Röhrenofen
Sieben-Zonen-1200°C-Rohrofen mit geteiltem Gehäuse, Präzisionstemperaturregler und Schnellflansch-Vakuumsystem
Artikelnummer: TU-50
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Produktübersicht

Dieses leistungsstarke thermische Verarbeitungssystem wurde für die moderne Materialwissenschaft und industrielle F&E-Anwendungen entwickelt, die eine präzise Kontrolle über Temperaturprofile und -gradienten erfordern. Durch die Nutzung einer einzigartigen Sieben-Zonen-Heizarchitektur ermöglicht das Gerät Forschern die Erstellung einer außergewöhnlich langen Konstanttemperaturzone oder eines hochspezifischen gestuften thermischen Gradienten. Diese Vielseitigkeit macht das Gerät zu einem unverzichtbaren Werkzeug für komplexe Prozesse wie die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Kristallzüchtung und anspruchsvolle Glühzyklen, bei denen herkömmliche Ein-Zonen-Öfen die notwendige räumliche Temperaturauflösung nicht bieten können.
Das System wurde mit Blick auf die Anforderungen moderner Laborumgebungen entwickelt und integriert ein Quarz-Prozessrohr mit großem Durchmesser sowie ein geteiltes Ofendesign für einfaches Probenladen und einfache Wartung. Die Trennung der Heizkammer von der elektronischen Steuereinheit gewährleistet eine langfristige Zuverlässigkeit der Komponenten und vereinfacht die Integration in bestehende Laborabläufe oder Glovebox-Umgebungen. Zu den Zielbranchen gehören die Halbleiterfertigung, die Entwicklung von Batterietechnologien und die Forschung an Hochleistungskeramik, bei denen Konsistenz und Wiederholbarkeit unerlässlich sind.
Das für anspruchsvolle 24/7-Zyklen in Industrie und Lehre konzipierte Gerät bietet eine beispiellose thermische Stabilität und Bedienersicherheit. Die robuste Konstruktion, kombiniert mit einer fortschrittlichen Isolierung aus hochreiner Faser-Tonerde, stellt sicher, dass die Energieeffizienz maximiert wird, während die äußeren Gehäusetemperaturen für das Personal sicher bleiben. Anwender können sich auf dieses Gerät für kritische Experimente verlassen, bei denen die Integrität der thermischen Umgebung direkt mit der Qualität der resultierenden Materialdaten korreliert.
Hauptmerkmale
- Sieben unabhängige Heizzonen: Das Gerät verfügt über sieben separate 150-mm-Zonen, die unabhängig voneinander programmiert werden können. Dies ermöglicht die Schaffung einer massiven 35-Zoll-Konstanttemperaturzone oder eines präzisen thermischen Gradienten über die gesamte Heizlänge von 42 Zoll und bietet unübertroffene Flexibilität für den Dampftransport und lokalisierte Heizexperimente.
- Prozesskammer mit großem Durchmesser: Standardmäßig mit einem 5-Zoll (130 mm) Außendurchmesser-Quarzrohr ausgestattet, ist das Gerät für beträchtliche Chargengrößen oder großflächige Wärmebehandlungen ausgelegt. Das vielseitige Design unterstützt zudem verschiedene Rohrgrößen von 1 bis 4 Zoll, sodass das Labor das System an spezifische Projektanforderungen anpassen kann.
- Pneumatischer Hubmechanismus: Um die Benutzerfreundlichkeit zu gewährleisten und Ermüdung des Bedieners zu vermeiden, wird die geteilte Abdeckung durch robuste Druckluftfedern unterstützt. Dies ermöglicht ein sanftes, kontrolliertes Öffnen und Schließen beim Rohrwechsel oder beim Laden von Proben und schützt die empfindlichen Quarzkomponenten vor versehentlichen Stößen.
- Fortschrittliche Touchscreen-PID-Steuerung: Das System wird über eine zentrale Touchscreen-Schnittstelle verwaltet, die alle sieben Zonen gleichzeitig regelt. Benutzer können bis zu 10 einzigartige Wärmebehandlungsprogramme mit jeweils 30 Segmenten speichern, was eine absolute Wiederholbarkeit zwischen verschiedenen Experimentierchargen garantiert.
- Hochwertige thermische Metallurgie: Durch die Verwendung von Fe-Cr-Al-Legierungselementen der 1300ºC-Klasse, die mit Molybdän dotiert sind, bietet der Ofen schnelle Aufheizraten und eine überlegene Langlebigkeit im Vergleich zu Standard-Heizdrähten. Diese hochwertigen Elemente wurden speziell aufgrund ihrer Beständigkeit gegen Oxidation und thermische Ermüdung bei hohen Betriebstemperaturen ausgewählt.
- Effizienzorientierte Isolierung: Der Innenraum ist mit energiesparender, hochreiner Faser-Tonerde ausgekleidet. Dieses Hochleistungs-Feuerfestmaterial minimiert den Wärmeverlust und ermöglicht es dem Ofen, durch sein doppelwandiges Stahlgehäuse mit integrierter Luftkühlungstechnologie eine kühle Außenhülle beizubehalten.
- Vereinfachte Vakuumabdichtung: Ausgestattet mit Schnellspannflanschen aus Edelstahl und einem korrosionsbeständigen digitalen Vakuummeter ermöglicht das System einen schnellen Vakuumaufbau und -abbau. Die Einbindung von Nadelventilen und einem K25-Anschluss stellt sicher, dass das System sofort für die Integration mit Vakuumpumpen und Gasverteilern bereit ist.
