Röhrenofen
1500°C geteilter Rohrofen mit Aluminiumoxidrohr und Vakuum-Dichtflanschen für die Materialforschung
Artikelnummer: TU-63
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Produktübersicht
Dieser Hochtemperatur-Geteiltrohrofen stellt einen Höhepunkt präziser Konstruktion für fortschrittliche Materialwissenschaft und industrielle F&E dar. Ausgelegt für Temperaturen bis zu 1500°C verfügt das Gerät über eine einzigartige teilbare Aluminiumoxid-Rohrkammer, die schnellen Probenzugang und die einfache Integration komplexer Versuchsaufbauten ermöglicht. Durch die Kombination leistungsstarker Siliziumkarbid-(SiC)-Heizelemente mit einer vielseitigen Rohrkonfiguration liefert dieses System die stabile thermische Umgebung, die für kritische Prozesse wie Sintern, Glühen und chemische Gasphasenabscheidung erforderlich ist.
Der Hauptvorteil dieses Geräts liegt in seiner Anpassungsfähigkeit an Vakuum- und kontrollierte Atmosphärenbedingungen. Ausgestattet mit hochwertigen Edelstahl-Vakuumdichtflanschen und hochreinen Aluminiumoxidrohren unterstützt das Gerät anspruchsvolle thermische Prozesse in verschiedenen Branchen, darunter die Halbleiterfertigung, die Entwicklung von Luft- und Raumfahrtmaterialien sowie die katalytische Forschung. Das geteilte Design ist besonders vorteilhaft für Forscher, die häufig Prozessrohre einsetzen und entnehmen müssen, ohne den umgebenden Probenaufbau oder Gasanschlüsse zu stören.
Der Ofen ist für den robusten industriellen und Laborbetrieb ausgelegt und befindet sich in einem doppelschichtigen Stahlgehäuse, das Luftkühlungstechnologie nutzt, um eine sichere Außentemperatur zu gewährleisten. Jede Komponente, von der faserigen Aluminiumoxidisolierung bis zum fortschrittlichen PID-Regler, wurde ausgewählt, um langfristige Zuverlässigkeit und Konsistenz sicherzustellen. Dieses System bietet Beschaffungsteams und Laborleitern eine robuste, hochverfügbare Lösung für anspruchsvolle Wärmebehandlungsprotokolle, bei denen Präzision und Sicherheit unverzichtbar sind.
Hauptmerkmale
- Teilbare Kammerarchitektur: Das längs geteilte Design bietet einen unvergleichlichen Zugang zur Prozesszone. Dadurch können Bediener das Aluminiumoxidrohr problemlos installieren oder entfernen, interne Thermoelemente handhaben oder die Probenposition anpassen, ohne die gesamte Einheit zu zerlegen, was die Ausfallzeiten zwischen Versuchsreihen erheblich reduziert.
- Fortschrittliche Siliziumkarbid-(SiC)-Heizelemente: Hochwertige SiC-Stäbe der 1500er-Klasse sorgen für effiziente und gleichmäßige Strahlungswärme. Diese Elemente sind speziell für schnelle thermische Zyklen und hohe Temperaturstabilität ausgelegt und gewährleisten, dass das Gerät seine maximale Nenntemperatur zuverlässig für kritische industrielle Prozesse erreicht.
- Präzise PID-Temperaturregelung: Der integrierte digitale Regler verfügt über Proportional-Integral-Derivat-Logik und eine Autotune-Funktion. Mit 30 programmierbaren Segmenten für Aufheizen, Abkühlen und Halten liefert das System eine Genauigkeit von +/- 1°C und ermöglicht die wiederholbaren thermischen Zyklen, die für empfindliche Materialsynthetisierung erforderlich sind.
- Integrierter Sicherheitsverriegelungsschutz: Um die Sicherheit des Personals in stark frequentierten Laborumgebungen zu gewährleisten, verfügt das System über einen eingebauten Verriegelungsmechanismus. Diese Sicherheitsfunktion schaltet die Heizelemente automatisch ab, sobald die Ofenabdeckung geöffnet wird, und verhindert so versehentlichen Kontakt mit Hochspannung oder extremer thermischer Strahlung.
- Hochleistungs-Vakuumdichtflansche: Jede Einheit enthält ein Paar intelligenter Edelstahl-Vakuumflansche mit Ventilen und Messgeräten. Diese Konfiguration ermöglicht einen nahtlosen Wechsel zwischen Hochvakuumumgebungen und unter Druck stehenden Gasströmungsbedingungen und unterstützt eine breite Palette an Anforderungen zur Atmosphärenkontrolle.
- Doppelschichtiges luftgekühltes Stahlgehäuse: Das Ofengehäuse ist mit einem internen Luftkühlgebläse-System ausgestattet. Diese Doppelwandkonstruktion stellt sicher, dass die Außenoberfläche bei einer Innentemperatur von 1500°C unter 60°C bleibt und so Bediener sowie empfindliche Laborgeräte in der Umgebung schützt.
- Industriegeeignete Wärmedämmung: Durch die Verwendung hochreiner faseriger Aluminiumoxidisolierung minimiert der Ofen Wärmeverluste und maximiert die Energieeffizienz. Die spezielle feuerfeste Beschichtung auf der Innenoberfläche verlängert zudem die Lebensdauer der Isolierung, indem sie deren Abbau bei wiederholten Hochtemperaturzyklen widersteht.
