Hochtemperatur-Sieben-Zonen-Rohrofen mit geteiltem Gehäuse, 1200 °C Maximaltemperatur und Quarzrohr mit großem Durchmesser

Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem wurde für die industrielle Forschung und Pilotproduktionsumgebungen entwickelt, in denen präzise Temperaturgradienten und große Heizvolumina entscheidend sind. Durch die Nutzung einer einzigartigen Sieben-Zonen-Heizarchitektur ermöglicht das Gerät die Schaffung einer außergewöhnlich langen und stabilen gleichmäßigen Temperaturzone. Dies macht es ideal für die Material-Großsynthese, Halbleiterverarbeitung und komplexe chemische Gasphasenabscheidung (CVD). Das geteilte Design bietet einen beispiellosen Zugang zur Prozesskammer und erleichtert das Einsetzen schwerer oder empfindlicher Proben in einer hochreinen Umgebung.

Das System ist auf Vielseitigkeit ausgelegt und unterstützt Vakuumniveaus von 10⁻² bis 10⁻⁵ Torr sowie verschiedene Gasatmosphären. Es dient als Eckpfeiler für fortschrittliche materialwissenschaftliche Labore, metallurgische Abteilungen und High-Tech-Fertigungsanlagen, die konsistente, reproduzierbare Ergebnisse über große Verarbeitungsbereiche hinweg erfordern. Ob für Glüh-, Sinter- oder Beschichtungsprozesse – dieses Gerät liefert die thermische Stabilität, die moderne materialtechnische Standards erfordern.

Zuverlässigkeit steht im Mittelpunkt der Konstruktion dieses Ofens. Ausgestattet mit einem doppellagigen Stahlgehäuse mit aktiver Lüfterkühlung und hochreiner faseriger Aluminiumoxid-Isolierung hält das Gerät die Außentemperaturen niedrig und gewährleistet gleichzeitig maximale Energieeffizienz. Die elektrisch zylinderbetriebenen oberen Abdeckungen sorgen für einen reibungslosen und sicheren Betrieb, selbst in industriellen Umgebungen mit hohem Durchsatz, und geben dem Bediener die Sicherheit, anspruchsvolle thermische Zyklen ohne Kompromisse bei Sicherheit oder Leistung zu bewältigen.

Hauptmerkmale

• Unabhängige Sieben-Zonen-Temperaturregelung: Das System nutzt sieben separate Heizzonen, die jeweils von einem eigenen digitalen PID-Regler gesteuert werden. Dies ermöglicht die präzise Steuerung thermischer Gradienten oder die Aufrechterhaltung einer massiven 1350 mm langen gleichmäßigen Temperaturzone innerhalb von ±2 °C.
• Elektrisches Zylinder-Split-Design: Die obere geteilte Abdeckung wird durch leistungsstarke elektrische Zylinder betätigt, was ein sanftes und automatisiertes Öffnen und Schließen ermöglicht. Dieses Design erlaubt schnelles Abkühlen, einfachen Rohraustausch und vereinfachtes Laden von Proben ohne manuelles Heben.
• Präzisions-Heizelemente: Hochleistungs-Heizelemente sind strategisch über alle sieben Zonen verteilt, um schnelle Aufheizraten von bis zu 10 °C/min und eine maximale Betriebstemperatur von 1200 °C für kurzzeitige Prozesse zu gewährleisten.
• Fortschrittliche Atmosphärenkontrolle: Ausgestattet mit einem Quarzrohr mit 8 Zoll Innendurchmesser und Edelstahl-Vakuumflanschen mit doppelten Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen sorgt das System für eine dichte Versiegelung bei Vakuum- oder Inertgasprozessen.
• Integrierter Wasserkühlmantel: Die Vakuumflansche verfügen über einen eingebauten Wasserkühlmantel, um die Dichtungs-O-Ringe und Instrumente vor hohen Temperaturen zu schützen und die langfristige Dichtungsintegrität im Dauerbetrieb zu gewährleisten.
• Hervorragende Wärmedämmung: Durch die Verwendung energiesparender, hochreiner faseriger Aluminiumoxid-Isolierung minimiert der Ofen den Wärmeverlust, verbessert die Aufheizzeiten und hält die Außengehäusetemperatur unter 70 °C.
• Umfassende Sicherheitssysteme: Integrierter Überhitzungsschutz, Schutz bei Thermoelementbruch sowie ein Übertemperaturalarm ermöglichen einen sicheren, unbeaufsichtigten Betrieb während lang andauernder thermischer Zyklen.
• Doppellüfter-Architektur: Eine doppellagige Stahlgehäusekonstruktion in Kombination mit zwei Hochgeschwindigkeits-Kühllüftern sorgt für eine effiziente Wärmeableitung und verlängert die Lebensdauer der internen elektronischen Komponenten.
• Digitale Kommunikation und Software: Integrierte RS485-Kommunikationsanschlüsse ermöglichen die PC-basierte Steuerung und Überwachung, wodurch Benutzer komplexe 30-Segment-Heizprofile speichern, laden und aus der Ferne analysieren können.
• Vielseitige Materialkompatibilität: Das Quarzrohr mit großem Durchmesser und die mitgelieferten Puffer-Thermoblöcke sind für eine Vielzahl von Tiegeln, Wafer-Haltern und Materialtransportsystemen optimiert.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Warum den Hochtemperatur-Sieben-Zonen-Rohrofen wählen?

• Unübertroffene thermische Gleichmäßigkeit: Die Sieben-Zonen-Architektur bietet den längsten stabilen Heizbereich seiner Klasse und stellt sicher, dass großformatige Industrieproben von Ende zu Ende identische thermische Bedingungen erfahren.
• Industrielle Robustheit: Dieses für den Dauerbetrieb ausgelegte System zeichnet sich durch eine erstklassige Stahlkonstruktion, fortschrittliche Kühlung und hochwertige, nach internationalen Standards zertifizierte PID-Elektronik aus.
• Präzise Vakuum-Integrität: Unsere spezialisierten Edelstahlflansche und hochreinen Quarzrohre ermöglichen es Forschern, ultra-saubere Umgebungen aufrechtzuerhalten, die für empfindliche Halbleiter- und Luft- und Raumfahrtanwendungen unerlässlich sind.
• Fortschrittliche Prozessautomatisierung: Mit 30-Segment-Programmierung und optionaler Softwareintegration werden komplexe thermische Zyklen einfach automatisiert, was Bedienfehler reduziert und den Durchsatz erhöht.
• Flexible Anpassung: Von Eurotherm-Regler-Upgrades bis hin zu kundenspezifischen Gasversorgungssystemen bieten wir die Flexibilität, diesen Ofen an Ihre spezifischen Forschungs- oder Produktionsanforderungen anzupassen.

Unser Ingenieurteam steht bereit, um Sie bei der Konfiguration der idealen thermischen Lösung für Ihr Labor oder Ihre Produktionslinie zu unterstützen. Kontaktieren Sie uns noch heute für eine technische Beratung oder um ein formelles Angebot anzufordern.