Einzonen-Rohrofen 5-Zoll-Quarzrohr 36-Zoll-Heizzone Vakuumflansche

Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem wurde für die fortgeschrittene Materialforschung und industrielle Wärmebehandlungsanwendungen entwickelt, die eine Reaktionskammer mit großem Durchmesser und eine lange, gleichmäßige Heizzone erfordern. Als geteilter Einzonen-Ofen konzipiert, ermöglicht das Gerät einen einfachen Zugang zum Prozessrohr, was das schnelle Be- und Entladen von Proben erleichtert und Wartungsabläufe optimiert. Sein Hauptvorteil liegt in der Fähigkeit, eine hochstabile thermische Umgebung bis zu 1200°C aufrechtzuerhalten, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Labore und Produktionsstätten in den Bereichen Halbleiterverarbeitung, Metallurgie und Keramiktechnik macht.

Das Gerät ist speziell für hochreine Prozesse optimiert, einschließlich Vakuumglühen, Gasphasendiffusion und Festkörpersintern. Durch die Verwendung eines Quarzglasrohrs mit 5 Zoll Durchmesser bietet dieses System Platz für größere Substrate oder ein höheres Volumen an kleinen Proben im Vergleich zu Standard-Laboröfen. Es eignet sich besonders gut für die Verarbeitung von 4-Zoll-Wafern und bietet die notwendige thermische Gleichmäßigkeit und Atmosphärenkontrolle, die für empfindliche Oxidations- und Dotierungsverfahren in der Elektronikindustrie erforderlich sind.

Zuverlässigkeit steht im Mittelpunkt des Designs dieses Geräts. Hergestellt mit industrietauglichen Komponenten und einem robusten, doppellagigen Stahlgehäuse, ist das System für den Dauerbetrieb in anspruchsvollen Umgebungen ausgelegt. Die Integration fortschrittlicher Luftkühlungstechnologie stellt sicher, dass das Außengehäuse auch während Hochtemperaturzyklen berührungssicher bleibt, was sowohl den Bediener als auch die umliegende Laborinfrastruktur schützt. Diese Einheit stellt eine solide Investition für Organisationen dar, die Wert auf technische Präzision und langfristige Betriebskonsistenz legen.

Hauptmerkmale

• Präzises Temperaturmanagement: Das System verwendet einen MET-zertifizierten digitalen Regler mit 30 programmierbaren Segmenten. Dies ermöglicht eine sorgfältige Steuerung von Aufheizraten, Abkühlraten und Haltezeiten und gewährleistet reproduzierbare Ergebnisse über komplexe thermische Zyklen hinweg.
• Hochkapazitive Quarz-Prozesskammer: Mit einem Quarzglasrohr von 130 mm Außendurchmesser bietet die Einheit eine geräumige Umgebung für groß angelegte Experimente. Das hochwertige Quarzglas bietet eine außergewöhnliche Temperaturwechselbeständigkeit und chemische Inertheit für eine hochreine Atmosphärenkontrolle.
• Fortschrittliche Wärmedämmung: Hochreine faserige Aluminiumoxid-Isolierung wird eingesetzt, um die Energieeffizienz zu maximieren. Dieses hochwertige feuerfeste Material minimiert Wärmeverluste, wodurch das System Spitzentemperaturen bei geringerem Stromverbrauch erreichen und halten kann.
• Robustes Vakuumdichtungssystem: Die Ausrüstung umfasst ein Paar Vakuumflansche aus Edelstahl 304, die mit doppelten Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen ausgestattet sind. Diese Baugruppe gewährleistet eine hermetische Abdichtung, die in Verbindung mit einer Molekularpumpe Vakuumniveaus von bis zu 10^-5 Torr erreichen kann.
• Hochleistungs-Heizelemente: Der Ofen wird von Heizelementen aus einer Fe-Cr-Al-Legierung angetrieben, die mit Molybdän dotiert sind. Diese Elemente sind auf Langlebigkeit und gleichmäßige Wärmestrahlung ausgelegt, selbst bei häufigen Hochtemperaturzyklen.
• Integrierte Sicherheit und Überwachung: Eine integrierte PID-Auto-Tuning-Funktion, gepaart mit Übertemperaturschutz und Alarmen bei defektem Thermoelement, ermöglicht einen sicheren, unbeaufsichtigten Betrieb. Ein integriertes Manometer bietet eine Echtzeitüberwachung der internen Rohrumgebung.
• Geteilte Ofen-Konstruktion: Das geteilte Scharnierdesign des Gehäuses ermöglicht das Öffnen der oberen Ofenhälfte, was einen direkten Zugang zur Heizzone und zum Quarzrohr bietet. Diese Funktion ist entscheidend für schnelles Abkühlen oder die präzise Positionierung interner Komponenten.
• Skalierbarer Kommunikationsanschluss: Ausgestattet mit einem RS485-Kommunikationsanschluss kann das System in Labornetzwerke zur Fernüberwachung und Datenprotokollierung integriert werden, was moderne Industrie 4.0-Standards für digitale Rückverfolgbarkeit unterstützt.
• Effiziente externe Kühlung: Ein doppellagiges Stahlgehäuse mit aktiver Luftkühlung hält die Außentemperatur unter 60°C, was eine angenehme Arbeitsumgebung gewährleistet und die interne Elektronik vor Hitzeermüdung schützt.
• Anpassbare Prozessumgebung: Die Einheit unterstützt verschiedene Gasein- und -auslässe über Nadelventile an den Flanschen, wodurch Forscher während des Heizprozesses Schutz- oder Reaktionsgase wie Stickstoff, Argon oder Formiergas einleiten können.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Warum TU-26 wählen?

• Bewährte thermische Stabilität: Dieses System ist so konstruiert, dass es eine hochkonsistente konstante Temperaturzone von 240 mm liefert und sicherstellt, dass Ihre Proben während des gesamten Prozesszyklus einheitlichen thermischen Bedingungen ausgesetzt sind.
• Erstklassige Verarbeitungsqualität: Von der hochreinen Aluminiumoxid-Isolierung bis zu den Vakuumflanschen aus Edelstahl 304 wurde jede Komponente aufgrund ihrer Fähigkeit ausgewählt, den Anforderungen der industriellen Hochtemperatur-F&E standzuhalten.
• Vielseitige Integration: Mit Optionen für verschiebbare Flansche, fortschrittliche Eurotherm-Regler (±0,1°C Genauigkeit) und spezialisierte Vakuumpumpen-Kits kann dieses Gerät an die spezifischen Anforderungen jedes materialwissenschaftlichen Labors angepasst werden.
• Sicherheitsorientiertes Engineering: Das doppellagige Stahlgehäuse und die fortschrittlichen Alarmsysteme sorgen für ein beruhigendes Gefühl und ermöglichen eine lang andauernde Verarbeitung ohne ständige Überwachung, was den Durchsatz Ihrer Einrichtung erhöht.
• Skalierbar für die Industrie: Die Kombination aus einem großen 5-Zoll-Quarzrohr und robuster Leistungsabgabe macht diesen Ofen sowohl für die akademische Erstforschung als auch für die industrielle Kleinserienfertigung geeignet.

Für weitere Informationen zum TU-26 oder um ein individuelles Angebot für Ihre spezifischen Wärmebehandlungsanforderungen anzufordern, kontaktieren Sie bitte noch heute unser technisches Vertriebsteam.