Röhrenofen
Doppelzonen-Spaltrohr-Abschreckofen mit Hochvakuum-Atmosphärenregelung und schneller Kühlung
Artikelnummer: TU-GS01
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Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem wurde entwickelt, um den strengen Anforderungen der modernen Materialwissenschaft und industriellen Forschung gerecht zu werden. Durch die Kombination eines geteilten Scharnierdesigns mit einer Temperaturregelung in zwei Zonen bietet das Gerät Forschern und Ingenieuren eine vielseitige Plattform für Hochtemperatur-Atmosphärensintern, Abschrecken und Chemical Vapor Deposition (CVD). Der zentrale Nutzen liegt in der Fähigkeit, ein außergewöhnlich homogenes Temperaturfeld aufrechtzuerhalten und zugleich schnelles Abkühlen sowie den sofortigen Zugang zum Rohr zu ermöglichen. Diese Einheit ist speziell dafür ausgelegt, komplexe Wärmebehandlungen zu unterstützen, bei denen präzise thermische Gradienten oder schnelle Übergänge für die Endeigenschaften des Materials entscheidend sind.
Dieses System richtet sich an wissenschaftliche Forschungsinstitute, Luft- und Raumfahrtlaboratorien sowie die Halbleiterfertigung und überzeugt in Umgebungen, in denen Zuverlässigkeit und Konsistenz unverzichtbar sind. Ob Vakuumglühen oder Atmosphärenreduktion – der Ofen gewährleistet eine stabile Leistung unter anspruchsvollen Bedingungen. Die Integration hochwertiger Komponenten, einschließlich in Japan gefertigter Isolierung und europäischer Leistungssteuerungen, garantiert eine lange Lebensdauer und reproduzierbare Ergebnisse. Dieses Gerät stellt eine bedeutende Investition in die Laborfähigkeit dar und schlägt die Brücke zwischen experimentellen Ergebnissen im kleinen Maßstab und den Anforderungen der industriellen Produktion.
Das Vertrauen in diese Einheit basiert auf ihrer robusten Konstruktion und ihrem sicherheitsorientierten Design. Mit einem doppelwandigen Gehäuse zur Aufrechterhaltung niedriger Oberflächentemperaturen und einer Reihe automatischer Schutzsysteme bietet der Ofen eine sichere Umgebung für Hochtemperaturanwendungen bis 1200 °C. Die Zweizonen-Konfiguration ermöglicht unabhängige Temperatureinstellungen in verschiedenen Abschnitten des Prozessrohrs und damit die Erzeugung spezifischer thermischer Gradienten, die für Kristallzüchtung und mehrstufige chemische Reaktionen unerlässlich sind. Dieses System ist die ideale Wahl für Labore, die ein Gleichgewicht aus Präzision, Geschwindigkeit und Betriebssicherheit suchen.
Hauptmerkmale
- Unabhängige Temperaturregelung in zwei Zonen: Das System verfügt über zwei getrennte Heizbereiche, die auf unterschiedliche Temperaturen eingestellt werden können. Dadurch lassen sich präzise thermische Gradienten oder eine größere gleichmäßige Heizlänge erzeugen, was für komplexe CVD- und Abschreckprozesse wesentlich ist.
- Fortschrittlicher Shimaden-FP93-Regler: Dieser hochpräzise 40-Segment-Digitalregler wurde aus Japan importiert, unterstützt mehrere Programmvorlagen (4x10, 2x20 oder 1x40) und nutzt 6 separate PID-Gruppen, um eine unübertroffene Genauigkeit über niedrige, mittlere und hohe Temperaturbereiche hinweg zu gewährleisten.
- Hochleistungs-Heizelemente aus Kanthal A1: Ausgestattet mit originalem Kanthal-Widerstandsdraht liefert der Ofen eine gleichbleibende Heizleistung und außergewöhnliche Langlebigkeit und hält auch nach wiederholten Hochtemperaturzyklen ein stabiles Temperaturfeld aufrecht.
- Präzisionsgefertigtes Split-Chamber-Design: Die Kammer aus polykristalliner Aluminiumoxidfaser ist in zwei Hälften geteilt und kann während oder nach dem Betrieb geöffnet werden, um ein schnelles Abschrecken, sofortiges Abkühlen oder das bequeme Entnehmen und Austauschen des Prozessrohrs zu ermöglichen.
- Überlegene Vakuum- und Atmosphärenabdichtung: Mit Doppeldichtungs-Flanschen aus Edelstahl, integrierten Gasanschlüssen, Ventilen und Manometern kann das System Vakuumniveaus von 10-3 Pa erreichen und ist damit ideal für wärmebehandlung empfindlicher, sauerstoffempfindlicher Materialien.
