1200°C Drei-Zonen-Rohrofen mit 45,7 cm Heizlänge und Vakuumflanschen

Röhrenofen

1200°C Drei-Zonen-Rohrofen mit 45,7 cm Heizlänge und Vakuumflanschen

Artikelnummer: TU-33

Maximaltemperatur: 1200°C Heizzonenkonfiguration: 3-Zonen (18'' Gesamtlänge) Temperaturgenauigkeit: ±1°C (PID-geregelt)
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Dieser industrielle Drei-Zonen-Rohrofen ist für die hochpräzise thermische Verarbeitung in der Materialwissenschaft und in fortschrittlichen Forschungsumgebungen konzipiert. Das Gerät wurde entwickelt, um das Glühen, Diffundieren und Sintern von Proben zu erleichtern und bietet eine vielseitige Plattform für Behandlungen unter verschiedenen Atmosphären bis zu 1200°C. Die teilbare Heizkammer ermöglicht eine schnelle Abkühlung und einfache Probenbeladung, was ihn zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Labore macht, die sowohl einen hohen Durchsatz als auch exakte thermische Profile benötigen. Seine robuste Konstruktion gewährleistet eine langfristige Betriebsstabilität unter anspruchsvollen Betriebszyklen.

Der Kernwert dieses Systems liegt in seiner Drei-Zonen-Heizkonfiguration, die es den Benutzern ermöglicht, präzise Temperaturgradienten zu erstellen oder eine außergewöhnlich lange gleichmäßige Heizzone über eine Länge von 45,7 cm aufrechtzuerhalten. Diese Fähigkeit ist entscheidend für chemische Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD), Kristallwachstum und komplexe Wärmebehandlungen, bei denen thermische Gleichmäßigkeit oder spezifische Temperaturschritte zwingend erforderlich sind. Durch seine kompakte Bauweise ohne Leistungseinbußen dient das Gerät als hocheffiziente Lösung für die Halbleiterforschung, Keramikverarbeitung und metallurgische Analyse.

Zuverlässigkeit ist das Fundament des Designs dieser thermischen Verarbeitungseinheit. Gebaut mit einem strapazierfähigen doppelwandigen Stahlgehäuse und integrierten Kühlsystemen, hält das Gerät auch bei längerem Betrieb bei hohen Temperaturen eine niedrige Außentemperatur. Die Integration von hochreinem Aluminiumoxidfaser-Isolationsmaterial und Mo-dotierten Heizelementen sorgt für eine hervorragende thermische Effizienz und schnelle Reaktionszeiten. Einkaufsteams können dieses System zuversichtlich spezifizieren, da es darauf ausgelegt ist, die anspruchsvollen Standards moderner industrieller F&E zu erfüllen und gleichzeitig konsistente, wiederholbare Ergebnisse Jahr für Jahr zu liefern.

