1200°C Hochtemperatur-5-Zoll-Klapp-Vakuumrohrofen mit 12-Zoll-Heizzone und getrenntem PID-Regler

Röhrenofen

1200°C Hochtemperatur-5-Zoll-Klapp-Vakuumrohrofen mit 12-Zoll-Heizzone und getrenntem PID-Regler

Artikelnummer: TU-22

Maximale Temperatur: 1200°C Heizzonenlänge: 12" (300 mm) Rohrdurchmesser: 5" (130 mm)
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Produktübersicht

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Dieser leistungsstarke Klapprohrofen stellt den Höhepunkt kompakter, energieeffizienter Wärmebehandlungstechnologie dar. Das auf Präzision und Vielseitigkeit ausgelegte System bietet eine maximale Betriebstemperatur von 1200°C und ist damit ein unverzichtbares Werkzeug für materialwissenschaftliche Labore und industrielle F&E-Zentren. Das aufklappbare Design ermöglicht eine schnelle Abkühlung sowie ein müheloses Be- und Entladen von Proben, während das Quarzrohr mit großem Durchmesser Substrate bis zu 4 Zoll Durchmesser aufnehmen kann. Durch die Integration fortschrittlicher Isoliermaterialien und eines getrennten Steuermoduls bietet das Gerät eine außergewöhnliche thermische Stabilität und langfristige Betriebssicherheit in anspruchsvollen Umgebungen.

Dieses Gerät wurde entwickelt, um die strengen Anforderungen der modernen Forschung zu erfüllen, und wird häufig für Glüh-, Sinter- und chemische Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD) eingesetzt. Die Fähigkeit, unter Hochvakuum oder kontrollierten atmosphärischen Bedingungen zu arbeiten, bietet Forschern die nötige Flexibilität, um 2D-Materialien zu synthetisieren, Halbleiter-Wafer zu verarbeiten und komplexe Wärmebehandlungen durchzuführen. Die Architektur mit getrenntem Regler stellt sicher, dass die empfindlichen elektronischen Komponenten vor der hohen Hitze des Ofenkörpers geschützt sind, was die Lebensdauer der Elektronik erheblich verlängert und eine konsistente Leistung über Tausende von Zyklen gewährleistet.

Zuverlässigkeit steht im Mittelpunkt der Konstruktion dieses Systems. Alle elektrischen Komponenten sind NRTL-zertifiziert, was die Einhaltung strenger Sicherheitsstandards für den Laborgebrauch sicherstellt. Der Ofen verwendet eine doppelschichtige Stahlstruktur in Kombination mit hochreiner Al2O3-Faserisolierung und einer feuerfesten Keramikbeschichtung, um Wärmeverluste zu minimieren und Energieeinsparungen zu maximieren. Diese robuste Bauqualität sorgt dafür, dass das Gerät außen kühl bleibt, während es intern eine präzise Temperaturgleichmäßigkeit beibehält, was Technikern und Wissenschaftlern gleichermaßen einen sicheren und produktiven Arbeitsplatz bietet.

Hauptmerkmale

  • Präzises Klapp-Design: Der Ofenkörper ist mit einem aufklappbaren Mechanismus konstruiert, der einen schnellen Probenzugang und beschleunigte Abkühlphasen ermöglicht, was den Labordurchsatz und die experimentelle Flexibilität erheblich verbessert.
  • Quarz-Prozessrohr mit großem Durchmesser: Ausgestattet mit einem hochreinen Quarzrohr mit 5 Zoll (130 mm) Außendurchmesser, ist dieses Gerät in der Lage, große Substrate, einschließlich Halbleiter-Wafer bis zu 4 Zoll Durchmesser, ohne Beeinträchtigung der thermischen Gleichmäßigkeit zu verarbeiten.
  • Getrenntes digitales Steuermodul: Der 30-stufig programmierbare PID-Regler ist in einem separaten Gehäuse untergebracht, wodurch kritische elektronische Komponenten von der Wärmestrahlung des Ofens isoliert werden, um maximale Präzision und Langlebigkeit der Ausrüstung zu gewährleisten.
  • Hocheffiziente Faserisolierung: Durch die Verwendung von hochreiner Al2O3-Faserisolierung mit einer speziellen Aluminiumoxidbeschichtung erreicht der Ofen eine überlegene Energieeffizienz und eine längere Lebensdauer im Vergleich zu herkömmlichen feuerfesten Materialien.
  • Fortschrittliches Vakuum-Dichtungssystem: Ein Paar Vakuumflansche aus Edelstahl 304 mit doppelten Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen sorgt für eine zuverlässige Abdichtung und ermöglicht Vakuumniveaus bis zu 10⁻² Torr mit einer Standard-Vakuumpumpe.
  • Integrierte Sicherheit und Zertifizierung: Das System verfügt über einen eingebauten Übertemperaturschutz und einen Thermoelement-Fehlerschutz. Alle elektrischen Teile sind NRTL-zertifiziert und erfüllen die höchsten Sicherheitsstandards für Industrie- und Universitätslabore.
  • Flexibles Gas- und Vakuummanagement: Standard-KF25-Anschlüsse und 1/4"-Schlauchtüllen ermöglichen den nahtlosen Anschluss an Vakuumpumpen und Gasversorgungssysteme und unterstützen sowohl statische als auch strömende Atmosphärenprozesse.
  • Überlegene Heizelemente: Mit Molybdän dotierte Fe-Cr-Al-Legierungselemente sorgen für eine stabile und gleichmäßige Erwärmung bis zu 1200°C und gewährleisten die für wiederholte Hochtemperaturzyklen erforderliche Haltbarkeit.