- Robuste Sicherheits- und Schutzsysteme: Das Gerät ist mit einem Überfahrweg-Endschalter ausgestattet, der beim Öffnen der Abdeckung die Stromzufuhr unterbricht, sowie mit Übertemperatur- und Überstromschutz, der das System bei einem Thermoelementfehler automatisch abschaltet.
- Japanische Isolierung aus polykristalliner Aluminiumoxidfaser: Das aus Japan importierte Kammermaterial bietet hohe Reflexion und ausgezeichnete Beständigkeit gegen thermische Ausdehnung und Kontraktion und sorgt so für Energieeffizienz und eine gleichmäßige innere Temperaturumgebung.
- Integrierte Datenkommunikation und Software: Eine RS485-Kommunikationsschnittstelle ermöglicht die vollständige Fernsteuerung über den PC. So können Bediener PV/SV-Parameter in Echtzeit überwachen, Heizkurven speichern und Daten für Qualitätskontrolle und Auditierung archivieren.
- Zuverlässige Komponenten für das Energiemanagement: Durch den Einsatz von in Deutschland gefertigtem Semikron-gesteuertem Silizium und Chint-Leistungssteuerungen verwendet das System eine Phasenanschnittsteuerung, um eine gleichmäßige und präzise Leistungszufuhr zu den Heizelementen zu gewährleisten.
- Hydraulische Hebeunterstützung: Die Ofenabdeckung ist mit einem hydraulischen Hubmechanismus ausgestattet, der das Öffnen und Schließen des schweren geteilten Oberteils sanft, sicher und mit minimalem körperlichem Aufwand für den Bediener ermöglicht.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Vakuumglühen | Behandlung von Metallen und Legierungen in einer kontrollierten Vakuumumgebung zum Abbau innerer Spannungen. | Verhindert Oxidation und Oberflächenkontamination während des Heizzyklus. |
| Abschreckforschung | Schnelles Abkühlen von Materialien aus hohen Temperaturen, um ihre Kristallstruktur zu verändern. | Das geteilte Design ermöglicht sofortige Exposition und schnelle Temperaturabfälle. |
| CVD / PECVD | Chemical Vapor Deposition zur Herstellung von Dünnschichten, Nanoröhren oder Graphen. | Die Zweizonenregelung erzeugt die präzisen Temperaturgradienten, die für den Dampftransport erforderlich sind. |
| Atmosphärisches Sintern | Erwärmung von keramischen oder metallischen Pulvern in bestimmten Gasumgebungen wie Stickstoff oder Argon. | Integrierte Gasanschlüsse und Durchflussmesser ermöglichen eine präzise Zusammensetzung der Atmosphäre. |
| Halbleiter-F&E | Wärmebehandlung von Siliziumwafern oder elektronischen Bauteilen unter hochreinen Bedingungen. | Hohe Vakuumfähigkeit und präzise PID-Regelung gewährleisten hohe Ausbeute und Reproduzierbarkeit. |
| Luft- und Raumfahrtmaterialien | Prüfung hitzebeständiger Legierungen und Verbundwerkstoffe unter extremen thermischen Belastungen. | Zuverlässiger Betrieb bei 1200 °C mit konsistenter Gleichmäßigkeit über die gesamte Prozesszone hinweg. |
| Atmosphärenreduktion | Verwendung von Wasserstoff oder Formiergas zur Entfernung von Oxiden von metallischen Proben. | Sichere Flanschabdichtung und Gashandhabungssysteme gewährleisten einen sicheren Umgang mit Prozessgasen. |
| Batterieforschung | Kalzinierung und Sintern von Kathoden- und Anodenmaterialien für fortschrittliche Energiespeicher. | Gleichmäßige Erwärmung sorgt für konsistente elektrochemische Eigenschaften über die gesamte Probencharge hinweg. |
Technische Daten
| Spezifikationskategorie | Parameter | TU-GS01-I | TU-GS01-II | TU-GS01-III |
|---|---|---|---|---|
| Kammerabmessungen | Rohrdurchmesser x Länge | 60mm x 1000mm | 80mm x 1000mm | 100mm x 1000mm |
| Außenabmessungen | Gesamtgröße (LxBxH) | 1140 x 460 x 695 mm | 1140 x 460 x 695 mm | 1140 x 460 x 695 mm |
