Röhrenofen
Einzonen-Rohrofen 5-Zoll-Quarzrohr 36-Zoll-Heizzone Vakuumflansche
Artikelnummer: TU-31
Versand: Kontaktieren Sie uns um Versanddetails zu erhalten. Genießen Sie Garantie für pünktliche Lieferung.
Produktübersicht
Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem wurde für die fortgeschrittene Materialforschung und industrielle Wärmebehandlungsanwendungen entwickelt, die eine Reaktionskammer mit großem Durchmesser und eine lange, gleichmäßige Heizzone erfordern. Als geteilter Einzonen-Ofen konzipiert, ermöglicht das Gerät einen einfachen Zugang zum Prozessrohr, was das schnelle Be- und Entladen von Proben erleichtert und Wartungsabläufe optimiert. Sein Hauptvorteil liegt in der Fähigkeit, eine hochstabile thermische Umgebung bis zu 1200°C aufrechtzuerhalten, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Labore und Produktionsstätten in den Bereichen Halbleiterverarbeitung, Metallurgie und Keramiktechnik macht.
Das Gerät ist speziell für hochreine Prozesse optimiert, einschließlich Vakuumglühen, Gasphasendiffusion und Festkörpersintern. Durch die Verwendung eines Quarzglasrohrs mit 5 Zoll Durchmesser bietet dieses System Platz für größere Substrate oder ein höheres Volumen an kleinen Proben im Vergleich zu Standard-Laboröfen. Es eignet sich besonders gut für die Verarbeitung von 4-Zoll-Wafern und bietet die notwendige thermische Gleichmäßigkeit und Atmosphärenkontrolle, die für empfindliche Oxidations- und Dotierungsverfahren in der Elektronikindustrie erforderlich sind.
Zuverlässigkeit steht im Mittelpunkt des Designs dieses Geräts. Hergestellt mit industrietauglichen Komponenten und einem robusten, doppellagigen Stahlgehäuse, ist das System für den Dauerbetrieb in anspruchsvollen Umgebungen ausgelegt. Die Integration fortschrittlicher Luftkühlungstechnologie stellt sicher, dass das Außengehäuse auch während Hochtemperaturzyklen berührungssicher bleibt, was sowohl den Bediener als auch die umliegende Laborinfrastruktur schützt. Diese Einheit stellt eine solide Investition für Organisationen dar, die Wert auf technische Präzision und langfristige Betriebskonsistenz legen.
Hauptmerkmale
- Präzises Temperaturmanagement: Das System verwendet einen MET-zertifizierten digitalen Regler mit 30 programmierbaren Segmenten. Dies ermöglicht eine sorgfältige Steuerung von Aufheizraten, Abkühlraten und Haltezeiten und gewährleistet reproduzierbare Ergebnisse über komplexe thermische Zyklen hinweg.
- Hochkapazitive Quarz-Prozesskammer: Mit einem Quarzglasrohr von 130 mm Außendurchmesser bietet die Einheit eine geräumige Umgebung für groß angelegte Experimente. Das hochwertige Quarzglas bietet eine außergewöhnliche Temperaturwechselbeständigkeit und chemische Inertheit für eine hochreine Atmosphärenkontrolle.
- Fortschrittliche Wärmedämmung: Hochreine faserige Aluminiumoxid-Isolierung wird eingesetzt, um die Energieeffizienz zu maximieren. Dieses hochwertige feuerfeste Material minimiert Wärmeverluste, wodurch das System Spitzentemperaturen bei geringerem Stromverbrauch erreichen und halten kann.
- Robustes Vakuumdichtungssystem: Die Ausrüstung umfasst ein Paar Vakuumflansche aus Edelstahl 304, die mit doppelten Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen ausgestattet sind. Diese Baugruppe gewährleistet eine hermetische Abdichtung, die in Verbindung mit einer Molekularpumpe Vakuumniveaus von bis zu 10^-5 Torr erreichen kann.