Anwendungen

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
Halbleiter-Wafer-Glühen Hochtemperaturbehandlung von Silizium- oder Verbindungshalbleiter-Wafern zur Modifizierung elektrischer Eigenschaften. Nimmt Wafer bis zu 4" mit außergewöhnlicher thermischer Gleichmäßigkeit auf.
Synthese von 2D-Materialien Synthese von Graphen, MoS2 und anderen Dünnschichtmaterialien mittels CVD oder thermischer Prozesse. Präzise Durchflussregelung und Vakuumdichtigkeit gewährleisten hochwertiges Schichtwachstum.
Sintern von Keramik Verdichtung von Keramikpulverpresslingen zu dichten, hochfesten Bauteilen unter Vakuum oder Inertgas. Klapp-Design ermöglicht einfaches Einlegen zerbrechlicher Grünlinge.
Atmosphärische Kalzinierung Erhitzen von mineralischen oder chemischen Substanzen in kontrollierten Gasumgebungen zum Austreiben flüchtiger Bestandteile. Vielseitiger Gaseinlass/-auslass ermöglicht präzise chemische Reaktionen.
Vakuum-Entgasung Entfernung eingeschlossener Gase aus speziellen Legierungen oder Verbundwerkstoffen zur Verbesserung der strukturellen Integrität. Leistungsstarke Flansche halten stabile Vakuumniveaus während des gesamten Zyklus aufrecht.
Batteriematerialforschung Wärmebehandlung von Kathoden- und Anodenmaterialien in Inertatmosphären zur Optimierung der elektrochemischen Leistung. Gleichmäßige 12"-Heizzone sorgt für konsistente Materialeigenschaften.
Spannungsarmglühen von Beschichtungen Abbau innerer Spannungen in speziellen Beschichtungen auf metallischen oder keramischen Substraten. Programmierbare Abkühlraten verhindern Thermoschock und Schichtablösung.
Katalysatorvorbereitung Thermische Aktivierung von katalytischen Materialien unter spezifischen Gasströmungsbedingungen. Getrennter Regler ermöglicht sichere Integration in Laborabzügen.

Technische Spezifikationen

Parameter Spezifikation für TU-22
Max. Betriebstemperatur 1200°C (< 1 Stunde)
Dauerbetriebstemperatur 1100°C
Heizzonenlänge 12" (300 mm)
Konstanttemperaturzone 100 mm (±1ºC) / 140 mm (±2ºC)
Rohrmaterial & Größe Hochreiner Quarz; 5" AD x 4,7" ID x 29,5" L (130 x 120 x 750 mm)
Heizelemente Mo-dotierte Fe-Cr-Al-Legierung
Max. Aufheizrate ≤ 20°C/min
Temperaturgenauigkeit ± 1°C
Temperaturregelung PID 30-stufig programmierbar über Halbleiterrelais
Ofenstruktur Doppelschichtiger Stahl mit hochreiner Al2O3-Faserisolierung
Leistung / Spannung 3 KW / 220VAC 50/60Hz
Vakuumniveau 10⁻² Torr (mit mechanischer Pumpe)
Vakuumflansche Edelstahl 304 mit doppelten Silikon-O-Ringen; inkl. KF25-Anschluss
Drucküberwachung Standard-Manometer (-0,1 bis 0,15 Mpa)
Anschlüsse 1/4"-Schlauchtülle für Gaseinlass; KF25 für Vakuumauslass
Zertifizierungen NRTL-zertifizierte elektrische Komponenten
Optionale Upgrades PC-Steuermodul, Eurotherm-Regler, digitales Vakuummeter, wassergekühlte Flansche

Warum TU-22 wählen

  • Unübertroffene thermische Präzision: Die Kombination aus einem 30-stufig programmierbaren PID-Regler und hochwertigen Fe-Cr-Al-Heizelementen stellt sicher, dass Ihre Experimente wiederholbar und auf ±1°C genau sind.
  • Optimiert für hohen Durchsatz: Das Klappofendesign ist ein entscheidender Vorteil für vielbeschäftigte Labore, da es eine schnelle natürliche Abkühlung ermöglicht und den Probenwechsel zwischen den Durchläufen vereinfacht.
  • Robuste Sicherheitstechnik: Mit NRTL-Zertifizierung und fortschrittlichen Schutzfunktionen wie Übertemperatur- und Thermoelement-Fehlermeldungen ist dieses System für den sicheren, unbeaufsichtigten Betrieb in professionellen Umgebungen konzipiert.
  • Zukunftssichere Vielseitigkeit: Das modulare Design des TU-22 ermöglicht erhebliche Anpassungen, einschließlich PC-basierter Steuerung, hochpräziser Eurotherm-Regler und wassergekühlter Flansche für längere Arbeiten bei hohen Temperaturen.
  • Industrielle Bauqualität: Von der mit hochreinem Aluminiumoxid beschichteten feuerfesten Keramik bis hin zu den Vakuumkomponenten aus Edelstahl 304 ist jeder Aspekt dieses Ofens auf langfristige Haltbarkeit und minimalen Wartungsaufwand ausgelegt.

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