Sechszonen-Klapprohröfen 1,8 Meter Quarzrohr 1200°C Hochtemperatur-Heizsystem

Röhrenofen

Sechszonen-Klapprohröfen 1,8 Meter Quarzrohr 1200°C Hochtemperatur-Heizsystem

Artikelnummer: TU-49

Maximale Temperatur: 1200 °C Länge der Heizzone: 1800 mm Gesamt (1525 mm konstant) Zonenkonfiguration: Sechs unabhängig PID-geregelte Zonen
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Dieser ultra-lange Sechszonen-Klapprohrofen stellt einen Höhepunkt der thermischen Verfahrenstechnik dar und wurde speziell für die hochpräzise Materialforschung und industrielle Produktion entwickelt. Durch die Integration von sechs unabhängig voneinander gesteuerten Heizzonen über eine massive beheizte Länge von 1,8 Metern ermöglicht dieses System dem Bediener die Etablierung einer außergewöhnlich langen Konstanttemperaturzone oder komplexer, mehrstufiger thermischer Gradienten. Sein aufklappbares Design ist für schnellen Zugriff ausgelegt und ermöglicht das einfache Einsetzen von Prozessrohren sowie den Aufbau komplexer experimenteller Konfigurationen ohne lange Ausfallzeiten oder arbeitsintensive Demontagen.

Die Hauptanwendungen für dieses Gerät erstrecken sich über die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und fortschrittliches Sintern von Keramik, bei denen Temperaturgleichmäßigkeit und Atmosphärenkontrolle entscheidend sind. Das System bietet eine robuste Plattform für Zielbranchen wie Luft- und Raumfahrt, Energiespeicherung und Metallurgie. Ob für das Glühen ultra-langer Drahtproben oder die Zonenschmelzreinigung eingesetzt, der Ofen liefert die Konsistenz und Skalierbarkeit, die für den Übergang vom Labormaßstab zur Pilotanlagenproduktion erforderlich sind.

Das Gerät ist mit professionellen Komponenten und einem doppelschichtigen Stahlgehäuse ausgestattet und für den kontinuierlichen Schwerlastbetrieb in anspruchsvollen industriellen F&E-Umgebungen konzipiert. Die Trennung der Heizkammer von der Steuerelektronik gewährleistet langfristige Zuverlässigkeit und schützt empfindliche Komponenten vor thermischer Belastung. Dieses Gerät ist die bevorzugte Wahl für Einrichtungen, die Wert auf hohen Durchsatz, präzise thermische Profilierung und die Fähigkeit legen, unter strengen Arbeitszyklen ein Hochvakuum oder spezifische Gasatmosphären aufrechtzuerhalten.

Hauptmerkmale

  • Sechs unabhängige Heizzonen: Jede der sechs 300 mm Heizzonen wird von einem eigenen Steuersystem betrieben, was die Erstellung komplexer Temperaturprofile oder einer massiven 1525 mm Konstanttemperaturzone mit einer Genauigkeit von +/- 2ºC ermöglicht.
  • Präzise PID-Temperaturregelung: Sechs programmierbare digitale 30-Segment-Regler bieten eine sorgfältige Steuerung von Heizraten, Kühlraten und Haltezeiten und gewährleisten reproduzierbare Ergebnisse für empfindliche metallurgische Prozesse.
  • Ultra-lange Heizkammer: Mit einer beheizten Gesamtlänge von 1800 mm (72") nimmt dieses System lange Prozessrohre und große Chargenproben auf, was den Durchsatz im Vergleich zu Standard-Laboröfen erheblich steigert.
  • Aufklappbares Design: Der Ofenkörper ist der Länge nach geteilt und wird von Gasdruckfedern unterstützt, was einen einfachen Rohraustausch, schnelle Abkühlzyklen und eine visuelle Inspektion des Rohr-Setups ermöglicht, ohne die interne Atmosphäre zu stören.
  • Hochreine Aluminiumoxid-Isolierung: Fortschrittliche faserige Aluminiumoxid-Isolierung minimiert Wärmeverluste und reduziert den Energieverbrauch, während das doppelschichtige Stahlgehäuse mit Lüftern während des Betriebs eine sichere Außentemperatur aufrechterhält.
  • Fortschrittliche Heizelemente: Unter Verwendung einer Fe-Cr-Al-Legierung der 1300ºC-Klasse, dotiert mit Molybdän, sorgt das System für schnelle Aufheizzeiten bis zu 1200ºC und eine hervorragende Oxidationsbeständigkeit für eine längere Lebensdauer.
  • PC-Link-Kommunikationsschnittstelle: Ausgestattet mit einem RS485-Kommunikationsanschluss und spezieller Steuerungssoftware ermöglicht das System die Fernüberwachung und -steuerung von einem PC aus, was die Datenprotokollierung und komplexe Prozessautomatisierung erleichtert.
  • Vakuum- und Atmosphärenvielfalt: Die Ausrüstung umfasst hochwertige Edelstahl-Vakuumflansche mit Nadelventilen und Manometern, die die Verarbeitung unter Vakuumniveau oder in kontrollierten Gasumgebungen wie Stickstoff, Argon oder Formiergas unterstützen.
  • Integrierte Sicherheitsschutzmaßnahmen: Eingebaute Schutzvorkehrungen umfassen Überhitzungsalarme, Schutz bei Thermoelementbruch und Übertemperatur-Abschaltmechanismen, um sowohl die Ausrüstung als auch die verarbeiteten Materialien zu schützen.
  • Anpassbare Rohrdurchmesser: Obwohl das Gerät mit einem 4"-Quarzrohr geliefert wird, kann das flexible Design verschiedene Prozessrohre von 1" bis 4" Außendurchmesser aufnehmen, wodurch sich der Ofen an sich entwickelnde Forschungsanforderungen anpassen lässt.

