Röhrenofen
1200°C Hochtemperatur-Vertikalschubofen mit Rapid Thermal Processing und Vakuumrohr-Hybridfunktionen
Artikelnummer: TU-C04
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Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Thermoprozesssystem stellt einen bedeutenden Sprung in der Vielseitigkeit von Laboröfen dar und kombiniert das robuste Volumen eines traditionellen Muffel-Kastenofens mit der präzisen Atmosphärenkontrolle eines Vakuumrohrsystems. Für anspruchsvolle Materialforschung entwickelt, bietet die Ausrüstung eine optimierte Umgebung für Sinter-, Glüh- und chemische Gasphasenabscheidungsprozesse. Ihr einzigartiges Design ermöglicht es Forschern, die Lücke zwischen der Verarbeitung von Massenmaterialien und spezialisierten Experimenten unter kontrollierter Atmosphäre auf einer einzigen, integrierten Plattform zu überbrücken.
Der Kernwert dieses Systems liegt in seiner Fähigkeit, Rapid Thermal Processing (RTP) zu ermöglichen. Durch die Nutzung eines vertikalen Schubmechanismus kann die Einheit Aufheiz- und Abkühlraten erreichen, die Standardlaboröfen bei weitem übertreffen, was sie zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Materialwissenschaftler macht, die Phasenübergänge und Abschreckkinetik untersuchen. Diese Ausrüstung ist für den Einsatz in industriellen F&E-Zentren, Halbleiterlaboren und fortschrittlichen metallurgischen Einrichtungen konzipiert, wo Präzision und Wiederholbarkeit von größter Bedeutung sind.
Gebaut mit industrietauglichen Komponenten und einem Fokus auf langfristige Betriebsstabilität, gewährleistet dieser Ofen eine konsistente Leistung unter anspruchsvollen Betriebszyklen. Die hochreine Aluminiumoxidfaserisolierung und die fortschrittlichen Heizelemente sind ausgewählt, um maximale Energieeffizienz bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung einer überlegenen Temperaturgleichmäßigkeit zu bieten. Diese Einheit bietet die Zuverlässigkeit und technische Raffinesse, die für kritische Forschung erforderlich ist, bei der bereits geringe thermische Abweichungen die experimentelle Integrität beeinträchtigen können.
Hauptmerkmale
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Integrierter Rapid Thermal Processing (RTP)-Mechanismus: Das System verfügt über eine spezielle, hinten montierte bewegliche Baugruppe, die es ermöglicht, das vakuumdichte Prozessrohr sofort in die vorgeheizte Heizzone einzuführen oder daraus zu entfernen. Diese Konstruktion ermöglicht Aufheiz- und Abkühlraten von etwa 1°C pro Sekunde, was für Abschreckanwendungen und metastabile Phasenstudien wesentlich ist.
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Dual-Modus-Betriebsvielseitigkeit: Diese Ausrüstung fungiert sowohl als 4,2-Liter-Kastenofen als auch als Hochvakuum-Röhrenofen. Der obere Zugangsanschluss nimmt austauschbare Quarzrohre auf, sodass Benutzer von der Luftatmosphärenverarbeitung von Massenkeramiken zur hochreinen gasgesteuerten Behandlung von Dünnschichten wechseln können, ohne separate thermische Einheiten zu benötigen.
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Präzise PID-Temperaturregelung: Ein fortschrittlicher digitaler Regler nutzt Proportional-Integral-Derivative-Logik mit einer Auto-Tune-Funktion, um eine Stabilität von ±1,0 °C aufrechtzuerhalten. Mit 30 programmierbaren Segmenten für Rampen, Halten und Abkühlen bietet die Einheit totale Kontrolle über komplexe Temperaturprofile.
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Hochreine Quarz-Vakuumumgebung: Optionale 50mm oder 80mm Außendurchmesser Quarzrohre mit Edelstahl-Vakuumflanschen ermöglichen die Verarbeitung unter Hochvakuum oder kontrollierten Inertgasatmosphären. Dies gewährleistet den Schutz empfindlicher Materialien vor Oxidation und Kontamination während Hochtemperaturzyklen.
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Robuste Sicherheits- und Überwachungssysteme: Der Ofen ist mit eingebauten Übertemperaturalarmen und Schutzvorrichtungen bei Thermoelementausfall ausgestattet. Die K-Typ-Thermoelemente sind durch Keramikummantelungen geschützt, um langfristige Genauigkeit und Haltbarkeit auch beim Betrieb bei der maximalen Nenntemperatur von 1200°C zu gewährleisten.
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Erweiterte Atmosphärenkontrolle: Die Vakuumflansche enthalten eingebaute KF16-Anschlüsse für digitale Vakuummessgeräte und 1/4"-Nadelventile zur präzisen Gaszufuhrsteuerung. Dies ermöglicht eine sorgfältige Kontrolle der Innenumgebung und unterstützt Prozesse wie Inertgas-Spülung oder Synthese unter reaktiver Atmosphäre.
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Hocheffiziente Isolierung und Beheizung: Durch die Verwendung von hochwertiger Aluminiumoxidfaserisolierung und qualitativ hochwertigen Heizelementen erreicht das System eine Standardaufheizrate von 30°C pro Minute und minimiert gleichzeitig den Wärmeverlust an das äußere Gehäuse, was eine sicherere Laborumgebung und einen geringeren Energieverbrauch gewährleistet.
