Kompakter Klapp-Rohrofen mit integriertem Vakuumsystem und Präzisions-Temperaturkalibrator

Röhrenofen

Kompakter Klapp-Rohrofen mit integriertem Vakuumsystem und Präzisions-Temperaturkalibrator

Artikelnummer: TU-18

Maximale Temperatur: 1200 °C Vakuumgrad: 1E-2 Torr Temperaturgenauigkeit: ± 1 °C
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Produktübersicht

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Dieses Hochtemperatur-Verarbeitungssystem ist eine spezialisierte thermische Lösung, die für präzisionsorientierte Materialwissenschaften und industrielle Forschung entwickelt wurde. Durch die Kombination einer Klapp-Rohr-Architektur mit einer integrierten Vakuumumgebung ermöglicht das Gerät ein schnelles Be- und Entladen von Proben, ohne die Integrität komplexer experimenteller Aufbauten zu beeinträchtigen. Das System ist darauf ausgelegt, eine gleichmäßige Erwärmung bis zu 1200 °C zu ermöglichen und bietet eine stabile Plattform für Glüh-, Sinter- und chemische Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD), bei denen die atmosphärische Kontrolle für die endgültigen Materialeigenschaften entscheidend ist.

Dieses Gerät richtet sich an fortschrittliche Forschungslaboratorien sowie industrielle F&E-Einrichtungen und bietet die nötige Flexibilität für multidisziplinäre Studien. Ob für die Verarbeitung von Halbleiter-Wafern oder die Entwicklung neuer Batteriechemikalien – das System bietet eine zuverlässige und wiederholbare thermische Umgebung. Die Integration einer dedizierten Temperaturkalibrierungseinheit stellt sicher, dass der Benutzer die internen Rohrtemperaturen in Echtzeit überprüfen kann, wodurch die Lücke zwischen Sollwert-Parametern und den tatsächlichen Bedingungen an der Probe geschlossen wird.

Das auf Langlebigkeit und konstante Betriebssicherheit ausgelegte Gerät verfügt über ein robustes Stahlgehäuse und eine hochreine Aluminiumoxid-Faserisolierung. Diese Kombination sorgt nicht nur für eine hervorragende Energieeffizienz, sondern hält auch die äußere Gehäusetemperatur bei Hochtemperaturzyklen niedrig. Die robuste Konstruktion spiegelt ein Engagement für Sicherheit und Präzision wider und macht das Gerät zu einem unverzichtbaren Aktivposten für Beschaffungsteams, die eine zuverlässige, leistungsstarke thermische Verarbeitungseinheit suchen, die den strengen Standards der modernen Materialforschung und industriellen Wärmebehandlung entspricht.

Hauptmerkmale

  • Präzises Klapp-Rohr-Design: Die längs aufklappbare Kammer ermöglicht einen einfachen Zugang zum Prozessrohr und erleichtert das schnelle Einsetzen von Proben oder vormontierten Versuchsaufbauten, ohne dass die Vakuumflansche oder Gasleitungen vollständig demontiert werden müssen.
  • Fortschrittliche PID-Temperaturregelung: Dieses System nutzt einen hochpräzisen PID-Regler mit 30 programmierbaren Segmenten, der eine exakte thermische Genauigkeit von ±1 °C gewährleistet und komplexe Rampen- und Halteprofile ermöglicht, die auf spezifische Materialanforderungen zugeschnitten sind.
  • Integriertes Hochvakuumsystem: Ausgestattet mit einer zweistufigen 156 L/min Drehschieber-Vakuumpumpe und Abgasfiltration kann das Gerät Vakuumniveaus von bis zu 1E-2 Torr erreichen, was kontaminationsfreie Prozesse in kontrollierten Umgebungen ermöglicht.
  • Echtzeit-Temperaturkalibrierung: Ein integriertes OMEGA K-Typ-Thermoelement nach NIST-Standard und ein digitaler Kalibrator ermöglichen es dem Bediener, die internen Probentemperaturen direkt zu messen, was ein hohes Maß an Vertrauen in die experimentellen Daten und die Prozesswiederholbarkeit bietet.
  • Hervorragende Wärmedämmung: Die Kammer ist mit einer energieeffizienten Al2O3-Faserisolierung ausgekleidet, die Wärmeverluste und Stromverbrauch reduziert und gleichzeitig schnelle Aufheizraten von bis zu 10 °C/min für einen höheren Labordurchsatz ermöglicht.
  • Beidseitige atmosphärische Kontrolle: Mit Edelstahl-Vakuumflanschen, einem 1/4"-Gaseinlassstutzen und einem KF25-Gasauslass unterstützt das System sowohl den Vakuumbetrieb als auch strömende Gasatmosphären für vielseitige chemische und physikalische Gasphasenabscheidungsprozesse.
  • Mo-dotierte Hochleistungs-Heizelemente: Die Fe-Cr-Al-Legierungs-Heizelemente, verstärkt durch eine Molybdän-Dotierung, sind auf Langlebigkeit und konstante Leistung bei Temperaturen bis zu 1200 °C ausgelegt und widerstehen Oxidation sowie thermischer Ermüdung.
  • Modulare Vakuumflansch-Baugruppe: Die robusten Edelstahlflansche umfassen integrierte Vakuummeter und Hochtemperaturdichtungen, die für eine schnelle Montage und zuverlässige Abdichtung bei längeren Hochvakuumbetrieben bei erhöhten Temperaturen ausgelegt sind.
  • Integrierte Sicherheit und Überwachung: Das System enthält interne Sicherheitsblöcke, um Strahlungswärmeverluste zu verhindern, und kann mit optionaler Überwachungssoftware für die Echtzeit-Datenprotokollierung und das Remote-Rezeptmanagement per PC integriert werden.