- Robuste Sicherheitsprotokolle: Ein integrierter Schutz gegen Überhitzung und defekte Thermoelemente stellt sicher, dass das System bei einem technischen Defekt automatisch abschaltet, was sowohl das Gerät als auch die wertvollen Proben in der Kammer schützt.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) | Wachstum von Kohlenstoff-Nanoröhren, Graphen und Dünnschichten unter Verwendung von Gasvorläufern bei hohen Temperaturen. | Großer Rohrdurchmesser und Mehrzonensteuerung gewährleisten eine gleichmäßige Schichtabscheidung auf großen Substraten. |
| Physikalischer Dampftransport (PVT) | Transport von Material von einer heißen Quelle zu einem kühleren Substrat über einen kontrollierten thermischen Gradienten. | Sieben unabhängige Zonen ermöglichen die Feinabstimmung des für das Kristallwachstum erforderlichen Temperaturgefälles. |
| Materialglühen | Thermischer Spannungsabbau und Korngrößenkontrolle bei Speziallegierungen und Halbleiter-Wafern. | Das geteilte Rohrdesign ermöglicht schnelle Abkühlzyklen und eine einfache Probenentnahme in Vakuum- oder Gasumgebungen. |
| Sintern technischer Keramiken | Hochtemperatur-Konsolidierung von Keramikpulvern zu dichten, funktionalen Laborbauteilen. | Hohe thermische Gleichmäßigkeit verhindert Rissbildung und sorgt für konsistente Dichte über große Proben hinweg. |
| Entwicklung von Batterieelektroden | Kalzinierung und Synthese von Anoden-/Kathodenmaterialien unter kontrollierten atmosphärischen Bedingungen. | Exzellente Atmosphärenkontrolle und präzise PID-Abstimmung stellen sicher, dass die Chemie während der Verarbeitung stabil bleibt. |
| Festkörpersynthese | Synthese komplexer Oxide und intermetallischer Verbindungen durch längere Hochtemperatureinwirkung. | Zuverlässiger Dauerbetrieb bei 1100°C ermöglicht mehrtägige Prozesszyklen ohne Leistungsabfall. |
Technische Spezifikationen
| Spezifikationskategorie | Parameterdetails (TU-50) |
|---|---|
| Modellbezeichnung | TU-50 Sieben-Zonen-Rohrofen (geteilt) |
| Max. Betriebstemperatur | 1200 °C (kurzzeitig < 1 Stunde) |
| Dauerbetriebstemperatur | 1100 °C (strömendes Gas) / 1000 °C (Vakuum < 1 Torr) |
| Max. Aufheizrate | ≤ 10 °C / min |
| Konfiguration der Heizzonen | 7 unabhängige Zonen; je 150 mm (6"); Gesamtlänge 1050 mm (42") |
| Länge der isothermen Zone | Max. 35" (875 mm) Konstanttemperaturzone (innerhalb von +/- 2 °C) |
| Abmessungen des Prozessrohrs | Quarzrohr: 130 mm AD x 122 mm ID x 2000 mm L (5" x 79") |
| Kompatibler Rohrbereich | Akzeptiert Prozessrohre von 1" bis 5" Durchmesser |
| Material der Heizelemente | Fe-Cr-Al-Legierung der 1300ºC-Klasse, dotiert mit Mo |
| Strombedarf | AC 208-240V einphasig, 50/60 Hz; 8,5 KW max. (50A Sicherung) |
| Temperaturregler | Digitales Touchscreen-Gerät; 7-Kanal-PID-Steuerung; 10 Programme / 30 Segmente |
| Genauigkeit & Präzision | +/- 1 ºC Genauigkeit; sieben K-Typ-Thermoelemente (eines pro Zone) |
| Vakuumsystem-Komponenten | Edelstahlflansche mit Schnellspanner; Nadelventil; K25-Anschluss; digitales Vakuummeter |
| Kühlung & Gehäusedesign | Doppelwandiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung (Oberflächentemperatur < 60 °C) |
| Konformität & Sicherheit | CE-zertifiziert; integrierter Überhitzungs- und Sensorbruchschutz |
| Kommunikation | Integrierter RS485-Anschluss mit mitgelieferter Datenaufzeichnungssoftware |
Warum dieser Sieben-Zonen-Ofen die richtige Wahl ist
- Industrielle Präzision: Die Sieben-Zonen-Architektur bietet den höchsten Grad an räumlicher thermischer Kontrolle, der in einem Rohrofen mit geteiltem Gehäuse verfügbar ist, was ihn zur bevorzugten Wahl für Forscher macht, die keine Kompromisse bei der Temperaturgleichmäßigkeit eingehen können.
- Betriebseffizienz: Die Kombination aus Schnellflanschen, luftfederunterstütztem Heben und umfassender Touchscreen-Steuerung reduziert die Zeit für Einrichtung und Prozessüberwachung und erhöht den Durchsatz Ihres Labors.
- Hochwertige Materialkonstruktion: Von den molybdändotierten Heizelementen bis zur Isolierung aus hochreiner Tonerde wurde jede Komponente so ausgewählt, dass sie den Anforderungen des Hochtemperaturbetriebs standhält und die Gesamtbetriebskosten minimiert.
- Flexible Integration: Ob Sie Vakuumverarbeitung, atmosphärenkontrollierte Synthese oder mehrkanalige CVD durchführen, dieses System erleichtert die Erweiterung durch seine standardisierten Flanschanschlüsse und die optionale Kompatibilität mit Gaszuführungen.
- Bewährte Stabilität und Zuverlässigkeit: Unterstützt durch CE-Zertifizierung und ein auf thermische Isolierung fokussiertes Design, behält dieses Gerät seine hohe Leistung über Tausende von Betriebsstunden bei und stellt sicher, dass Ihre Forschungsdaten Jahr für Jahr konsistent bleiben.
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