- Vielseitige Atmosphärensteuerung: Das Gerät ist für unterschiedliche Gasumgebungen optimiert. Mit der Fähigkeit, Vakuumniveaus bis zu 10^-5 torr (mit einer Turbomolekularpumpe) aufrechtzuerhalten oder Inertgasströme zu verarbeiten, ist es eine ideale Plattform für Graphitisierung, Karbonisierung und spezielle Oxidationsstudien.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Wichtiger Vorteil |
|---|---|---|
| Katalytische Graphitisierung | Verarbeitung von Phenolharz-Kohlenstoff und Katalysatoren bei ultrahohen Temperaturen, um amorphen Kohlenstoff in Graphitstrukturen umzuwandeln. | Gewährleistet die katalytische Effizienz von Ni-Zn-B durch eine hervorragende Gleichmäßigkeit des Temperaturfelds. |
| Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) | Wachstum hochwertiger Dünnschichten und 3C-SiC-Filme auf Siliziumsubstraten für Halbleiteranwendungen. | Präzise Kontrolle von Gasfluss und Temperaturgradienten für eine gleichmäßige Schichtdicke. |
| Keramiksintern | Hochtemperaturverdichtung keramischer Pulver zu dichten, leistungsstarken Strukturkomponenten. | Minimale Temperaturschwankungen verhindern Risse und verbessern die Materialdichte. |
| F&E für Batteriematerialien | Thermische Verarbeitung von Elektrodenmaterialien unter kontrollierten inerten Atmosphären zur Verbesserung elektrochemischer Eigenschaften. | Verhindert die Oxidation empfindlicher Pulver durch hochdichte Vakuumabdichtung. |
| Halbleiterglühen | Anpassung der physikalischen und elektrischen Eigenschaften von Siliziumwafern und anderen Substraten durch kontrolliertes Erhitzen. | Schnelle Abkühlmöglichkeiten ermöglichen eine präzise Steuerung der Dotierstoff-Diffusionsprofile. |
| Verbundwerkstoffe für die Luft- und Raumfahrt | Wärmebehandlung fortschrittlicher Legierungen und Verbundwerkstoffe unter strikter Einhaltung von 1500°C-Temperaturprofilen. | Robuste SiC-Elemente liefern die hohe Leistung, die für große Probenmengen erforderlich ist. |
Technische Daten
| Parameter | TU-63-2 (2"-Variante) | TU-63-3 (3"-Variante) |
|---|---|---|
| Modellkennung | TU-63-2 | TU-63-3 |
| Standardgröße des Aluminiumoxidrohrs | 50mm Außendurchmesser x 40mm Innendurchmesser x 1000mm Länge | 76mm Außendurchmesser x 67mm Innendurchmesser x 1000mm Länge |
| Heizelementtyp | 16 Stück SiC-Stäbe (1500er-Klasse) | 16 Stück SiC-Stäbe (1500er-Klasse) |
| Maximale Temperatur | 1500°C (< 1 Stunde) | 1500°C (< 1 Stunde) |
| Kontinuierliche Betriebstemperatur | 1400°C | 1400°C |
| Aufheizrate | Max. 10°C/min (abhängig vom Rohr) | Max. 10°C/min (abhängig vom Rohr) |
| Abkühlrate | < 5°C/min (spezifisch für Aluminiumoxid) | < 5°C/min (spezifisch für Aluminiumoxid) |
| Temperaturgenauigkeit | +/- 1°C | +/- 1°C |
| Gesamtlänge der Heizzone | 390 mm | 390 mm |
| Konstanttemperaturzone | 150 mm (+/- 2°C) | 150 mm (+/- 2°C) |
| Spannungsanforderung | 208 - 240VAC Einphasenstrom | 208 - 240VAC Einphasenstrom |
| Leistungsaufnahme | 6,0 kW | 6,0 kW |
| Thermoelementtyp | Typ S | Typ S |
| Vakuumleistungsfähigkeit | 10^-2 torr (mechanisch) / 10^-5 torr (Turbo) | 10^-2 torr (mechanisch) / 10^-5 torr (Turbo) |
| Leckrate | < 5 mtorr / min | < 5 mtorr / min |
| Drucküberwachung | Mechanisches Manometer (-0.1 bis 0.15Mpa) | Mechanisches Manometer (-0.1 bis 0.15Mpa) |
| Konformitäten | CE-zertifiziert (UL/CSA verfügbar) | CE-zertifiziert (UL/CSA verfügbar) |
Warum diesen geteilten Rohrofen wählen
- Bewährte langfristige Zuverlässigkeit: Mit 1500er-SiC-Heizelementen und vertikaler Stabinstallation konstruiert, ist dieses System dafür ausgelegt, den Belastungen des kontinuierlichen Industrieeinsatzes ohne Leistungsabfall standzuhalten.
- Erhöhte Betriebssicherheit: Vom integrierten Verriegelungssystem, das Benutzer vor thermischen Gefahren schützt, bis hin zum doppelschichtigen Kühlgehäuse priorisiert jede Designentscheidung eine sichere Arbeitsumgebung für Forscher.
- Präzise Fertigungsstandards: Die Verwendung hochreiner faseriger Aluminiumoxid-Isolierung und spezieller feuerfester Beschichtungen stellt sicher, dass der Ofen seine thermische Integrität beibehält, wodurch Wartungshäufigkeit und Gesamtbetriebskosten reduziert werden.
- Vielseitige Flanschtechnik: Das intelligente Edelstahl-Flanschesystem ist für hohe Vakuumdichtheit und einfache Handhabung ausgelegt und ermöglicht einen schnellen Wechsel zwischen verschiedenen atmosphärischen Prozessmodi.
- Anpassbare Steuerungsoptionen: Über die standardmäßige 30-Segment-PID-Regelung hinaus kann dieses System mit computergestützter Datenaufzeichnung und PC-Kommunikationsanschlüssen aufgerüstet werden, um die spezifischen Dokumentationsanforderungen moderner F&E-Labore zu erfüllen.
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