste Kammerkonstruktion: Der Ofen verwendet ein hochreines Aluminiumoxid-Prozessrohr mit 60 mm Außendurchmesser und eine hochreine Aluminiumoxid-Feuerfestkammer, um Wärmeverluste zu minimieren und chemische Kreuzkontaminationen während Hochtemperaturzyklen zu verhindern.
• Intelligentes Vakuummanagement: Die Hochvakuumstation verfügt über eine Ein-Tasten-Bedienung für die Membran- und Turbopumpe, wobei die systemgesteuerten Drehzahlen automatisch basierend auf dem Vakuumniveau und den Leckraten angepasst werden.
• Erweiterte Sicherheitsprotokolle: Ein eingebauter Selbstschutzmechanismus überwacht Überhitzungs- und Überstromzustände und verlangsamt oder stoppt die Turbine automatisch, wenn die Leckraten sichere Betriebsschwellen überschreiten, um Pumpenschäden zu vermeiden.
• Flexible Schnittstellenoptionen: Das System umfasst einen RS485-Kommunikationsanschluss und ist kompatibel mit fortschrittlichen Software-Kits für PC-Fernsteuerung, LabVIEW-Integration und umfassende Datenprotokollierung für Qualitätssicherungs-Audits.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Kern-Ofenspezifikationen (TU-83)

Spezifikationen der Hochvakuumstation

Massendurchfluss-Gasregelsystem (MFC)

Warum dieses Hochtemperatursystem wählen?

Diese integrierte Lösung stellt eine bedeutende Investition in die Laborkapazitäten dar und bietet ein Maß an Präzision und Zuverlässigkeit, das Einzelkomponenten nicht erreichen können. Indem der Ofen, die Vakuumstation und die Gasmischeinheit auf einer einzigen, konstruierten mobilen Plattform untergebracht sind, eliminiert das System die komplexe Fehlersuche, die oft mit Setups verschiedener Anbieter verbunden ist. Die Verwendung hochwertiger Komponenten, wie der deutschen Pfeiffer-Turbomolekularpumpe und erstklassiger MoSi2-Elemente, stellt sicher, dass das System über Jahre hinweg bei intensiver Nutzung in industriellen F&E-Umgebungen eine gleichbleibende Betriebskonsistenz beibehält.

Darüber hinaus ist das System auf Skalierbarkeit und Anpassungsfähigkeit ausgelegt. Ob Sie zusätzliche Gaskanäle für komplexe CVD-Prozesse mit mehreren Vorläufern oder verbesserte Temperaturregler von Eurotherm für die LabVIEW-Kompatibilität benötigen, diese Architektur passt sich Ihren spezifischen Forschungsanforderungen an. Das CE-zertifizierte Design und die Option auf NRTL/UL/CSA-Zertifizierung geben Beschaffungsteams die Sicherheit, dass dieses Gerät den höchsten internationalen Sicherheits- und Qualitätsstandards entspricht. Dies ist nicht nur ein Ofen, sondern eine komplette Wärmebehandlungsumgebung, die für die anspruchsvollsten materialwissenschaftlichen Herausforderungen konzipiert wurde.

Bitte kontaktieren Sie unser technisches Vertriebsteam noch heute für ein detailliertes Angebot oder um eine maßgeschneiderte Konfiguration für Ihre spezifischen Forschungsanforderungen zu besprechen.