- Hochleistungs-Heizelemente: Der Ofen wird von Heizelementen aus einer Fe-Cr-Al-Legierung angetrieben, die mit Molybdän dotiert sind. Diese Elemente sind auf Langlebigkeit und gleichmäßige Wärmestrahlung ausgelegt, selbst bei häufigen Hochtemperaturzyklen.
- Integrierte Sicherheit und Überwachung: Eine integrierte PID-Auto-Tuning-Funktion, gepaart mit Übertemperaturschutz und Alarmen bei defektem Thermoelement, ermöglicht einen sicheren, unbeaufsichtigten Betrieb. Ein integriertes Manometer bietet eine Echtzeitüberwachung der internen Rohrumgebung.
- Geteilte Ofen-Konstruktion: Das geteilte Scharnierdesign des Gehäuses ermöglicht das Öffnen der oberen Ofenhälfte, was einen direkten Zugang zur Heizzone und zum Quarzrohr bietet. Diese Funktion ist entscheidend für schnelles Abkühlen oder die präzise Positionierung interner Komponenten.
- Skalierbarer Kommunikationsanschluss: Ausgestattet mit einem RS485-Kommunikationsanschluss kann das System in Labornetzwerke zur Fernüberwachung und Datenprotokollierung integriert werden, was moderne Industrie 4.0-Standards für digitale Rückverfolgbarkeit unterstützt.
- Effiziente externe Kühlung: Ein doppellagiges Stahlgehäuse mit aktiver Luftkühlung hält die Außentemperatur unter 60°C, was eine angenehme Arbeitsumgebung gewährleistet und die interne Elektronik vor Hitzeermüdung schützt.
- Anpassbare Prozessumgebung: Die Einheit unterstützt verschiedene Gasein- und -auslässe über Nadelventile an den Flanschen, wodurch Forscher während des Heizprozesses Schutz- oder Reaktionsgase wie Stickstoff, Argon oder Formiergas einleiten können.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Halbleiter-Oxidation | Wachstum von Oxidschichten auf 4-Zoll-Silizium-Wafern in einer kontrollierten Sauerstoffumgebung bei hohen Temperaturen. | Hohe thermische Gleichmäßigkeit sorgt für eine gleichbleibende Oxiddicke über die gesamte Waferoberfläche. |
| Vakuumglühen | Abbau innerer Spannungen in Metalllegierungen oder Glaskomponenten durch Erhitzen in einer Hochvakuumumgebung zur Vermeidung von Oxidation. | Verhindert Oberflächenverfärbungen und erhält die Materialreinheit durch hervorragende hermetische Abdichtung. |
| CVD-Forschung | Dient als Reaktionskammer für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) von Graphen, Kohlenstoff-Nanoröhren oder Dünnschichtbeschichtungen. | Großer 5"-Rohrdurchmesser ermöglicht hohe Stabilität des Vorläufergasflusses und Verarbeitung größerer Substrate. |
| Keramiksintern | Verdichtung von Keramikpulverpresslingen zu dichten, hochfesten Bauteilen bei Temperaturen bis zu 1100°C. | Präzise 30-Segment-Programmierung verhindert Thermoschock und Rissbildung während kritischer Abkühlphasen. |
| Diffusionsdotierung | Einbringen von Dotierstoff-Verunreinigungen in Halbleitermaterialien mittels Gasphasen- oder Feststoff-Diffusion. | Geteiltes Ofendesign ermöglicht schnelles Abschrecken oder präzises Timing des Diffusionsprozesses. |
| Materialkalzinierung | Thermische Zersetzung von Rohstoffen zur Entfernung flüchtiger Anteile oder zur Einleitung von Phasenänderungen. | Faserige Aluminiumoxid-Isolierung bietet die thermische Stabilität, die für lang andauernde Kalzinierungszyklen erforderlich ist. |
