1100°C Zweizoniger geteilter vertikaler Rohrofen mit 4-Zoll-Quarzrohr und Vakuumdichtungsflanschen

Produktübersicht

Dieser leistungsstarke geteilte vertikale Rohrofen wurde für fortschrittliche Wärmebehandlungsprozesse entwickelt, bei denen Präzision und Zugänglichkeit von entscheidender Bedeutung sind. Durch die Kombination von unabhängiger Zweizonen-Temperaturregelung mit einer vertikalen, geteilt-scharnierten Bauweise ermöglicht das Gerät die nahtlose Integration in komplexe experimentelle Aufbauten, einschließlich Physical Vapor Deposition (PVD), Close-Spaced Sublimation (CSS) und Chemical Vapor Deposition (CVD). Das System bietet eine vielseitige Plattform für Materialwissenschaftler und industrielle Forscher, die schnelle Aufheiz- und Abschreckzyklen benötigen, ohne die Atmosphäre oder das Vakuumniveau zu beeinträchtigen. Seine vertikale Ausrichtung ist speziell darauf ausgelegt, schwerkraftunterstützte Prozesse und eine vertikale Probenpositionierung zu erleichtern, was für spezielle Beschichtungstechnologien und Abschreckmethoden unerlässlich ist.

Der zentrale Vorteil dieses Systems liegt in seiner Fähigkeit, eine streng kontrollierte Umgebung innerhalb seiner vier Zoll großen Prozesskammer aus hochreinem Quarz aufrechtzuerhalten. Das geteilte Gehäusedesign ist ein wesentlicher Vorteil für Anwender mit vormontierten experimentellen Konfigurationen oder empfindlichen keramischen Komponenten, da sich die Heizkammer längs öffnen lässt, um das Einsetzen des Rohrs und die Entnahme der Proben zu erleichtern. Diese Effizienz reduziert Ausfallzeiten zwischen den Experimenten und minimiert das Risiko einer Beschädigung des Reaktionsrohrs. Ausgerichtet auf die Materialwissenschafts-, Halbleiter- und erneuerbare-Energien-Industrie bietet das Gerät eine robuste Lösung zur Synthese hochreiner Nanoröhren, Dünnfilme und spezieller Katalysatoren.

Für die Anforderungen von 24/7 industrieller Forschung und Entwicklung gebaut, ist das System auf einem robusten mobilen Wagen montiert, der Flexibilität im Laborraum gewährleistet. Die Zuverlässigkeit dieses Systems wird durch hochwertige Isolationsmaterialien und präzise entwickelte PID-Regler gestützt, die eine außergewöhnliche thermische Stabilität aufrechterhalten. Ob für die strukturelle Ordnung von stickstoffdotiertem Kohlenstoff oder für Hochtemperaturhartlöten unter Vakuum verwendet, das Gerät liefert konsistente, wiederholbare Ergebnisse unter den anspruchsvollsten thermischen Bedingungen. Dieses System stellt eine entscheidende Investition für Einrichtungen dar, die sich auf die Skalierung der Materialsynthese oder die Perfektionierung von Wärmebehandlungsprotokollen mit industrietauglicher Genauigkeit konzentrieren.

