Röhrenofen
1200°C Max Vier-Zonen-Schlitzrohrofen mit optionalen Quarzrohren mit großem Durchmesser
Artikelnummer: TU-46
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Produktübersicht
Dieses Hochleistungs-System zur thermischen Verarbeitung wurde entwickelt, um den anspruchsvollen Anforderungen von industrieller Forschung und Entwicklung sowie fortgeschrittener Materialwissenschaft gerecht zu werden. Als großformatiger, teilbarer Vier-Zonen-Ofen konzipiert, bietet er außergewöhnliche Flexibilität für Forscher und Produktionsingenieure, die präzise Temperaturgradienten oder ausgedehnte Gleichmäßigkeitszonen benötigen. Die teilbare Deckelkonstruktion ermöglicht einen einfachen Zugang zur Reaktionskammer und erleichtert das schnelle Be- und Entladen von Proben oder die Integration komplexer interner Baugruppen, ohne das gesamte Rohrsystem zu demontieren. Durch die Kombination einer maximalen Betriebstemperatur von 1200°C mit speziellen Quarzrohr-Optionen mit großem Durchmesser ist dieses System einzigartig positioniert, um hochvolumige Prozesse und großformatige Substrate zu verarbeiten, die Standard-Laboröfen nicht aufnehmen können.
Das Gerät eignet sich hervorragend für Anwendungen, die kontrollierte Atmosphären und Hochvakuumumgebungen erfordern. Ob bei der Synthese fortschrittlicher Keramiken, dem Glühen von Halbleiterwafern oder dem Sintern von Metallpulvern – diese Einheit liefert die thermische Stabilität, die für reproduzierbare Ergebnisse erforderlich ist. Ihre Vier-Zonen-Konfiguration ist darauf optimiert, eine massive 36-Zoll-Gleichmäßigkeitszone zu erzeugen, eine entscheidende Voraussetzung, um Laborprozesse auf Pilotanlagen-Niveau zu skalieren. Zu den Zielbranchen gehören die Halbleiterfertigung, die Entwicklung von Luft- und Raumfahrtwerkstoffen, die Forschung zur Energiespeicherung und die hochreine chemische Verarbeitung, in denen Konsistenz und Zuverlässigkeit unverzichtbar sind.
Mit robusten industriellen Komponenten gebaut, spiegelt dieses System das Bekenntnis zu langfristiger operativer Exzellenz wider. Das Gehäuse verfügt über eine doppelwandige Stahlkonstruktion mit zwei Lüftern, um während Hochtemperaturzyklen eine sichere, berührungssichere Oberflächentemperatur zu gewährleisten. Die Zuverlässigkeit wird zusätzlich durch die Verwendung hochreiner, faseriger Tonerde-Isolierung erhöht, die den Wärmeverlust minimiert und die Energieeffizienz verbessert. Für Beschaffungsteams und Laborleiter stellt dieser Ofen eine Premium-Investition in die thermische Infrastruktur dar, die hohe Durchsatzfähigkeit mit der Präzision eines hochwertigen Laborinstruments verbindet.
Hauptmerkmale
- Unabhängig gesteuertes Vier-Zonen-Design: Das Gerät verfügt über vier separate Heizbereiche mit einer Gesamtlänge von 47 Zoll und ermöglicht so die Erzeugung präziser Temperaturgradienten oder einer bemerkenswert langen 36-Zoll-Gleichmäßigkeitszone innerhalb von ±5°C. Dieses Maß an Kontrolle ist essenziell für komplexe CVD-Prozesse und das Glühen langer Proben.
- Pneumatischer Betrieb des geteilten Deckels: Um eine einfache Handhabung und Sicherheit für den Bediener zu gewährleisten, wird der obere Deckel von zwei robusten Pneumatikzylindern bewegt. Diese mechanische Unterstützung ermöglicht ein sanftes Öffnen und Schließen des Schlitzofens, erleichtert das schnelle Abkühlen und den einfachen Rohrwechsel selbst in Umgebungen mit hohem Durchsatz.
- Vielseitigkeit der großformatigen Kammer: Dieses System unterstützt optionale hochreine Quarzrohre mit Innendurchmessern von 8, 10 oder 14 Zoll. Diese Vielseitigkeit ermöglicht die Verarbeitung großer Wafer, sperriger Bauteile oder großer Mengen kleinerer Proben in einem einzigen thermischen Zyklus.
- Präzise PID-Temperaturregelung: Ausgestattet mit vier programmierbaren digitalen Reglern bietet das Gerät 30 Segmente zur Steuerung von Heizraten, Abkühlraten und Haltezeiten. Die Genauigkeit von ±1°C stellt sicher, dass selbst empfindlichste Materialien innerhalb enger Toleranzen verarbeitet werden.