| Batteriematerial-F&E | Synthese und Wärmebehandlung von Kathoden- oder Anodenpulvern unter Inertgasatmosphären. | Integrierte Gasführung und Drucküberwachung gewährleisten eine sichere Verarbeitung empfindlicher Batteriechemikalien. |
| Atmosphärensintern | Wärmebehandlung von Speziallegierungen in Stickstoff- oder Argonumgebungen zur Erzielung spezifischer metallurgischer Eigenschaften. | Zuverlässige Gaseinlass-/Auslassventile und SS304-Flansche sorgen für eine reine, leckfreie Atmosphäre. |
Technische Spezifikationen
| Spezifikationskategorie | Parameterdetails (Modell: TU-26) |
|---|---|
| Heizzonenkonfiguration | Einzonen-Geteilter Ofen |
| Max. Betriebstemperatur | 1200°C (für Dauer < 5 Stunden) in Inertatmosphäre |
| Dauerbetriebstemperatur | 1100°C |
| Heizzonenlänge | 880 mm (ca. 34,6 Zoll) |
| Konstante Temperaturzone | 240 mm (±1°C) |
| Aufheizrate | ≤ 20°C pro Minute |
| Heizelemente | Fe-Cr-Al-Legierung, Mo-dotiert |
| Standard-Prozessrohr | Quarzglas: 130 mm AD x 120 mm ID x 1400 mm L |
| Optionale Rohrgrößen | 80 mm und 100 mm Durchmesser erhältlich |
| Temperaturregelung | MET-zertifizierter PID-Regler, 30 programmierbare Segmente |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1°C |
| Thermoelement | K-Typ |
| Leistungsaufnahme | 7,0 KW |
| Eingangsspannung | AC 208-240V Einphasig, 50/60 Hz |
| Vakuumniveau | 10^-2 Torr (mechanische Pumpe); bis zu 10^-5 Torr (Molekularpumpe) |
| Vakuumflansche | Ein Paar SS304 mit doppelten Silikon-O-Ringen und Nadelventilen |
| Gehäusestruktur | Doppellagiger Stahl mit Luftkühlung (≤ 60°C Oberflächentemp.) |
| Isoliermaterial | Hochreines faseriges Aluminiumoxid mit feuerfester Beschichtung |
| Kommunikation | RS485-Anschluss (Optional MTS02-Y Software und Laptop-Paket) |
| Sicherheitsmerkmale | Übertemperaturschutz, Alarm bei defektem Thermoelement, PID-Auto-Tuning |
Warum TU-26 wählen?
- Bewährte thermische Stabilität: Dieses System ist so konstruiert, dass es eine hochkonsistente konstante Temperaturzone von 240 mm liefert und sicherstellt, dass Ihre Proben während des gesamten Prozesszyklus einheitlichen thermischen Bedingungen ausgesetzt sind.
- Erstklassige Verarbeitungsqualität: Von der hochreinen Aluminiumoxid-Isolierung bis zu den Vakuumflanschen aus Edelstahl 304 wurde jede Komponente aufgrund ihrer Fähigkeit ausgewählt, den Anforderungen der industriellen Hochtemperatur-F&E standzuhalten.
- Vielseitige Integration: Mit Optionen für verschiebbare Flansche, fortschrittliche Eurotherm-Regler (±0,1°C Genauigkeit) und spezialisierte Vakuumpumpen-Kits kann dieses Gerät an die spezifischen Anforderungen jedes materialwissenschaftlichen Labors angepasst werden.
- Sicherheitsorientiertes Engineering: Das doppellagige Stahlgehäuse und die fortschrittlichen Alarmsysteme sorgen für ein beruhigendes Gefühl und ermöglichen eine lang andauernde Verarbeitung ohne ständige Überwachung, was den Durchsatz Ihrer Einrichtung erhöht.
- Skalierbar für die Industrie: Die Kombination aus einem großen 5-Zoll-Quarzrohr und robuster Leistungsabgabe macht diesen Ofen sowohl für die akademische Erstforschung als auch für die industrielle Kleinserienfertigung geeignet.