Hauptmerkmale

  • Unabhängige Drei-Zonen-Temperaturregelung: Die Heizkammer ist in drei separate Zonen (jeweils 15,2 cm) unterteilt, die jeweils von einem eigenen Mikroprozessor-basierten PID-Regler gesteuert werden. Dies ermöglicht die Erstellung präziser Temperaturgradienten oder einer sehr stabilen, gleichmäßigen Temperaturzone von bis zu 200 mm und bietet unübertroffene Flexibilität für komplexe atmosphärische Experimente.
  • Teilbare Kammerarchitektur: Der Ofen verfügt über ein aufklappbares Scharnierdeckeldesign, das einen einfachen Zugang zur Prozessröhre ermöglicht. Diese Architektur vereinfacht nicht nur die Installation von Thermoelementen und die Probenbeladung, sondern ermöglicht auch eine schnelle Abkühlung der Röhre nach Abschluss eines Prozesses, was die Zykluszeiten erheblich verkürzt.
  • Fortschrittliches Sicherheitsverriegelungssystem: Integrierte Sicherheitssensoren unterbrechen automatisch die Stromversorgung der Heizelemente, sobald die Ofenabdeckung geöffnet wird. Dieser Schutzmechanismus verhindert versehentlichen Kontakt mit Hochspannungskomponenten und schützt den Bediener vor Strahlungswärme bei notwendigem Kammerzugang.
  • Präzise PID-Regelung: Jeder der drei Regler bietet 30 programmierbare Segmente für anspruchsvolle Rampen- und Halteprofilprogramme. Die Selbstoptimierungsfunktion der PID-Regelung gewährleistet eine Temperaturgenauigkeit von ±1°C, vermeidet Überschwingen und liefert die thermische Stabilität, die für die Synthese empfindlicher Materialien erforderlich ist.
  • Hochleistungs-Heizelemente: Unter Verwendung von Fe-Cr-Al-Legierungen, die mit Molybdän dotiert sind, sind die Heizelemente auf Langlebigkeit und schnelle thermische Reaktion ausgelegt. Diese Elemente sind strategisch positioniert, um eine maximale Wärmeübertragung durch Strahlung auf die Prozessröhre zu gewährleisten und gleichzeitig einer Oxidation bei Temperaturen bis zu 1200°C standzuhalten.
  • Zweischichtige Zwangskühlung: Das Ofengehäuse besteht aus einem doppelwandigen Stahlgehäuse. Integrierte Lüfter zirkulieren Luft zwischen den Schichten und stellen sicher, dass die Außenhülle sicher berührt werden kann und die interne Elektronik vor hitzebedingter Degradation geschützt ist.
  • Vielseitige Vakuum- und Gasbehandlung: Das System wird standardmäßig mit Vakuumflanschen aus Edelstahl 304 mit doppelten Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen geliefert. Diese Flansche unterstützen Vakuumwerte bis zu 10E-5 Torr (mit Turbopumpe) und verfügen über integrierte Nadelventile und Manometer zur präzisen Atmosphärenkontrolle.
  • Hochwertige thermische Isolierung: Hochreine faserige Aluminiumoxidisolierung kleidet das Innere des Ofens aus. Dieses Material wird wegen seiner geringen thermischen Masse und seiner hervorragenden Isoliereigenschaften ausgewählt, die den Stromverbrauch erheblich reduzieren und schnellere Aufheizraten von bis zu 20°C/min ermöglichen.
  • Digitale Kommunikation und PC-Integration: Jede Einheit ist mit einem RS485-Kommunikationsanschluss ausgestattet, der die Fernüberwachung und Datenprotokollierung ermöglicht. Optionale Softwarepakete ermöglichen es Benutzern, Wärmebehandlungsprogramme zu verwalten und Echtzeitdaten von einer zentralen Computerarbeitsstation aufzuzeichnen.
  • Anpassbare Rohrdurchmesser: Um verschiedene Probengrößen und Durchsatzanforderungen zu erfüllen, ist das System mit Quarzrohren mit Außendurchmessern von 60 mm, 80 mm und 100 mm kompatibel. Jede Konfiguration enthält passende Keramikrohrblöcke, um die Wärmeabstrahlung zu minimieren und die Flanschdichtungen zu schützen.

Anwendungen

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
Halbleiterdiffusion Dotierung von Siliziumwafern und anderen Halbleitersubstraten bei kontrollierten Temperaturen. Die präzise 3-Zonen-Regelung gewährleistet eine gleichmäßige Dotierstoffverteilung über die Probe.
CVD / PECVD Zucht von dünnen Schichten und Nanostrukturen wie Kohlenstoffnanoröhren oder Graphen. Die außergewöhnliche Gradientenkontrolle ermöglicht spezifisches Precursor-Cracking und Abscheidetemperaturen.
Materialglühen Entlastung von inneren Spannungen in Metallen und Legierungen durch kontrollierte Heiz- und Kühlzyklen. Das geteilte Kammerdesign ermöglicht schnelle Abkühlraten, die für die Bildung spezifischer Mikrostrukturen erforderlich sind.
Sintern von Keramiken Verdichten von Keramikpulver zu dichten, funktionellen Bauteilen. Die hohe Temperaturgenauigkeit von ±1°C verhindert Kornwachstum und gewährleistet eine konsistente Dichte.
Atmosphärenforschung Testen von Materialreaktionen unter Vakuum oder spezifischen inerten/reduzierenden Gasumgebungen. Hochintegre Vakuumflansche und integrierte Messgeräte ermöglichen wiederholbare atmosphärische Bedingungen.
Rohrkalibrierung Verwendung der drei Zonen zur Kalibrierung von thermischen Sensoren oder Thermoelementen anhand eines bekannten Gradienten. Breiter Temperaturbereich und lokalisierte Zonenregelung bieten eine stabile Umgebung für die Kalibrierung.
F&E von Batteriematerialien Thermische Verarbeitung von Kathoden- und Anodenpulvern in inerten Umgebungen. Erhält die Reinheit und verhindert Oxidation während kritischer Kalzinierungsschritte.