| Thermische Leistung | Max. Temperatur | 1200°C | 1200°C | 1200°C |
| Dauerbetriebstemperatur | 1100°C | 1100°C | 1100°C | |
| Heizrate (max.) | ≤30°C / min | ≤30°C / min | ≤30°C / min | |
| Empfohlene Heizrate | ≤15°C / min | ≤15°C / min | ≤15°C / min | |
| Temperaturgenauigkeit | +/- 1°C | +/- 1°C | +/- 1°C | |
| Zonen-Konfiguration | Gesamtheizlänge | 410mm (205mm/Zonen) | 410mm (205mm/Zonen) | 410mm (205mm/Zonen) |
| Konstante Temp.-Länge | 160mm (80mm/Zonen) | 160mm (80mm/Zonen) | 160mm (80mm/Zonen) | |
| Elektrische Daten | Leistung | 2.5KW | 2.5KW | 3.5KW |
| Spannung | 220V (Einphasen) | 220V (Einphasen) | 220V (Einphasen) | |
| Kernkomponenten | Heizelement | Kanthal A1 Draht | Kanthal A1 Draht | Kanthal A1 Draht |
| Temperaturregler | Shimaden FP93 | Shimaden FP93 | Shimaden FP93 | |
| Thermoelement | Typ K | Typ K | Typ K | |
| Isoliermaterial | Polykristallines Aluminiumoxid | Polykristallines Aluminiumoxid | Polykristallines Aluminiumoxid | |
| Vakuum / Gas | Dichtungstyp | Doppelring-Flansch | Doppelring-Flansch | Doppelring-Flansch |
| Vakuumniveau (Standard) | 10-1 Pa | 10-1 Pa | 10-1 Pa | |
| Vakuumniveau (optional) | 10-4 Pa (Molekularpumpe) | 10-4 Pa (Molekularpumpe) | 10-4 Pa (Molekularpumpe) |
Standardkomponenten und Zubehör
- Haupteinheit des Rohrofens: 1 Stk. (TU-GS01)
- Vakuumflansche aus Edelstahl: 1 Satz (inkl. Gasanschlüsse und Ventile)
- Prozessrohr: 1 Stk. (hochreines Quarzglas für die TU-GS01-Serie)
- Wärmeisolationsblöcke: 2 Paare (Aluminiumoxid-Keramik)
- Hilfswerkzeuge: 1 Stk. Haken aus Edelstahl; 5 Stk. Aluminiumoxid-Tiegel
- Sicherheitsausrüstung: 1 Paar Hitzeschutzhandschuhe
- Mess- und Regeltechnik: 2 Stk. Typ-K-Thermoelemente; 2 Stk. Ersatzsicherungen
- Steuerungsset: RS485-Computer-Schnittstelle, Shimaden-Software und umfassende Handbücher
Warum TU-GS01 wählen
- Bewährte Langzeitzuverlässigkeit: Durch die Integration erstklassiger Komponenten wie Kanthal-Heizelemente und Shimaden-Regler ist dieser Ofen dafür ausgelegt, jahrelangem kontinuierlichen industriellen und laborbezogenen Einsatz ohne Leistungsverlust standzuhalten.
- Überlegene thermische Präzision: Die Zweizonenregelung in Kombination mit einer 6-Gruppen-PID-Logik stellt sicher, dass Ihre Materialien unter genau den thermischen Bedingungen verarbeitet werden, die erforderlich sind, und eliminiert Chargenunterschiede.
- Erhöhte Betriebssicherheit: Mehrere Schutzebenen, darunter physische Endschalter für die geteilte Scharnierabdeckung und ausgefeilte elektronische Sicherheitsmechanismen, schützen sowohl den Bediener als auch die wertvollen Proben im Rohr.
- Flexible Systemarchitektur: Ob hohe Vakuumniveaus, bestimmte Gasdurchflussraten oder kundenspezifische Rohrabmessungen erforderlich sind – die TU-GS01-Plattform ist hochgradig anpassungsfähig und kann an spezifische Forschungsprotokolle und industrielle Arbeitsabläufe angepasst werden.
- Hochwertige Materialkonstruktion: Von der aus Japan importierten Aluminiumoxidfaser-Isolierung bis zu den robusten Flanschen aus Edelstahl wird jedes Material aufgrund seiner Fähigkeit ausgewählt, Temperaturschocks zu widerstehen und die strukturelle Integrität zu erhalten.
Investieren Sie in eine Wärmebehandlungslösung, die Präzisionsengineering mit industrietauglicher Langlebigkeit kombiniert, damit Ihre F&E-Ergebnisse stets konsistent und zuverlässig sind. Kontaktieren Sie THERMUNITS noch heute für eine detaillierte technische Beratung oder ein individuell auf Ihre Laboranforderungen zugeschnittenes Angebot.
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