Für weitere Informationen zum TU-26 oder um ein individuelles Angebot für Ihre spezifischen Wärmebehandlungsanforderungen anzufordern, kontaktieren Sie bitte noch heute unser technisches Vertriebsteam.
Fordern Sie ein Angebot an
Unser professionelles Team wird Ihnen innerhalb eines Werktages antworten. Sie können uns gerne kontaktieren!
Ähnliche Produkte
Drei-Zonen-Teilschlitz-Rohrofen, 36 Zoll Heizlänge, Hochtemperatur-1200°C-Materialforschungsofen mit Vakuumflanschen
Präzisionsgefertigter Drei-Zonen-Teilschlitz-Rohrofen für Hochtemperaturprozesse bis 1200°C. Ausgestattet mit fortschrittlicher PID-Steuerung für Atmosphären- und Vakuumanwendungen in der Materialforschung und Entwicklung, bietet er außergewöhnliche thermische Gleichmäßigkeit und zuverlässige Leistung für industrielle Laborumgebungen und Forschungseinrichtungen.
1200°C 5-Zoll vertikaler Quarzrohr-Ofen mit Vakuumflanschen aus Edelstahl
Hochleistungs-Vertikal-Quarzrohr-Ofen für 1200°C mit einer 5-Zoll-Kammer und Vakuumflanschen aus Edelstahl. Die präzise 30-Segment-PID-Steuerung gewährleistet eine exakte thermische Verarbeitung für Forschung und Entwicklung in der Materialwissenschaft, CVD-Verfahren und spezielle Abschreckanwendungen unter kontrollierter Atmosphäre.
1100°C Quarzrohr-Hochtemperaturofen mit großem Durchmesser, 24-Zoll-Heizzone und wassergekühlten Flanschen
Dieser 1100°C Quarzrohr-Hochtemperaturofen mit großem Durchmesser verfügt über eine 24-Zoll-Heizzone und wassergekühlte Flansche für präzise CVD-Prozesse. Ideal für die Materialforschung sowie industrielle F&E, bietet er außergewöhnliche thermische Stabilität und robuste Leistung.
Dreizonen-Röhrenofen mit 11 Zoll oder 15 Zoll Quarzrohr und Scharnierflanschen für Vakuum-Atmosphären-Wärmebehandlung
Erzielen Sie mit diesem Dreizonen-Röhrenofen eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit. Er verfügt über 11-Zoll- oder 15-Zoll-Quarzrohre für großflächiges Wafer-Ausheizen und Materialsynthese unter präziser Vakuumkontrolle und motorisiertem Deckelbetrieb für die Sicherheit im Industrielabor.
Drei-Zonen-Rohrofen mit 24 Zoll Heizlänge und aufklappbarem Quarzrohr-Flanschsystem
Dieser professionelle Drei-Zonen-Rohrofen bietet eine Heizlänge von 24 Zoll und aufklappbare Flansche für ein effizientes Einlegen der Proben. Optimiert für Prozesse bis 1200 °C, liefert er präzise Temperaturgleichmäßigkeit und Vakuumkompatibilität für die fortgeschrittene industrielle Materialforschung.
Fünf-Zonen-vertikaler Rohrofen mit Teilung, 1200 °C Max. mit 4-Zoll-Quarzrohr und Vakuumflanschen aus Edelstahl
Dieser leistungsstarke 1200 °C Fünf-Zonen-Vertikalofen mit Teilung verfügt über fünf unabhängige Heizzonen und ein 4-Zoll-Quarzrohr und bietet außergewöhnliche Temperaturgleichmäßigkeit sowie schnelle Abschreckmöglichkeiten für fortschrittliche Materialforschung und industrielle Wärmebehandlung.
