Vakuumofen
Hochvakuum-Druckkammerofen 800 °C, 3,5 Bar Sinteranlage für supraleitende Materialien
Artikelnummer: TU-ZK01
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Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem stellt den Höhepunkt der materialwissenschaftlichen Technik dar und wurde speziell entwickelt, um die Lücke zwischen Hochvakuumsintern und Hochdruck-Atmosphärenverarbeitung zu schließen. Durch die Integration einer robusten 3,5-Bar-Druckkapazität mit einem Ultrahochvakuum von bis zu 10^-5 Torr bietet das Gerät eine vielseitige Umgebung für die Entwicklung und Produktion fortschrittlicher Funktionsmaterialien. Der Kernvorteil liegt in der Fähigkeit, extreme Sauberkeit und Temperaturgleichmäßigkeit aufrechtzuerhalten, die für empfindliche chemische Prozesse und die Synthese hochreiner Materialien entscheidend sind.
Das System ist primär für die Wärmebehandlung von supraleitenden Materialien in Hochdruck-Sauerstoffumgebungen, wie Yttrium-Barium-Kupferoxid (YBCO), und anderen spezialisierten Keramiken konzipiert, die eine präzise Atmosphärenkontrolle erfordern. Seine Kammer aus 310S-Edelstahl gewährleistet einen Reinheitsgrad der Klasse 100 und macht es geeignet für die in Reinräume integrierte Forschung und Entwicklung in den Bereichen Luft- und Raumfahrt, Halbleiter und Kernenergie. Ob für Vakuumsintern oder Hochdruckoxidation, das Gerät liefert konsistente, wiederholbare Ergebnisse unter den anspruchsvollsten experimentellen Bedingungen.
Industrielle F&E-Teams können sich auf die außergewöhnliche strukturelle Integrität und die hochentwickelten Überwachungssysteme dieses Geräts verlassen. Mit einem großen nutzbaren kubischen Arbeitsraum von 125 Litern in einem Kammervolumen von insgesamt 366 Litern eignet es sich sowohl für die Prototypenentwicklung im kleinen Maßstab als auch für Pilotproduktionsläufe. Die Kombination aus Mehrzonenheizung und fortschrittlicher PID-Steuerung stellt sicher, dass Materialwissenschaftler die volle Kontrolle über den Temperaturgradienten haben, während integrierte Sicherheitsmechanismen für ein sicheres Gefühl bei Hochdruckvorgängen sorgen. Dieses System ist ein grundlegendes Werkzeug für Labore, die die Grenzen der modernen Materialphysik verschieben.
Hauptmerkmale
- Atmosphärenkontrolle mit Doppelfunktion: Dieses System wechselt nahtlos zwischen Ultrahochvakuum (bis zu 10^-5 Torr mit einer Turbopumpe) und Hochdruckumgebungen (bis zu 3,5 Bar), was komplexe mehrstufige thermische Zyklen innerhalb eines einzigen Prozessdurchlaufs ermöglicht, ohne die Atmosphäre zu unterbrechen.
- Ultra-saubere 310S-Edelstahlkammer: Die gesamte Innenkammer besteht aus hochwertigem 310S-Edelstahl, der sorgfältig entwickelt wurde, um Ausgasungen zu minimieren und einen Reinheitsstandard der Klasse 100 aufrechtzuerhalten. Dies ist unerlässlich, um Kontaminationen bei empfindlichen supraleitenden und elektronischen Materialien zu verhindern.
- Präzisionsheizung mit vier Zonen: Das Gerät verfügt über eine ausgeklügelte Vier-Zonen-Heizanordnung – bestehend aus drei kreisförmigen Zonen und einer Bodenzone –, die sich über eine Länge von 900 mm erstreckt. Diese Konfiguration erzeugt ein hochgradig gleichmäßiges Temperaturfeld von ±10 °C und stellt sicher, dass Proben, die irgendwo innerhalb des 500 mm großen kubischen Nutzraums platziert werden, identischen thermischen Bedingungen ausgesetzt sind.
- Hochdruck-Sicherheitssysteme: Das für industrielle Sicherheit ausgelegte Gerät ist mit integrierten Drucksensoren und elektromagnetischen Druckentlastungsventilen ausgestattet. Diese Komponenten bieten automatische Druckwartungs- und Überdruckentlastungsfunktionen, die sowohl das Personal als auch die Anlage während der Verarbeitung unter Hochdruck-Sauerstoff oder Inertgas schützen.