Anwendungen

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
Halbleiter-Glühen Verarbeitung von Silizium-Wafern und Dünnschichten in einer Vakuum- oder Inertgasatmosphäre zur Modifikation elektrischer Eigenschaften. Präzise ±1 °C-Regelung sorgt für gleichmäßige Wafer-Eigenschaften.
Batteriematerial-Synthese Kalzinierung und Sintern von Kathoden-/Anodenpulvern unter kontrolliertem Druck zur Optimierung der Ionenleitfähigkeit. Vakuumumgebung verhindert die Oxidation empfindlicher Lithiumverbindungen.
Kohlenstoff-Nanoröhrchen-Wachstum Einsatz von CVD-Prozessen zum Züchten von Kohlenstoff-Nanostrukturen auf verschiedenen Substraten innerhalb des Quarzrohrs. Klapp-Design ermöglicht die einfache Entnahme empfindlicher Substrate.
Metallurgische Wärmebehandlung Anlassen und Spannungsarmglühen von Metalllegierungen und kleinen Komponenten in einem kontaminationsfreien Vakuum. Interner Kalibrator stellt eine exakte Überwachung der Kerntemperatur der Proben sicher.
Keramiksintern Hochtemperatur-Verdichtung von Keramikpulvern zu dichten Strukturbauteilen. Faserisolierung unterstützt stabile Rampen für eine rissfreie Keramikproduktion.
Katalysator-Charakterisierung Testen der thermischen Stabilität und Reaktivität chemischer Katalysatoren unter spezifischen strömenden Gaszusammensetzungen. Echtzeitüberwachung via digitalem Kalibrator sorgt für genaue Reaktionsdaten.
Testen von Luft- und Raumfahrtmaterialien Aussetzen fortschrittlicher Legierungen gegenüber thermischen Zyklen zur Simulation von Höhen- oder extremen thermischen Umgebungen. Hohe Aufheizraten ermöglichen eine schnelle Simulation von Thermoschocks.

Technische Spezifikationen

Parameter Spezifikationen für TU-18
Modellbezeichnung TU-18
Gehäusematerial Robuster Stahl mit Al2O3-Faser-Wärmedämmung
Gesamtleistung 1,75 KW
Eingangsspannung AC 110V, einphasig, 50/60 Hz (208V-240V auf Anfrage erhältlich)
Maximale Temperatur 1200 °C (< 1 Stunde)
Dauerbetriebstemperatur 1100 °C
Aufheizrate ≤ 10 °C/min
Standard-Prozessrohr Hochreiner Quarz: 50 mm AD x 43 mm ID x 600 mm Länge
Optionales Prozessrohr 60 mm AD Quarz mit Sichtfenster erhältlich
Heizzonenlänge 200 mm (Ein-Zonen-System)
Konstante Temperaturzone 100 mm (±2 °C bei 900 °C)
Temperaturregler Automatische PID-Regelung über PWM-Halbleiterrelais; 30-stufig programmierbar
Temperaturgenauigkeit ± 1 °C
Vakuumflansche Edelstahl mit 1/4"-Anschluss, KF25-Auslass und TC-Durchführung
Vakuumniveau 1E-2 Torr (50 m-torr) mit mitgelieferter mechanischer Pumpe
Vakuumpumpe Zweistufige Drehschieberpumpe (156 L/min) mit Abgasfilter
Heizelemente Mo-dotierte Fe-Cr-Al-Legierung
Temperaturkalibrator OMEGA K-Typ-Thermoelement (18" x 1/4" Durchmesser) mit Digitalanzeige
Datenschnittstelle USB- und RS232-Schnittstelle für NIST-zertifizierte Kalibrierungsdaten
Sicherheitsblöcke Zwei Faserkeramik-Rohrblöcke inklusive, um Strahlungsverluste zu verhindern
Konformität NRTL- oder CSA-Zertifizierung optional

Warum dieses Ofensystem wählen?

  • Unübertroffene Messpräzision: Die Integration eines dedizierten, NIST-rückführbaren Temperaturkalibrators direkt in die Vakuumkammer ermöglicht eine Überprüfung der Probentemperaturen, die herkömmliche, an der Wand montierte Sensoren nicht erreichen können.
  • Auf Zuverlässigkeit ausgelegt: Durch die Verwendung von industrietauglichen Mo-dotierten Heizelementen und hochdichter Aluminiumoxid-Isolierung ist dieses System für den kontinuierlichen Einsatz in anspruchsvollen F&E-Umgebungen ohne Leistungsabfall gebaut.
  • Komplettes, betriebsbereites Paket: Im Gegensatz zu Systemen, bei denen Vakuumkomponenten separat beschafft werden müssen, wird dieses Gerät mit einer leistungsstarken 156 L/min mechanischen Pumpe, allen notwendigen Flanschen und einem Quarzrohr geliefert.
  • Flexible und skalierbare Architektur: Das Klapp-Rohr-Design und das modulare Flanschsystem ermöglichen es Benutzern, auf größere Rohre oder Turbomolekularpumpen (für 10E-6 Torr) aufzurüsten, wenn sich die Forschungsanforderungen weiterentwickeln.
  • Hervorragende Verarbeitungsqualität: Jede Komponente, vom robusten Stahlchassis bis zur präzisen PID-Elektronik, ist so gefertigt, dass sie den höchsten Standards für industrielle Langlebigkeit und Benutzersicherheit entspricht.

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