Röhrenofen
Drei-Zonen-Teilschlitz-Rohrofen, 36 Zoll Heizlänge, Hochtemperatur-1200°C-Materialforschungsofen mit Vakuumflanschen
Artikelnummer: TU-36
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Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem ist für fortgeschrittene materialwissenschaftliche Forschung und industrielle F&E-Anwendungen konzipiert, die eine präzise Atmosphärenkontrolle und außergewöhnliche thermische Gleichmäßigkeit erfordern. Durch die Verwendung eines teilbaren Kammerdesigns ermöglicht das Gerät einen schnellen Probenzugang und die nahtlose Integration komplexer experimenteller Aufbauten, ohne vorjustierte Rohrkomponenten zu stören. Diese spezielle Einheit ist für Betriebstemperaturen bis zu 1200°C ausgelegt und damit ein unverzichtbares Werkzeug für anspruchsvolle Synthese- und Glühprozesse.
Das System wird hauptsächlich in der Halbleiterfertigung, in metallurgischen Laboren und in Zentren für Nanotechnologie eingesetzt, wo kontrollierte thermische Gradienten entscheidend sind. Seine Drei-Zonen-Konfiguration ermöglicht ein unabhängiges Temperaturmanagement über eine beträchtliche Heizlänge und gibt Forschern die Flexibilität, spezifische Wachstumsumgebungen zu schaffen oder eine verlängerte konstante Temperaturzone aufrechtzuerhalten. Diese Anpassungsfähigkeit stellt sicher, dass das Gerät alles von einfachem Sintern bis hin zu komplexen Chemical Vapor Deposition-(CVD)-Prozessen bewältigen kann.
Für Zuverlässigkeit unter anspruchsvollen Bedingungen gebaut, verfügt dieser Ofen über ein doppellagiges Stahlgehäuse und eine Hochrein-Faseraluminiumoxid-Isolierung. Die integrierten Lüfter sorgen für eine niedrige Oberflächentemperatur und damit für die Sicherheit des Bedieners, während die robusten Heizelemente auf langfristige Beständigkeit ausgelegt sind. Ob unter hohem Vakuum oder in einer bestimmten Gasatmosphäre betrieben, die Einheit liefert die Stabilität und Präzision, die für reproduzierbare wissenschaftliche Ergebnisse in industriellen Hochdruckumgebungen erforderlich sind.
Hauptmerkmale
- Unabhängige Mehrzonen-Wärmeregelung: Die Heizkammer ist in drei separate Zonen à 300 mm unterteilt, die jeweils von einem eigenen digitalen Regler gesteuert werden. Dies ermöglicht die Erzeugung präziser Temperaturgradienten oder einer deutlich verlängerten 625 mm langen Konstanttemperaturzone.
- Hochpräzise PID-Regelung: Drei mikroprozessorbasierte, selbstoptimierende PID-Regler bieten eine Genauigkeit von ±1°C, gewährleisten stabile Prozesstemperaturen und verhindern Überschwingen bei empfindlichen Aufheizzyklen.
- Innovative, teilbare Kammerarchitektur: Das teilbare Design erleichtert Reinigung, schnelles Abkühlen und den einfachen Austausch des Rohres, was besonders bei komplexen experimentellen Aufbauten mit empfindlicher Probenplatzierung vorteilhaft ist.
- Fortschrittliche Atmosphärenintegrität: Ausgestattet mit Vakuumdichtflanschen aus Edelstahl SS 304 und doppelten Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen hält das System hohe Vakuumniveaus aufrecht (bis zu 10-5 Torr mit einer Turbopumpe) und unterstützt verschiedene Gasatmosphären.
- Hochwertige Heizelemente: Durch den Einsatz von mit Molybdän dotierten Fe-Cr-Al-Legierungs-Heizelementen bietet der Ofen effiziente Wärmeübertragung und außergewöhnliche Haltbarkeit für den Dauerbetrieb bei Temperaturen bis zu 1100°C.
- Robuste Sicherheitsauslegung: Integrierter Übertemperaturschutz und Alarmfunktionen bei gebrochenem Thermoelement ermöglichen den unbeaufsichtigten Betrieb, während die geteilte Abdeckung über eine Verriegelung verfügt, die die Stromzufuhr beim Öffnen des Ofens unterbricht.
- Energieeffiziente Isolierung: Die Verwendung von Hochrein-Faseraluminiumoxid-Isolierung minimiert Wärmeverluste und reduziert den Stromverbrauch, während das doppellagige Stahlgehäuse mit Lüftern eine sichere Außentemperatur aufrechterhält.