- Fortschrittlicher Eurotherm EPC3000-Controller: Das System verwendet einen branchenführenden Eurotherm EPC3000 PID-Controller mit 24-Segment-Programmsteuerung. Dies ermöglicht die Erstellung komplexer Heiz-, Halte- und Kühlrampen mit einer Temperaturgenauigkeit von ±5 °C, zugänglich über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche.
- Umfassende thermische Überwachung: Um absolute Prozesstransparenz zu gewährleisten, enthält das Gerät sieben K-Typ-Thermoelemente. Drei Sensoren überwachen die interne Kammerumgebung für Genauigkeit auf Probenebene, während vier externe Sensoren die Heizelemente verfolgen, um Überhitzung zu verhindern und die Lebensdauer der Molybdän-Eisen-Chrom-Aluminium-Widerstandsdrähte zu verlängern.
- Wassergekühlte Türarchitektur: Die Frontladetür verfügt über einen integrierten Wasserkühlmantel, der die Vakuumdichtungen und die strukturelle Integrität des Ofens bei lang anhaltenden Hochtemperaturläufen bei 800 °C schützt und eine langfristige Betriebszuverlässigkeit gewährleistet.
- Integrierte Massendurchflussregelung: Das Einlasssystem ist mit einem hochpräzisen 1-Kanal-Massendurchflussmesser (5 l/min) ausgestattet, der die exakte Regulierung von Prozessgasen ermöglicht. Diese Präzision ist entscheidend für die Aufrechterhaltung stöchiometrischer Gleichgewichte bei der Synthese supraleitender Materialien.
- Datenerfassung und PC-Konnektivität: Für eine rigorose F&E-Dokumentation ermöglicht das Steuerungssystem die Echtzeitüberwachung, Aufzeichnung und das Herunterladen von Druck-, Vakuum- und Temperaturdaten. Ein DB9-Anschluss ist für eine nahtlose PC-Kommunikation und die Erstellung von Prozesskurven vorhanden.
- Robuste Heizelemente: Die Verwendung von hochwertigem Molybdän-Eisen-Chrom-Aluminium-Widerstandsdraht sorgt für schnelle Aufheizraten von bis zu 5 °C/min und eine hervorragende Haltbarkeit sowohl in strömender Atmosphäre als auch im Vakuumzustand, was Wartungsausfallzeiten und Betriebskosten reduziert.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Supraleiter-Verarbeitung | Hochdruck-Sauerstoff-Wärmebehandlung für YBCO und andere Hoch-Tc-supraleitende Materialien. | Präzise pO2-Kontrolle gewährleistet optimale Kristallstruktur und kritische Stromdichte. |
| Fortschrittliche Keramik | Vakuumsintern von Oxid- und Nichtoxidkeramiken für Luft- und Raumfahrt sowie industrielle Verschleißteile. | Hochvakuum entfernt Verunreinigungen, während Druckstufen Restporosität eliminieren. |
| Luft- und Raumfahrt F&E | Spannungsarmglühen und Wärmebehandlung hochfester Legierungen in kontrollierten sauberen Umgebungen. | Reinheitsklasse 100 verhindert Oxidation und bewahrt die Reinheit metallurgischer Bindungen. |
| Kernmaterialforschung | Testen von Reaktorkomponenten unter variierenden Druck- und Temperaturzyklen. | Robuste 310S-Stahlkonstruktion hält anspruchsvollen Zyklen und korrosiven Atmosphären stand. |
| Halbleiter-Glühen | Hochtemperatur-Glühen von Siliziumkarbid- oder Galliumnitrid-Wafern in spezifischen Gasumgebungen. | Mehrzonenheizung bietet die extreme Temperaturgleichmäßigkeit, die für die Waferverarbeitung erforderlich ist. |
| Bio-Implantat-Sintern | Thermische Verarbeitung von Titan- oder Zirkonoxid-Zahn- und Orthopädieimplantaten unter Vakuum. | Interne Komponenten ausschließlich aus Metall gewährleisten Null-Kontamination biokompatibler Oberflächen. |