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PC-Konnektivität und Datenprotokollierung: Ein standardmäßiger DB9-Kommunikationsanschluss und spezielle Software ermöglichen den Fernbetrieb über PC und die Echtzeit-Datenerfassung, sodass Forscher Temperaturzyklen für Compliance- und Qualitätskontrollzwecke dokumentieren und analysieren können.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Halbleiterausheizung | Rapid Thermal Processing von Siliziumwafern und Dünnschicht-Elektronik zur Aktivierung von Dotierstoffen. | Schnelle Rampenraten verhindern unerwünschte Diffusion und gewährleisten gleichzeitig die kristalline Integrität. |
| Abschreckstudien | Schnelles Abkühlen von Metalllegierungen oder fortschrittlichen Keramiken von hohen Temperaturen auf Raumtemperatur. | Vertikaler Hubmechanismus ermöglicht 1°C/S Abkühlung, um metastabile Mikrostrukturen einzufrieren. |
| Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) | Nutzung des Vakuumrohrmodus zur Abscheidung hochreiner Schichten auf Substrate. | Präzise Atmosphärenkontrolle und Vakuumstabilität gewährleisten eine gleichmäßige Schichtdicke. |
| Sintern von Hochleistungskeramiken | Hochtemperaturverarbeitung von technischen Keramikkomponenten in der Kastenofenkammer. | Überlegene Temperaturgleichmäßigkeit führt zu konsistenter Materialdichte und -festigkeit. |
| Batteriematerialsynthese | Kalzinieren von Kathoden- oder Anodenpulvern unter kontrolliertem Inertgas, um Oxidation zu verhindern. | Dual-Modus-Fähigkeit ermöglicht den Übergang von der Pulversynthese zur rohrbasierten Prüfung. |
| Metallurgieforschung | Testen der thermischen Belastung und Phasenumwandlungen neuer Legierungszusammensetzungen. | Programmierbare 30-Segment-Steuerung ermöglicht komplexe, mehrstufige Wärmebehandlungszyklen. |
| Zahnmedizinische Materialverarbeitung | Hochtemperatur-Brand von Zirkonoxid und anderen dentalen Keramiken in einer sauberen Umgebung. | Hochreine Kammerwerkstoffe verhindern Kontamination und Verfärbung von ästhetischen Materialien. |
Technische Spezifikationen
| Parameter | TU-C04-2 (2" Rohr-Variante) | TU-C04-3 (3" Rohr-Variante) |
|---|---|---|
| Maximale Temperatur | 1200 °C (Luft/Inert), 1000 °C (Vakuum) | 1200 °C (Luft/Inert), 1000 °C (Vakuum) |
| Dauerbetriebstemperatur | 100 °C - 1200 °C | 100 °C - 1200 °C |
| Kammerabmessungen | 150mm(T) x 155mm(B) x 180mm(H) | 150mm(T) x 155mm(B) x 180mm(H) |
| Kammerkapazität | 4,2 Liter (0,44 Kubikfuß) | 4,2 Liter (0,44 Kubikfuß) |
| Aufheizrate (Standard) | 30 °C / Minute | 30 °C / Minute |
| RTP Aufheiz-/Abkühlrate | ~ 1 °C / Sekunde | ~ 1 °C / Sekunde |
| Temperaturstabilität | ± 1,0 °C | ± 1,0 °C |
| Thermoelementtyp | K-Typ mit Keramikummantelung | K-Typ mit Keramikummantelung |
| Quarzrohrabmessungen | 50 AD x 44 ID x 263 L (mm) | 80 AD x 73 ID x 263 L (mm) |
| Vakuumanschluss | KF16-Anschluss | KF16-Anschluss |
| Gasanschluss | 1/4"-Nadelventil | 1/4"-Nadelventil |
| Stromversorgung | 208-240V Einphasenwechselstrom, 50/60 Hz | 208-240V Einphasenwechselstrom, 50/60 Hz |
| Maximale Leistung | 2,5 KW | 2,5 KW |
| Temperaturregler | 30-Segment-PID mit Auto-Tune | 30-Segment-PID mit Auto-Tune |
| Zertifizierung | CE-zertifiziert (NRTL/CSA optional) | CE-zertifiziert (NRTL/CSA optional) |
Warum uns wählen
- Unübertroffene Prozessflexibilität: Die Möglichkeit, innerhalb von Minuten zwischen einem großvolumigen Kastenofen und einem Hochvakuum-Röhrenofen zu wechseln, bietet einen unvergleichlichen Wert für multidisziplinäre Forschungslabore.
- Überlegene Wärmemanagement: Unser Rapid Thermal Processing-Mechanismus ist auf Präzision und Geschwindigkeit ausgelegt und ermöglicht es Benutzern, komplexe Abschreck- und Schnellaufheizprotokolle durchzuführen, die Standardöfen nicht bewältigen können.
- Präzisionskonstruktion und Bauqualität: Von der hochreinen Aluminiumoxidisolierung bis zu den Edelstahl-Vakuumflanschen ist jede Komponente für ihre Fähigkeit ausgewählt, extremen thermischen Belastungen standzuhalten und jahrelang zuverlässigen Service zu bieten.
- Umfassende Steuerung und Sicherheit: Die Kombination aus einem 30-Segment-PID-Regler und integrierten Sicherheitsalarmen stellt sicher, dass Ihre Experimente nicht nur präzise, sondern auch sicher vor Hardwareausfällen oder Temperaturüberschreitungen sind.
- Fachkundiger technischer Support: THERMUNITS bietet fundiertes technisches Know-how und Anpassungsoptionen, um sicherzustellen, dass diese Ausrüstung den spezifischen Anforderungen Ihrer industriellen oder akademischen Forschung entspricht.
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