- Ausgefeilte Programmierung: Jeder Temperaturregler verfügt über 30 programmierbare Segmente, sodass Benutzer komplexe Heiz-, Kühl- und Halteprofile für anspruchsvolle Materialumwandlungen definieren können.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Synthese von 2D-Materialien | Synthese von mit Ta und Nb dotiertem MoS2 unter Verwendung spezifischer thermischer Stufen und Gasströme. | Präzise Kontrolle über Kantenstruktur und Dotierungsdichte. |
| Nanodraht-Wachstum | Unabhängige Einstellung von Glüh-(400°C) und Wachstumsstufen (700-860°C) für Ga2O3. | Optimiert Katalysatorlegierung und axiale Wachstums-Morphologie. |
| Diffusionsglühen | Hochtemperatur-Homogenisierung von Fe-Ni-Cu-Legierungen bei 1000°C. | Beseitigt Abweichungen der Diffusionsrate durch thermische Gleichmäßigkeit. |
| Sintern fortschrittlicher Keramiken | Kontrollierte thermische Verarbeitung keramischer Vorprodukte unter Vakuum oder in inertem Gas. | Verhindert Oxidation und gewährleistet Ergebnisse mit hoher Materialdichte. |
| CVD / PECVD-Verfahren | Dient als thermischer Reaktor für die chemische Gasphasenabscheidung von Dünnschichten. | Stabiles Temperaturfeld über die gesamte Abscheidezone. |
| Metallurgische Forschung | Untersuchungen von Phasenumwandlungen, die schnelles Abkühlen und präzise Haltezeiten erfordern. | Das geteilte Design ermöglicht schnelles Abschrecken und einfache Probenentnahme. |
| Halbleiterdotierung | Diffusion von Dotierstoffen in Siliziumwafer oder andere Substrate unter kontrollierter Reinheit. | Saubere Umgebung durch hochwertiges Quarz und SS-Flansche. |
Technische Daten
| Parameter | TU-36-80 | TU-36-101 | TU-36-125 |
|---|---|---|---|
| Quarzrohrgröße (AD x ID x L) | 80 x 72 x 1400 mm | 101 x 92 x 1400 mm | 130 x 120 x 1400 mm |
| Max. Heiztemperatur | 1200°C | 1200°C | 1200°C |
| Dauerbetriebstemperatur | 1100°C | 1100°C | 1100°C |
| Max. Temp. (Vakuum) | 1000°C | 1000°C | 1000°C |
| Heizzonenlänge | 900 mm (300mm x 3) | 900 mm (300mm x 3) | 900 mm (300mm x 3) |
| Konstanttemperaturzone | 625 mm (25") | 625 mm (25") | 625 mm (25") |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1°C | ± 1°C | ± 1°C |
| Heizrate (max.) | 20°C / min | 20°C / min | 20°C / min |
| Spannung | 208-240V Einphasen | 208-240V Einphasen | 208-240V Einphasen |
| Max. Leistung | 7.0 KW | 7.0 KW | 7.0 KW |
| Temperaturregler | 3x 30-Segment-PID | 3x 30-Segment-PID | 3x 30-Segment-PID |
| Vakuumniveau | 10-2 bis 10-5 Torr | 10-2 bis 10-5 Torr | 10-2 bis 10-5 Torr |
| Flanschmaterial | SS 304 | SS 304 | SS 304 |
| Kommunikation | RS-485 | RS-485 | RS-485 |
| Konformität | CE-zertifiziert | CE-zertifiziert | CE-zertifiziert |
Warum Sie sich für unseren Drei-Zonen-Teilschlitz-Rohrofen entscheiden sollten
- Bewährte thermische Gleichmäßigkeit: Durch den Einsatz von drei unabhängig gesteuerten Heizzonen bietet dieses System einen deutlich längeren und stabileren Bereich mit gleichmäßiger Temperatur als einzonige Alternativen und gewährleistet konsistente Ergebnisse bei größeren Chargen.
- Zuverlässigkeit in Industriequalität: Mit hochwertigen Fe-Cr-Al-Elementen und einem doppelschaligen Stahlchassis gebaut, ist die Einheit für den 24/7-Betrieb in Industrie und Forschung ausgelegt und bietet durch langfristige Haltbarkeit niedrige Betriebskosten.
- Präzisionsengineering: Die Integration mikroprozessorbasierter, selbstoptimierender PID-Regler stellt sicher, dass selbst die komplexesten 30-Segment-Temperaturprofile mit einer Genauigkeit von ±1°C ausgeführt werden, was für hochreine Synthesen entscheidend ist.
- Vielseitige Integration: Mit optionalen Erweiterungen für PC-Steuerung, Eurotherm-Regler und verschiedene Vakuumpumpenkonfigurationen kann dieser Ofen an die spezifischen Anforderungen jedes materialwissenschaftlichen Arbeitsablaufs angepasst werden.
- Sicherheit und Konformität: Zu den Standardfunktionen gehören Übertemperaturalarme, Schutz bei Thermoelementausfall und CE-Zertifizierung, wodurch sichergestellt wird, dass das Gerät die internationalen Sicherheitsstandards für den Laboreinsatz erfüllt.
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