- Industrietaugliche Kühlung und Isolierung: Das doppelwandige Stahlgehäuse ist mit zwei Lüftern kombiniert, damit die Außenseite sicher berührt werden kann. Hochreine, faserige Tonerde-Isolierung sorgt für hervorragende Wärmespeicherung und reduziert gleichzeitig den Stromverbrauch bei langen Betriebszeiten erheblich.
- Fortschrittliche Vakuumabdichtungstechnologie: Die Einheit umfasst ein Paar Edelstahl-304-Vakuumflansche mit doppelt ausgeführten Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen und integrierten Wasserkühlmänteln. Dies gewährleistet Dichtheit und Langlebigkeit, selbst beim Betrieb an den oberen Temperaturgrenzen des Systems.
- Umfassende Sicherheitssysteme: Integrierter Überhitzungsschutz und Schutz bei gebrochenem Thermoelement sowie ein Übertemperaturalarm ermöglichen einen sicheren unbeaufsichtigten Betrieb. Das System ist so ausgelegt, dass es bei einem thermischen Ausreißer sicher abschaltet und sowohl das Gerät als auch die wertvollen Proben im Inneren schützt.
- Hochleistungs-Heizelemente: Heizelemente aus Fe-Cr-Al-Legierung mit Mo-Dotierung sorgen für schnelles Aufheizen und hervorragende Oxidationsbeständigkeit. Diese Elemente sind strategisch so angeordnet, dass sie eine gleichmäßige Strahlungswärme über den gesamten Umfang des Prozessrohrs liefern.
- Bereit für digitale Kommunikation: Ein RS485-Kommunikationsanschluss und spezielle Software sind serienmäßig enthalten. Dadurch können Anwender den Ofen per Laptop überwachen und steuern, was Datenprotokollierung und Fernverwaltung von Rezepten für standardisierte industrielle Arbeitsabläufe ermöglicht.
- Optimierte thermische Pufferblöcke: Pufferartige Quarzscheiben-Thermoblöcke sind enthalten, um die innere Sauberkeit der Kammer zu erhalten und zu verhindern, dass Wärmestrahlung die Flanschdichtungen beschädigt, wodurch die Lebensdauer der Verbrauchskomponenten weiter verlängert wird.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Wichtiger Vorteil |
|---|---|---|
| Glühen von Halbleiterwafern | Hochtemperaturbehandlung von Silizium- oder SiC-Wafern zur Reparatur von Kristalldefekten und Aktivierung von Dotierungen. | Die große Kapazität mit 14" Innendurchmesser ermöglicht die gleichzeitige Batch-Verarbeitung mehrerer Wafer. |
| Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) | Als thermischer Reaktor zur Synthese von 2D-Materialien, Kohlenstoffnanoröhren oder Dünnfilm-Beschichtungen verwendet. | Die Vier-Zonen-Steuerung ermöglicht präzise Temperaturgradienten für die Vorläuferverdampfung und Abscheidung. |
| Sintern technischer Keramiken | Hochtemperaturverarbeitung keramischer Pulver zur Herstellung dichter, hochfester Bauteile für Luft- und Raumfahrt sowie medizinische Anwendungen. | Außergewöhnliche thermische Gleichmäßigkeit (±5°C) über 36 Zoll verhindert Verzug und innere Spannungen. |
| Atmosphärische Diffusion | Einbringung von Dotierstoffen in feste Materialien unter kontrollierten Gasumgebungen wie Argon, Stickstoff oder Wasserstoff. | Doppelte Silikon-O-Ring-Flansche gewährleisten durchgehend hohe Vakuum- oder hochreine Atmosphärenintegrität. |
| Alterung von Luft- und Raumfahrtlegierungen | Präzise Wärmebehandlung von Speziallegierungen für Turbinenschaufeln und strukturelle Flugzeugkomponenten. | Die pneumatische geteilte Oberseite ermöglicht schnelles Abschrecken oder sofortigen Zugang zu den Proben nach dem Zyklus. |
| Forschung zur Energiespeicherung | Kalzinierung und Sintern von Kathoden-/Anodenmaterialien für Lithium-Ionen- und Festkörperbatterien der nächsten Generation. | Die robuste, PLC-fähige Softwareintegration erleichtert die Protokollierung kritischer Produktionsdaten. |