Hauptmerkmale

• Unabhängige Zweizonenregelung: Dieses System verfügt über zwei separate Heizbereiche, die jeweils von aktiven 3-kW-Elementen angetrieben werden. Unabhängige Temperaturregler ermöglichen es den Anwendern, unterschiedliche thermische Gradienten zu erzeugen oder eine breite, gleichmäßige isotherme Zone über die gesamte Heizlänge von 400 mm zu schaffen, was eine beispiellose Flexibilität für komplexe Gasphasenabscheidungen bietet.
• Gelenkte geteilte Gehäusekonstruktion: Der Ofenkörper ist mit einem hochwertigen Scharniermechanismus konstruiert, der es ermöglicht, die gesamte Heizkammer längs zu öffnen. Diese technische Lösung erleichtert den schnellen Zugang zum Prozessrohr, ermöglicht eine rasche Abkühlung und erlaubt die einfache Einrichtung interner Tiegel oder Überwachungseinrichtungen, ohne die gesamte Vakuumleitung zu demontieren.
• Präzise Atmosphären- und Vakuumintegrität: Ausgestattet mit Edelstahl-Vakuumflanschen und Hochtemperatur-O-Ringen hält der Ofen hochreine Umgebungen aufrecht. Die Einbeziehung von alumina-beschichteten Schaumkeramikblöcken schützt die Vakuumdichtungen vor Wärmestrahlung und stellt sicher, dass die Leckrate selbst bei Spitzentemperaturen unter 5 mTorr pro Minute bleibt.
• Fortschrittliche Sicherheit und Wärmemanagement: Eine Doppelwand-Stahlkonstruktion mit integrierter Luftkühlung hält die Außentemperatur des Gehäuses unter 65°C. Diese Sicherheitsfunktion schützt das Laborpersonal und verhindert, dass Schwankungen der Umgebungstemperatur empfindliche benachbarte Geräte während Hochtemperaturzyklen beeinträchtigen.
• Hochreine Alumina-Isolierung: Die innere Kammer ist mit hochwertiger faseriger Alumina-Isolierung ausgekleidet, die durch eine spezielle Oberflächenbeschichtung verbessert wurde. Dadurch wird die Energieeffizienz maximiert, indem Wärme zurück in die Prozesszone reflektiert wird, während gleichzeitig die Heizelemente vor chemischen Dämpfen geschützt bleiben, was die Lebensdauer des Systems verlängert.
• Programmierbare PID-Instrumentierung: Für anspruchsvolle thermische Zyklen verwendet das System MET-zertifizierte Regler mit 30 programmierbaren Segmenten. Anwender können Heizraten, Haltezeiten und Abkühlrampen präzise definieren, wobei integrierte PID-Autotune-Funktionen eine Genauigkeit von ±1°C während des gesamten Prozesses gewährleisten.
• Mobilität in Industriequalität: Die gesamte Ofeneinheit ist in eine robuste, verstärkte mobile Arbeitsstation integriert. Dies ermöglicht es, das Hochtemperaturgerät innerhalb einer Einrichtung leicht zu versetzen oder sicher an spezialisierten Gasversorgungssystemen anzudocken, was es zur idealen Wahl für gemeinsam genutzte Laborumgebungen mit mehreren Anwendern macht.
• Zweimethoden-Abschreckfähigkeit: Die vertikale Konfiguration unterstützt sowohl traditionelles drahtgeschnittenes Freifallen als auch fortschrittliche elektromagnetische Freisetzungsabschreckung. Dies ermöglicht Forschern, Hochtemperaturphasen von Materialien schnell in Gas- oder Flüssigkeitsmedien einzufrieren und liefert wichtige Einblicke in Phasenübergänge von Materialien.

Anwendungen

Technische Daten

Warum TU-C07 wählen

• Überlegene thermische Effizienz: Die Kombination aus vakuumgeformter Aluminafaser und speziellen Beschichtungen sorgt dafür, dass Wärme in der Prozesskammer gehalten wird, wodurch Energiekosten reduziert und die Konsistenz der Heizrampe verbessert werden.
• Präzisionsengineering für die Forschung: Mit unabhängiger Zweizonenregelung und MET-zertifizierter PID-Instrumentierung bietet dieses System die feingranulare Steuerung, die für die Entwicklung wiederholbarer CVD- und PVD-Rezepte erforderlich ist.
• Sicherheitsorientiertes Designkonzept: Vom luftgekühlten Doppelgehäuse bis hin zum Übertemperaturschutz und den strahlungsschirmenden Keramikblöcken ist dieses Gerät für einen sicheren, unbeaufsichtigten Betrieb in professionellen Laboren ausgelegt.
• Flexible Anwendungsarchitektur: Das vertikale Split-Tube-Design ist nicht nur ein Ofen, sondern eine vielseitige Station für Abschrecken, Hartlöten und atmosphärische Synthese, anpassbar an die wechselnden Anforderungen einer dynamischen F&E-Umgebung.
• Langfristige Betriebshaltbarkeit: Mit Heizelementen aus hochlegiertem Material und hochwertigen Quarzkomponenten gebaut, ist das System dafür ausgelegt, den Belastungen von Hochtemperaturzyklen standzuhalten und dabei seine strukturelle Integrität sowie die Vakuumintegrität zu bewahren.

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