Technische Spezifikationen

Systemkonfiguration & Elektrik

Parameter Spezifikation (Modell TU-33)
Artikelnummer TU-33
Nennspannung AC 208-240V Einphasig, 50/60 Hz
Max. Leistungsaufnahme 4,0 KW
Heizelemente Fe-Cr-Al-Legierung, Mo-dotiert
Thermoelementtyp Typ K (3 Stück, einer pro Zone)
Konformität CE-zertifiziert (UL Ready / NRTL auf Anfrage erhältlich)

Thermische Leistung

Parameter Spezifikation
Max. Heiztemperatur 1200°C (bei Gasfluss)
Kontinuierliche Heiztemperatur 1100°C (bei Gasfluss)
Max. Temperatur (Vakuum) 1000°C
Gesamtlänge der Heizzone 450 mm (18")
Längen der einzelnen Zonen Zone 1: 152,4 mm / Zone 2: 152,4 mm / Zone 3: 152,4 mm
Konstante Temperaturzone (±1ºC) 200 mm
Max. Temperaturgradient ~100 ºC/cm bei zentralen 1200°C
Max. Aufheizrate 20°C / min
Temperaturgenauigkeit ±1°C

Rohr- und Flanschausführungen

Merkmal TU-33-60 TU-33-80 TU-33-100
Rohrmaterial Quarzglas Quarzglas Quarzglas
Rohrabmessungen (Außendurchmesser x L) 60 mm x 1000 mm 80 mm x 1000 mm 100 mm x 1000 mm
Innendurchmesser (ID) 55 mm 72 mm 92 mm
Flanschtyp SS304 Vakuumflansch SS304 Vakuumflansch SS304 Vakuumflansch
Vakuumanschluss KF25 KF25 KF25
Wärmeblöcke enthalten 2x Aluminiumoxidfaser 2x Aluminiumoxidfaser 2x Aluminiumoxidfaser

Steuerungssysteme & Schnittstelle

Parameter Standardregler Optionales Eurotherm-Upgrade
Segmente 30 programmierbare Segmente 8 oder 24 Segmente (Rezeptbasiert)
PID-Autotune Enthalten Enthalten
Genauigkeit ±1,0ºC ±0,1ºC
Kommunikation RS485 RS485
Alarme Übertemperatur & gebrochenes Thermoelement Mehrstufiges Relais (Form A/C)
Softwarekompatibilität MTS02 Labview-basiert PC-Rezeptmanagement-Tools

Warum uns wählen

Die Investition in diesen Drei-Zonen-Rohrofen stellt sicher, dass Ihr Labor mit einem Hochleistungs-Thermalsystem ausgestattet ist, das auf Präzision und Langlebigkeit ausgelegt ist. Im Gegensatz zu herkömmlichen Ein-Zonen-Öfen bietet dieses System die Modularität, die für die Durchführung komplexer atmosphärischer Experimente und gradientenbasierter Synthesen mit extremer Genauigkeit erforderlich ist. Das geteilte Deckeldesign verbessert die Laborproduktivität erheblich, indem es eine schnelle Kühlung und einfache Wartung des Quarzprozessrohrs ermöglicht.

  • Überlegene thermische Konstruktion: Die Verwendung von hochreinem faserigem Aluminiumoxid und speziellen Mo-dotierten Heizelementen gewährleistet schnelle thermische Zyklen, ohne die strukturelle Integrität des Ofens zu beeinträchtigen.
  • Sicherheitsorientiertes Design: Mit UL-fähigen Komponenten, CE-Zertifizierung und integriertem Verriegelungsschutz erfüllt dieses Gerät die strengen Sicherheitsanforderungen von Industrie- und akademischen Forschungseinrichtungen.
  • Präzise Atmosphärenkontrolle: Die mitgelieferten SS304-Vakuumflansche und die Möglichkeit, unter strömendem Gas oder Hochvakuum zu arbeiten, machen dies zu einer wirklich vielseitigen Plattform für verschiedene Materialforschungsanwendungen.
  • Langfristige Zuverlässigkeit: Jedes System wird vor dem Versand auf Temperaturstabilität und Vakuumdichtheit getestet, um sicherzustellen, dass Ihre Ausrüstung sofort für den Schwerlastbetrieb bereit ist.
  • Anpassbar an Ihren Workflow: Von digitalen Molekularpumpen-Upgrades bis hin zu PC-basierter Fernsteuerung und Datenprotokollierungssoftware kann dieses System an Ihre spezifischen Forschungs- oder Produktionsanforderungen angepasst werden.

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