Zwei-Zonen-IR-Heiz-RTP-Rohrofen für Rapid Thermal Processing mit 4 Zoll ID Quarzrohr und verschiebbaren Probenhaltern
Hochleistungs-Zwei-Zonen-IR-Heiz-RTP-Rohrofen mit 4 Zoll ID Quarzrohr und zwei verschiebbaren Probenhaltern. Erreichen Sie Heizraten von 50°C/s für fortschrittliche 2D-Materialsynthese, Supraleiterforschung und präzise Hochgeschwindigkeits-Gasphasenabscheidungsprozesse.
24-Zoll-Dreizonen-Geteiltrohr-Ofen mit optionalem Quarzrohr- und Vakuumflanschsystem für die Hochtemperatur-Materialsynthese
Beschleunigen Sie Ihre Materialforschung mit diesem hochwertigen 24-Zoll-Dreizonen-Geteiltrohr-Ofen. Mit unabhängiger Temperaturregelung, Quarzrohr-Kompatibilität und vakuumdichten Flanschen bietet er präzise thermische Prozessführung bis 1200 °C für anspruchsvolle Labor- und industrielle F&E-Anwendungen.
Sechszonen-Klapprohröfen 1,8 Meter Quarzrohr 1200°C Hochtemperatur-Heizsystem
Dieser sechszonige Hochtemperatur-Klapprohrofen bietet flexible thermische Gradienten und 1,8 Meter lange Heizzonen. Das System verfügt über eine maximale Temperatur von 1200°C, Vakuumkompatibilität und sechs PID-Regler für fortschrittliche Materialforschung und industrielle thermische Verarbeitungsprozesse.
Fünf-Zonen-Hochtemperatur-Splitrohrofen 1200 °C mit Touchscreen-Controller und mehreren Quarzrohr-Optionen
Hochleistungs-Fünf-Zonen-Rohrofen 1200 °C, entwickelt für präzise thermische Gradienten und Atmosphärenkontrolle. Dieses System bietet eine intuitive Touchscreen-Programmierung und Vakuumabdichtungsfunktionen und ermöglicht konsistente Ergebnisse bei anspruchsvollen Arbeitsabläufen wie Sintern, Glühen und Materialsynthetisierung.
1100°C Drei-Zonen-Rohrofen mit 8,5 bis 11 Zoll Außendurchmesser Quarzrohr und Vakuumflanschen für die Verarbeitung großer Wafer
Präziser 1100°C Drei-Zonen-Rohrofen mit massiven Quarzrohren von 8,5 bis 11 Zoll Außendurchmesser und hermetischen Flanschen. Entwickelt für die großflächige Wafer-Verarbeitung und fortschrittliche Materialforschung mit überragender thermischer Gleichmäßigkeit und Hochvakuumkompatibilität für industrielle F&E-Projekte und die Produktion.
Verlängerter Zwei-Zonen-Rohrofen für industrielle Wärmebehandlung und materialwissenschaftliche Forschung
Dieser verlängerte Zwei-Zonen-Rohrofen verfügt über schwedische Kanthal A1-Elemente und eine fortschrittliche PID-Steuerung für präzise Materialforschung. Mit Optionen für Vakuum und Atmosphäre bietet er überlegene thermische Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit für anspruchsvolle industrielle Wärmebehandlungsanwendungen im Labor.
5-Zoll-Rotationsrohrofen mit zwei Zonen, 1100 °C für Pulver-CVD und Materialsynthese
Verbessern Sie die Materialforschung mit unserem hochpräzisen zweizonigen Rotationsrohrofen mit 1100 °C. Speziell für gleichmäßige Pulver-CVD und Kern-Schale-Synthese entwickelt, bietet dieses 5-Zoll-Quarzsystem eine fortschrittliche Atmosphärensteuerung sowie eine unabhängige Optimierung der thermischen Verarbeitung in zwei Zonen.
