Röhrenofen
1500°C Zwei-Zonen-Klapp-Rohrofen mit Vakuumflansch und 80mm Aluminiumoxid-Rohr
Artikelnummer: TU-64
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Produktübersicht

Dieses Hochtemperatur-Wärmebehandlungssystem stellt eine Spitzenleistung der Ingenieurskunst für Labore und industrielle Forschungseinrichtungen dar, die eine präzise Atmosphären- und Temperatursteuerung erfordern. Als Zwei-Zonen-Klapp-Rohrofen konzipiert, bietet das Gerät eine vielseitige Plattform für fortschrittliche Materialsynthese, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und komplexe Sinterprozesse. Durch die aufklappbare Architektur ermöglicht das Gerät einen mühelosen Zugang zur Reaktionskammer, was den schnellen Austausch von Prozessrohren erleichtert und komplexe experimentelle Aufbauten mit vormontierten Komponenten oder empfindlicher Probenplatzierung ermöglicht. Sein Kernvorteil liegt in der Fähigkeit, hochstabile thermische Umgebungen bis zu 1500°C aufrechtzuerhalten, unterstützt durch robuste Siliziumkarbid-Heiztechnologie.
Das System ist darauf ausgelegt, kritische Rollen in der Metallurgie, Halbleiterentwicklung und Luft- und Raumfahrt-Materialprüfung zu übernehmen. Es bietet außergewöhnliche Flexibilität und ermöglicht Benutzern den Wechsel zwischen vakuumversiegelten Umgebungen und kontrollierten Gasatmosphären mit minimalen Ausfallzeiten. Die Zwei-Zonen-Konfiguration ermöglicht die Erstellung komplexer thermischer Gradienten oder die Aufrechterhaltung ausgedehnter gleichmäßiger Temperaturzonen, je nach den spezifischen Anforderungen des Wärmebehandlungszyklus. Die Anpassungsfähigkeit dieses Geräts macht es zu einem grundlegenden Werkzeug für Forscher, die die Grenzen der Hochtemperaturchemie und -physik unter strengen, reproduzierbaren Bedingungen erweitern.
Zuverlässigkeit steht im Mittelpunkt des Designs dieses Ofens. Durch den Einsatz hochwertiger S-Typ-Thermoelemente und fortschrittlicher PID-Instrumentierung gewährleistet das Gerät eine gleichbleibende Leistung selbst bei längerem Dauerbetrieb bei 1400°C. Die robusten Vakuumdichtflansche aus Edelstahl und die hochreinen Aluminiumoxid-Prozessrohre wurden aufgrund ihrer Langlebigkeit und Beständigkeit gegen Thermoschocks ausgewählt, was eine lange Lebensdauer in anspruchsvollen F&E-Umgebungen garantiert. Jede Komponente ist sorgfältig integriert, um eine stabile, sichere und hochgradig steuerbare thermische Umgebung zu bieten, die den anspruchsvollen Standards moderner industrieller Beschaffungsteams und Materialwissenschaftler entspricht.
Hauptmerkmale
- Aufklappbare Prozesskammer: Das innovative Klappdesign ermöglicht es, den Ofenkörper der Länge nach zu öffnen, was einen sofortigen Zugang zum Aluminiumoxid-Rohr für einfaches Einlegen von Proben, Reinigung und schnelles Abkühlen ermöglicht, ohne komplexe Gas- oder Vakuumleitungen demontieren zu müssen.
- Unabhängige Zwei-Zonen-Temperaturregelung: Zwei getrennte Heizzonen, die jeweils mit einem eigenen PID-Regler und S-Typ-Thermoelement ausgestattet sind, ermöglichen die Erstellung spezifischer Temperaturgradienten oder eine erweiterte gleichmäßige Heizzone für höhere Durchsatzanforderungen.
- Hochleistungs-SiC-Heizelemente: Angetrieben von sechzehn 1500°C-Siliziumkarbid-Stäben erreicht das System schnelle Aufheizraten und langfristige Stabilität bei hohen Temperaturen, was metallische Standardelemente in oxidativen oder anspruchsvollen Umgebungen übertrifft.
- Präzise PID-Instrumentierung: Zwei programmierbare 30-Segment-Regler ermöglichen die exakte Steuerung von Heizraten, Haltezeiten und Abkühlprofilen, mit integriertem Überhitzungs- und Thermoelementbruchschutz zur Gewährleistung der Prozessintegrität.
- Fortschrittliche Vakuum- und Atmosphärenfähigkeit: Ausgestattet mit Vakuumdichtflanschen aus Edelstahl, die integrierte Ventile und Druckanzeigen enthalten, unterstützt das System in Verbindung mit einer Molekularpumpe Vakuumniveaus bis zu 10E-5 Torr und ist für kontrollierte Gasströme ausgelegt.
- Hochreines Aluminiumoxid-Prozessrohr: Das Standard-Keramikrohr mit 80 mm Außendurchmesser ist für strukturelle Integrität bei hohen Temperaturen ausgelegt und bietet exzellente chemische Beständigkeit und thermische Stabilität für die Verarbeitung in Reinraumqualität.
- Umfassende Sicherheitssysteme: Das Gerät umfasst einen Übertemperaturalarm und automatische Abschaltfunktionen, die einen unbeaufsichtigten Betrieb ermöglichen und sowohl den Bediener als auch die empfindlichen Materialproben vor thermischen Exkursionen schützen.