| Dünnschichtkristallisation | Wärmebehandlung von Dünnschichten nach der Abscheidung zur Verbesserung der elektronischen Eigenschaften. | Echtzeit-Datenprotokollierung ermöglicht eine perfekte Korrelation zwischen Prozessparametern und Schichtleistung. |
| Unterstützung der Gasphasenabscheidung | Dient als Hochdruckreaktionskammer für spezialisierte chemische Gasphasenprozesse. | Integrierte Massendurchflussmesser und Druckentlastung bieten ein sicheres, kontrolliertes Reaktionsgefäß. |
Technische Daten
| Parameter | Spezifikationsdetails (Modell: TU-ZK01) |
|---|---|
| Stromversorgung | Wechselstrom dreiphasig 480V, 50/60Hz; 60KW |
| Kammermaterial | 310S-Edelstahl (Interne Komponenten komplett aus Metall) |
| Gesamte Kammerabmessungen | 720 mm Durchmesser * 900 mm Tiefe (366 l Gesamtvolumen) |
| Nutzbarer Arbeitsraum | 500 mm x 500 mm x 500 mm (Kubischer Raum) |
| Maximale Betriebstemperatur | 800 °C (Kontinuierlich in strömender Atmosphäre oder Vakuum) |
| Heizzonen | 4 Zonen (3 kreisförmig + 1 Boden); 900 mm Gesamtheizlänge |
| Temperaturgleichmäßigkeit | ±10 °C (In strömender Atmosphäre) |
| Aufheizrate | ≤ 5 °C/min |
| Heizelemente | Molybdän-Eisen-Chrom-Aluminium-Widerstandsdraht |
| Maximales Vakuumniveau | 10^-3 Torr (mechanische Pumpe); 10^-5 Torr (mit optionaler Turbopumpe) |
| Maximaler Arbeitsdruck | 0,35 MPa (3,5 Bar) bei 500 °C; 0,25 MPa (2,5 Bar) bei 750 °C |
| Druckregelbereich | 0,01 MPa bis 0,2 MPa (konstante Druckregelung) |
| Temperaturregler | Eurotherm EPC3000; 24-Segment PID programmierbar |
| Temperaturgenauigkeit | ±5 °C |
| Thermoelement-Konfiguration | Sieben K-Typ (3 Innenkammer, 4 Außen-/Elementüberwachung) |
| Gasmanagement | 1-Kanal-Massendurchflussmesser (5 l/min); elektromagnetische Nadelventile |
| Abluft/Anschlüsse | φ12,7 mm Einlass/Auslass; reservierter KF40-Hochdruck-Abluftanschluss |
| Sicherheitsmerkmale | Überdruckentlastungsventile; automatische Druckwartung; Drucksensoren |
| Kühlanforderungen | Wassergekühlte Tür; optionaler Kühler (3,5 kW, 75 l/min Durchfluss) |
| Konformität | CE-zertifiziert (NRTL/CSA auf Anfrage erhältlich) |
Warum TU-ZK01 wählen
- Exzellente Hybrid-Technik: Dieses System macht separate Vakuum- und Drucköfen überflüssig und bietet eine konsolidierte Lösung, die den Laborplatz maximiert und gleichzeitig eine überlegene Prozessflexibilität für die fortschrittliche Materialsynthese bietet.
- Bewährte Zuverlässigkeit für Supraleiter: Speziell für Hochdruck-Sauerstoffumgebungen optimiert, ist es die bevorzugte Wahl für Forschungseinrichtungen, die sich auf YBCO und andere Hochtemperatursupraleiter konzentrieren, bei denen die Reinheit der Atmosphäre nicht verhandelbar ist.
- Robuste Sicherheit und Überwachung: Mit sieben dedizierten Thermoelementen und automatisierten Druckentlastungssystemen priorisiert das Gerät die Bedienersicherheit und die Langlebigkeit der Ausrüstung, selbst bei Hochdruckzyklen bei erhöhten Temperaturen.
- Erstklassige Steuerungsintegration: Die Einbindung des Eurotherm EPC3000-Controllers stellt sicher, dass Ihre Forschung durch branchenübliche Präzision unterstützt wird, was die einfache Replikation komplexer thermischer Profile über verschiedene Chargen hinweg ermöglicht.
- Umfassende Anpassung und Support: Wir bieten umfassenden technischen Support und die Möglichkeit, Gasflusssysteme, Vakuumpumpenkonfigurationen und Kühleinheiten an die spezifischen Anforderungen Ihrer industriellen oder F&E-Anwendung anzupassen.
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