Röhrenofen
Hochtemperatur-1500°C-Dreizonen-Split-Rohrofen mit 80-mm-Aluminiumoxidrohr und Vakuumflansch
Artikelnummer: TU-65
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Produktübersicht
Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen der fortschrittlichen Materialwissenschaft und industriellen F&E zu erfüllen. Mit einer ausgefeilten dreizonigen Heizarchitektur ermöglicht das Gerät die Erzeugung äußerst stabiler Temperaturplateaus oder präziser Temperaturgradienten. Durch den Einsatz hochreiner Aluminiumoxid-Prozessrohre und eines Split-Ofendesigns bietet dieses Gerät eine vielseitige Plattform für Hochtemperatursynthese, Sintern und Glühen bis zu 1500°C. Der zentrale Nutzen liegt in der Fähigkeit, reproduzierbare, hochpräzise Ergebnisse in Umgebungen von Hochvakuum bis zu kontrollierten Atmosphären zu liefern und so sicherzustellen, dass kritische Forschung konsistent und skalierbar bleibt.
Auf Branchen wie die Halbleiterfertigung, Luft- und Raumfahrtkeramik sowie metallurgische Forschung ausgerichtet, überzeugt dieses System bei Anwendungen, bei denen Temperaturgleichmäßigkeit unverzichtbar ist. Das Gerät ist für multifunktionale Laborumgebungen konzipiert, in denen verschiedene Prozessrohre schnell gewechselt werden müssen, um unterschiedlichen experimentellen Anforderungen gerecht zu werden. Seine robuste Konstruktion und die hochmodernen Heizelemente machen es zu einem zuverlässigen Arbeitspferd für akademische Einrichtungen und Industriallaboratorien, die sich auf die Werkstoffe der nächsten Generation konzentrieren.
Zuverlässigkeit steht im Mittelpunkt dieses Geräts. Durch ein kürzlich aktualisiertes Verriegelungssicherheitssystem und hochwertige Siliziumkarbid-Heizelemente ist das Gerät auf Langlebigkeit und Betriebssicherheit ausgelegt. Selbst im kontinuierlichen Hochtemperaturbetrieb bei 1400°C behält das System seine strukturelle Integrität und Präzision. Industrielle Käufer können sich voll und ganz auf die Leistung des Geräts unter anspruchsvollen Einsatzzyklen verlassen, unterstützt durch eine umfassende PID-Regelung und redundante Überhitzungsschutzmechanismen, die einen unbeaufsichtigten Betrieb ermöglichen, ohne Sicherheit oder Probenintegrität zu beeinträchtigen.
Hauptmerkmale
- Unabhängig gesteuerte Dreizonen-Heizung: Das System verfügt über drei separate Heizbereiche von jeweils 200 mm (insgesamt 600 mm), die jeweils von einem eigenen Regler und einem S-Typ-Thermoelement gesteuert werden. Dies ermöglicht eine 350 mm große Konstanttemperaturzone mit ±2ºC Gleichmäßigkeit oder die Erzeugung individueller Temperaturgradienten für Dampftransportanwendungen.
- Präzise PID-Temperaturregelung: Ausgestattet mit drei programmierbaren 30-Segment-Reglern liefert das Gerät fortschrittliche Mikroprozessorlogik zur Steuerung von Heizraten, Abkühlraten und Haltezeiten mit einer Genauigkeit von ±1°C.
- Ergonomisches Split-Kammer-Design: Das Ofengehäuse ist so konstruiert, dass es sich längs öffnen lässt, was einen einfachen Rohrwechsel, das Beladen von Proben und die Integration komplexer interner Sensorsysteme ermöglicht, ohne die gesamte Vakuumflanschbaugruppe zu zerlegen.
- Fortschrittliches Sicherheitsverriegelungssystem: In die Ofenstruktur integriert, trennt eine spezielle Sicherheitsverriegelung beim Öffnen der Kammer automatisch die Stromversorgung der Heizelemente und schützt Bediener bei Inspektion oder Wartung vor elektrischen und thermischen Gefahren.
- Hochleistungs-Siliziumkarbid-(SiC)-Heizelemente: Ausgestattet mit 24 hochwertigen, für 1500°C ausgelegten SiC-Stäben (14 mm Durchmesser) sorgt das System für eine schnelle thermische Reaktion und eine gleichmäßige Strahlungswärmeübertragung im gesamten Keramikrohr.
- Vielseitige Atmosphärenfähigkeit: Das Gerät wird mit hochreinen Aluminiumoxidrohren und präzisionsgefertigten Vakuumflanschen geliefert und unterstützt Vakuumniveaus bis zu 10E-5 Torr (mit Molekularpumpen) sowie Gasatmosphären mit niedrigem Druck.
- Umfassende Schutzschaltung: Eingebaute Schutzvorrichtungen gegen Überhitzung und defekte Thermoelemente sorgen bei Langzeitzyklen für Sicherheit, einschließlich automatisch auslösender akustischer und visueller Alarme bei Abweichungen.
- Erweiterbare digitale Kommunikation: Mit einem standardmäßigen RS485-Port kann das Gerät mit PC-basierten Steuermodulen für Datenprotokollierung in Echtzeit, Fernverwaltung von Rezepten und automatische Zyklusverifizierung per Labview-basierter Software erweitert werden.