- PC-Kommunikation und Fernüberwachung: Integrierte RS485-Kommunikationsanschlüsse ermöglichen eine nahtlose Integration mit externer Software (optional), was Datenprotokollierung, Fernverwaltung von Rezepten und Echtzeit-Prozessdarstellung zur Qualitätskontrolle ermöglicht.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) | Abscheidung hochwertiger Dünnschichten und Kohlenstoff-Nanoröhren auf Substraten unter Vakuum. | Präzise Steuerung des Temperaturgradienten für gleichmäßiges Schichtwachstum über die Rohrlänge. |
| Keramiksintern | Hochtemperatur-Verfestigung fortschrittlicher Keramikpulver zu dichten Strukturbauteilen. | Stabile 1500°C-Fähigkeit zur Gewährleistung maximaler Dichte und Festigkeit in Keramikmaterialien. |
| Halbleiter-Glühen | Thermische Nachbehandlung zur Reparatur von Kristallgittern und Aktivierung von Dotierstoffen in Silizium- oder SiC-Wafern. | Kontrollierte Abkühlraten und hochreine Atmosphäre zur Vermeidung von Kontamination und Defekten. |
| Atmosphärische Materialsynthese | Verarbeitung von Materialien unter Inert- oder Reduktionsgasen zur Untersuchung chemischer Reaktionen und Phasenänderungen. | Integrierte Gasflansche mit 3 PSI Sicherheitsüberwachung für präzise Atmosphärenzusammensetzung. |
| Gradienten-Wärmebehandlung | Gezieltes Abkühlen oder Erhitzen verschiedener Probenteile mit unterschiedlichen Raten zur metallurgischen Analyse. | Die Unabhängigkeit der zwei Zonen ermöglicht die Erstellung scharfer, reproduzierbarer thermischer Gradienten. |
| Batterieforschung | Kalzinierung und thermische Verarbeitung von Elektrodenmaterialien (Anoden/Kathoden) für die Lithium-Ionen-Technologie. | Hoher Durchsatz mit dem 80mm-Rohr und konsistente thermische Gleichmäßigkeit über zwei Zonen. |
Technische Spezifikationen
| Parametergruppe | Spezifikationsdetail | Technischer Wert (TU-64) |
|---|---|---|
| Stromversorgung | Leistungsaufnahme | 6 KW |
| Betriebsspannung | 208V - 240V AC, Einphasig, 50/60Hz | |
| Empfohlener Schutzschalter | 40 Ampere | |
| Thermische Leistung | Maximale Betriebstemperatur | 1500°C (kurzzeitig) |
| Dauerbetriebstemperatur | 1400°C | |
| Empfohlene Heizrate | ≤ 5°C pro Minute | |
| Temperaturgenauigkeit | +/- 1°C | |
| Gleichmäßige Zone (Zwei-Zonen-Synchronisation) | 200 mm (+/- 2°C) | |
| Heizkonfiguration | Heizelemente | 16 Stk. SiC-Stäbe (14mm Durchmesser x 150mm Heizlänge) |
| Thermoelemente | 2 Stk. eingebaute S-Typ | |
| Heizzonenlänge | Insgesamt 390 mm (zwei 200mm Zonen inkl. 20mm Abstand) | |
| Rohr & Flansche | Standard-Rohrmaterial | Aluminiumoxid-Keramikrohr |
| Standard-Rohrabmessungen | 80 mm AD x 74 mm ID x 1000 mm Länge | |
| Optionales Rohrmaterial | Mullit (bis 1300°C unter Vakuum) | |
| Vakuumflanschmaterial | Edelstahl mit zwei Ventilen und Druckmesser | |
| Umweltkontrolle | Vakuumniveau (mechanische Pumpe) | 10E-2 Torr |
| Vakuumniveau (Molekularpumpe) | 10E-5 Torr | |
| Max. Gasdruck | < 0,02 Mpa / 0,2 Bar / 3 PSI | |
| Steuerschnittstelle | Programmierung | PID automatisch, 30 Segmente pro Zone |
| Datenkommunikation | RS485-Anschluss (optionale PC/WiFi-Steuerung verfügbar) | |
| Sicherheitsfunktionen | Übertemperaturalarm, Thermoelementbruchschutz |
Warum diesen Ofen wählen?
- Präzisionsentwicklung für Zwei-Phasen-Zonen: Die Zwei-Zonen-Konfiguration dieses Geräts bietet Forschern die seltene Fähigkeit, komplexe thermische Profile zu verwalten, was ihn für gradientenempfindliche Experimente weitaus vielseitiger macht als Standard-Ein-Zonen-Öfen.
- Überlegene thermische Effizienz und Haltbarkeit: Durch die Verwendung hochwertiger Siliziumkarbid-Heizelemente und erstklassiger Aluminiumoxid-Keramikrohre ist das System so gebaut, dass es den Anforderungen der industriellen 24/7-F&E standhält, ohne dass die Leistung wesentlich nachlässt.
- Nahtlose Integration und Skalierbarkeit: Mit integrierter RS485-Kommunikation und optionalen PC-basierten LabVIEW-Steuerungssystemen kann dieser Ofen in größere automatisierte Labornetzwerke zur Rezeptverwaltung und Datenrückverfolgbarkeit integriert werden.
- Sicherheitsorientiertes Betriebsdesign: Von der 3 PSI-Druckentlastungsüberwachung bis hin zur automatischen Übertemperaturabschaltung ist jeder Aspekt des Systems darauf ausgelegt, während langer thermischer Zyklen Sicherheit zu bieten.
- Verifizierte Konformität und Support: Alle Einheiten sind CE-zertifiziert und nach internationalen Standards gebaut, unterstützt durch unser reaktionsschnelles technisches Support-Team, das Anpassungen für spezifische Gasversorgungs- oder Vakuumanforderungen vornehmen kann.
Für kundenspezifische Konfigurationen mit einzigartigen Rohrdurchmessern, integrierten Gasversorgungssystemen oder speziellen Vakuumpumpstationen wenden Sie sich bitte an unser technisches Vertriebsteam für ein umfassendes Angebot und eine Projektberatung.
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