Hochtemperatur-Rohrofen mit verlängerter Doppelzone für Materialforschung und industrielle Wärmebehandlung
Optimieren Sie Ihre Materialforschung mit diesem leistungsstarken, verlängerten Doppelzonen-Rohrofen. Ausgestattet mit schwedischen Kanthal A1-Elementen und fortschrittlicher PID-Steuerung, gewährleistet er eine außergewöhnliche thermische Gleichmäßigkeit bis zu 1200 °C für anspruchsvolle Labor- und industrielle F&E-Prozessanwendungen in der modernen Technik.
1200°C Drei-Zonen-Rohrofen mit 45,7 cm Heizlänge und Vakuumflanschen
Optimieren Sie die thermische Verarbeitung mit diesem 1200°C Drei-Zonen-Rohrofen. Mit einer Heizlänge von 45,7 cm und präziser PID-Regelung bietet er eine außergewöhnliche Temperaturuniformität für fortschrittliche Materialforschung, Glühen, Sintern und professionelle industrielle F&E-Anwendungen in globalen Laboreinrichtungen.
Großer vertikaler Dreizonen-Rohrofen mit 8-Zoll- oder 11-Zoll-Quarzrohr und Hochvakuumflanschen 1200°C
Unser entwickelter großer vertikaler Dreizonenofen bietet unabhängige Temperaturregelung und Kompatibilität mit massiven 11-Zoll-Quarzrohren, um überlegene Gleichmäßigkeit und verbesserte Vakuumintegrität für kritische industrielle Glüh- und Sinterforschung sowie fortschrittliche materialwissenschaftliche Entwicklung in anspruchsvollen Laborumgebungen zu gewährleisten
1200°C 10-Zonen-Klapprohröfen mit horizontaler und vertikaler Montage für thermische Gradienten in mehreren Zonen und die Verarbeitung von Materialien mit großem Durchmesser
Fortschrittliches 1200°C Zehn-Zonen-Klapprohrfensystem, das durch zehn unabhängige Heizzonen und eine flexible horizontale oder vertikale Montage eine beispiellose Kontrolle thermischer Gradienten bietet. Entwickelt für präzise industrielle Simulationen, Materialsynthese und hochleistungsfähige thermische Verarbeitung in der Laborforschung und -entwicklung mit außergewöhnlicher Zuverlässigkeit.
Hochtemperatur 1700°C Dreizonen-Rohrofen mit Aluminiumoxid-Rohr 50 mm, 60 mm, 80 mm Außendurchmesser für Materialforschung und industrielle Wärmebehandlung
Dieser leistungsstarke 1700°C Dreizonen-Rohrofen verfügt über präzise Aluminiumoxid-Rohre und unabhängige Heizungsregelung. Entwickelt für fortschrittliche Materialforschung liefert er außergewöhnliche thermische Gleichmäßigkeit und Stabilität für chemische Gasphasenabscheidung und komplexe atmosphärengesteuerte industrielle Wärmebehandlungsverfahren.
Hochtemperatur-Drei-Zonen-Rohrofen, geteilt, 1200 °C max., 35,4 Zoll Heizlänge, 8 Zoll Innendurchmesser
Dieser leistungsstarke Drei-Zonen-Rohrofen mit geteilter Bauweise verfügt über eine 35,4-Zoll-Heizzone und ein 8-Zoll-Rohr für fortschrittliche thermische Prozesse. Erreichen Sie Spitzentemperaturen von 1200 °C mit unabhängiger Zonensteuerung für überragende Gleichmäßigkeit unter Vakuum- oder Gasatmosphäre.
12-Zonen-Ultra-Lang-Rohrofen mit 20-Fuß-Quarzrohr und 1100 °C Maximaltemperatur
Dieser hochpräzise 12-Zonen-Rohrofen bietet eine Heizlänge von sechs Metern und eine Maximaltemperatur von 1100 °C für lange Proben. Mit unabhängiger PID-Steuerung und vakuumtauglichen Flanschen liefert er außergewöhnliche Gleichmäßigkeit für fortschrittliche industrielle Materialwissenschaften und F&E-Anwendungen.