| Spannungsarmglühen von Großformatglas | Glühen großer Glas- oder Quarzkomponenten, um innere Spannungen nach der Fertigung oder dem Schweißen zu entfernen. | Die Gesamtheizlänge von 47 Zoll ermöglicht die problemlose Aufnahme übergroßer industrieller Glaswerkstücke. |
Technische Spezifikationen
| Merkmal | Spezifikationsdetails (Modell TU-46) |
|---|---|
| Heizzonenlänge | Gesamt: 1200 mm (47"); 4 Zonen à 300 mm (11,8") |
| Gleichmäßigkeitszone | 914 mm (36") innerhalb von ±5ºC |
| Max. Betriebstemperatur | 1200°C (≤ 1 Stunde) |
| Dauerbetriebstemperatur | 1100°C |
| Temperaturgrenze im Vakuum | < 1000°C (unter Hochvakuumbedingungen) |
| Max. Heizrate | 10°C / Minute |
| Rohroptionen (ID x OD x L) | 8,1" ID x 8,5" OD x 60" L (206 x 216 x 1524 mm) 10,6" ID x 11,0" OD x 51" L (269 x 279 x 1295 mm) 14,6" ID x 15,0" OD x 73" L (371 x 381 x 1860 mm) |
| Leistungsanforderungen | AC 208–240V Dreiphasen, 50/60 Hz (50A-Schutzschalter erforderlich) |
| Max. Leistungsaufnahme | 24 kW |
| Vakuumintegrität | 10^-2 Torr (mechanische Pumpe); 10^-5 Torr (Turbopumpe) |
| Dichtungssystem | SS-304-Flansche mit Wasserkühlmänteln und doppelten Silikon-O-Ringen |
| Steuerschnittstelle | 4 Sätze 30-segmentiger PID-Digitalregler (MET/CE-zertifiziert) |
| Genauigkeit | ±1ºC (Standard-PID); optional Eurotherm ±0,1ºC |
| Gasmanagement | Zwei Nadelventile und Vakuumdruckmessgerät an den Flanschen installiert |
| Konformität | CE-zertifiziert; NRTL (UL61010) oder CSA auf Anfrage erhältlich |
Warum TU-46 wählen
Die Investition in dieses Vier-Zonen-System stellt sicher, dass Ihr Labor oder Ihre Produktionsstätte mit einem Werkzeug ausgestattet ist, das für höchste thermische Präzision und lange Betriebslebensdauer entwickelt wurde. Im Gegensatz zu standardmäßigen Ein-Zonen-Öfen bietet die Vier-Zonen-Architektur die feingranulare Steuerung, die notwendig ist, um „kalte Stellen“ über große Probenflächen zu beseitigen und die Batch-Konsistenz auch bei Arbeiten im 14-Zoll-Durchmessermaßstab sicherzustellen. Diese Fähigkeit ist entscheidend, um Materialverluste zu reduzieren und die Ausbeute hochwertiger industrieller Prozesse zu verbessern.
Die Konstruktion dieses Geräts legt Wert auf Robustheit, ohne die für die Materialforschung erforderliche Feinfühligkeit zu opfern. Vom pneumatischen Hubsystem, das die Ermüdung des Bedieners reduziert, bis zu den wassergekühlten Vakuumflanschen, die empfindliche Dichtungen schützen, wird jede Komponente aufgrund ihrer Fähigkeit ausgewählt, dem Dauereinsatz in anspruchsvollen Umgebungen standzuhalten. Unser Fertigungsprozess entspricht strengen CE- und MET-Standards und bietet Beschaffungsteams die erforderliche Dokumentation und Sicherheitsgarantie für moderne Industrieanlagen.
Darüber hinaus wissen wir, dass jeder Forschungsprozess einzigartige Anforderungen hat. Wir bieten umfangreiche Anpassungen für diesen Ofen an, einschließlich der Integration von Eurotherm-Hochpräzisionsreglern, Mass-Flow-Controllern für die Mehrgasmischung und verschiedenen Vakuumpumpenkonfigurationen von mechanischen bis hin zu turbomolekularen Systemen. Diese Flexibilität stellt sicher, dass sich das Gerät mit Ihren Forschungszielen weiterentwickeln kann.
Wenn Sie sich für diesen Ofen entscheiden, arbeiten Sie mit einer Marke zusammen, die sich technischer Exzellenz und reaktionsschnellem Support verschrieben hat. Unser Team bietet umfassende Unterstützung bei Installation, Wartung und Prozessoptimierung, damit Sie Ihre thermischen Ziele erreichen. Kontaktieren Sie uns noch heute, um Ihre spezifischen Anforderungen an Rohre mit großem Durchmesser zu besprechen oder ein detailliertes Angebot für eine maßgeschneiderte Konfiguration anzufordern.
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