- Robuste Mullit-/Aluminiumoxidrohr-Optionen: Das System unterstützt verschiedene Rohrmaterialien, darunter Standard-Aluminiumoxid (80 mm Außendurchmesser) und optional Mullit (82 mm Außendurchmesser), sodass Anwender die chemische Kompatibilität und den Thermoschockwiderstand entsprechend den spezifischen Prozessanforderungen optimieren können.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | Chemische Gasphasenabscheidung für Dünnschichtwachstum und Kohlenstoffnanoröhren. | Präzise Gradientensteuerung ermöglicht eine gleichmäßige Beschichtung über große Substrate hinweg. |
| Technisches Keramiksintern | Hochtemperaturverdichtung fortschrittlicher Oxid- und Nichtoxidkeramiken. | Die Spitzenfähigkeit von 1500°C ermöglicht die Synthese hochschmelzender technischer Keramiken. |
| Halbleiter-Glühen | Kontrollierte Wärmebehandlung von Siliziumwafern oder Verbindungshalbleitermaterialien. | Die Dreizonensteuerung gewährleistet eine identische thermische Historie über die gesamte Länge des Prozessrohrs. |
| Kristallzüchtung | Dampftransport- und gerichtete Erstarrungstechniken zur Einkristallsynthese. | Die unabhängige Zonenprogrammierung ermöglicht die Feinabstimmung der Bewegung der Fest-Flüssig-Grenzfläche. |
| Vakuumentgasung | Entfernung flüchtiger Verunreinigungen und Gase aus spezialisierten metallurgischen Legierungen. | Das Hochvakuum-Flanschdesign erhält die strukturelle Integrität unter tiefem Vakuum bei hohen Temperaturen. |
| Forschung zu Batteriematerialien | Kalzinierung und thermische Zyklen von Vorläufern für Anoden/Kathoden in inerter oder oxidierender Atmosphäre. | Robuste S-Typ-Thermoelemente bieten die langfristige Stabilität, die für mehrtägige Zyklustests erforderlich ist. |
Technische Spezifikationen
| Parameter | Spezifikationsdetails für TU-65 |
|---|---|
| Modellnummer | TU-65 |
| Max. Temperatur | 1500°C (< 1 Stunde) |
| Dauerbetriebstemp. | 1400°C |
| Heizrate | Empfohlen 5°C/min |
| Leistungsaufnahme | 9KW |
| Eingangsspannung | AC220V Einphasig, 50/60Hz (erfordert 50A-Leitungsschutzschalter) |
| Heizzonenkonfiguration | Drei Zonen: 200 mm pro Zone (600 mm Gesamtlänge) |
| Gleichmäßige Temp.-Zone | 350 mm (± 2ºC), wenn alle Zonen auf denselben Sollwert eingestellt sind |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1ºC Genauigkeit mit PID-30-Segment-Programmiersteuerung |
| Prozessrohr (Standard) | Aluminiumoxidrohr: 80 mm O.D × 74 mm I.D × 1200 mm L |
| Prozessrohr (Optional) | Mullitrohr: 82 mm O.D × 73 mm I.D × 1200 mm L |
| Heizelemente | 24 Stk. Siliziumkarbidstäbe (14 mm Dia x 150 mm Heat x 413 mm L) |
| Thermoelemente | 3 Stk. S-Typ (eines für jede Heizzone) |
| Vakuumfähigkeit | 10E-2 torr (mechanische Pumpe) / 10E-5 torr (Molekularpumpe) |
| Gasdurchflussbegrenzung | < 200 SCCM (200 ml/min) bei Verwendung eines zweistufigen Reglers (< 3 PSI) |
| Max. Betriebsdruck | < 0.02 Mpa (für Mullitrohranwendungen) |
| Kommunikationsschnittstelle | RS485 (Optionales MTS-02-PC-Steuermodul verfügbar) |
| Konformität | CE-zertifiziert; NRTL (UL61010) oder CSA auf Anfrage erhältlich |
| Sicherheitsmerkmale | Integriertes Verriegelungssystem (aktiv seit Juni 2015); Alarm bei Überhitzung/defektem TC |
Warum TU-65 wählen
- Überlegene Temperaturgleichmäßigkeit: Die TU-65-Architektur nutzt ein unabhängiges Dreizonen-Steuerungssystem, das die bei Einzonenöfen üblichen Kaltend-Effekte beseitigt und ein deutlich größeres nutzbares Prozessfenster bietet.
- Präzisionstechnik und Verarbeitungsqualität: Mit hochwertigen refraktären Materialien und einem robusten Split-Gehäuse konstruiert, ist dieses Gerät auf industrielle Haltbarkeit und einfache Wartung in Laboren mit hohem Durchsatz ausgelegt.
- Erhöhte Bedienersicherheit: Im Gegensatz zu älteren Modellen verfügt die TU-65 über ein modernes hardwarebasiertes Verriegelungssystem, das das Risiko einer versehentlichen thermischen oder elektrischen Gefährdung minimiert und moderne Laborsicherheitsstandards erfüllt.
- Vielseitige Atmosphärenkontrolle: Ganz gleich, ob Ihr Prozess ein Hochvakuum oder einen hochreinen Gasfluss erfordert, das spezielle Flanschdesign und die Positionierung des Thermoblocks gewährleisten konsistente Ergebnisse und schützen das Innere des Ofens.
- Bewährte Zuverlässigkeit und Support: Mit standardmäßiger CE-Zertifizierung und optionaler NRTL-/CSA-Konformität ist dieses System eine weltweit anerkannte Plattform für Materialsynthese, gestützt durch umfassenden technischen Support und verfügbare Ersatzverbrauchsmaterialien.
Für weitere Informationen zur TU-65 oder zur Anforderung einer kundenspezifischen Heizzonenkonfiguration für Ihre spezifischen F&E-Anforderungen wenden Sie sich bitte noch heute an unser technisches Vertriebsteam, um ein formelles Angebot zu erhalten.
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