Anwendungen

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
CVD/PECVD-Prozesse Wird als primäre Wärmequelle für die chemische Gasphasenabscheidung von Dünnschichten und Nanomaterialien verwendet. Hervorragende Gleichmäßigkeit über große Flächen für skalierbares Schichtwachstum.
Zonenschmelzreinigung Etablierung thermischer Gradienten zur Reinigung von Materialien durch Bewegung geschmolzener Zonen durch einen festen Block. Hochauflösende Gradientensteuerung über sechs unabhängige Zonen.
Halbleiter-Dotierung Diffusion von Dotierstoffen in Halbleiter-Wafer innerhalb einer kontrollierten, hochreinen Atmosphäre. Saubere Quarzumgebung und präzises Management der Haltezeit.
Kalibrierung von Sensoren Nutzung der langen Konstanttemperaturzone zur Kalibrierung verschiedener thermischer Sensoren und Thermoelemente. Branchenführende 60-Zoll-Konstanttemperaturfähigkeit.
Draht- und Faserglühen Kontinuierliche Wärmebehandlung von Metalldrähten oder Keramikfasern beim Durchlaufen des langen Rohrs. Stabiles thermisches Profil verhindert strukturelle Defekte in langen Proben.
Festkörpersynthese Hochtemperaturreaktionen von Pulvervorläufern zur Bildung neuer Keramik- oder Verbundverbindungen. Zuverlässige Atmosphärenkontrolle verhindert Oxidation empfindlicher Pulver.
Gradienten-Thermocyclen Gleichzeitige Aussetzung von Materialien gegenüber unterschiedlichen Temperaturen zur Untersuchung von Phasenübergängen. Macht mehrere separate Ofendurchläufe überflüssig.
Batteriematerialprüfung Kalzinierung und Sintern von Kathoden-/Anodenmaterialien unter spezifischen Gasflussbedingungen. Großes Kammervolumen ermöglicht Batch-Verarbeitung mit hoher Kapazität.

Technische Spezifikationen

Parametergruppe Spezifikationsdetail Wert
Modellidentifikation Produktartikelnummer TU-49
Temperaturmetriken Maximale Betriebstemperatur 1200 °C (< 1 Stunde)
Dauerbetriebstemperatur 1100 °C
Maximale Heizrate ≤ 20 °C / min
Temperaturgenauigkeit +/- 1 ºC
Heizzonen Anzahl der Zonen 6 unabhängige Zonen
Länge pro Zone 300 mm (11,8")
Gesamte beheizte Länge 1800 mm (72")
Konstanttemperaturzone 1525 mm (60") bei gleicher Einstellung aller Zonen
Abmessungen & Material Ofenstruktur Doppelschichtiges Stahlgehäuse mit energiesparender Isolierung
Rohrgröße 101,6 mm AD x 92 mm ID x 2540 mm L (4" x 3,6" x 100")
Heizkammergröße 1828 mm L x 140 mm Durchmesser (72" x 5,5")
Isoliermaterial Hochreines faseriges Aluminiumoxid
Steuerungssystem Reglertyp Sechs 30-Segment PID-Digitalregler
Thermoelementtyp Sechs K-Typ (eines pro Zone)
Fernsteuerung RS485-Anschluss mit PC-Software-Kompatibilität
Elektrische Daten Spannung / Phase AC 208-240V, Dreiphasig, 50/60 Hz
Gesamtleistung 13 KW Maximum
Leistung pro Zone 2 KW pro Heizzone
Vakuum & Atmosphäre Standard-Flanschset Edelstahl-Vakuumflansche mit KF25-Anschluss
Gaseinlass 1/4" Rohrleitungsanschluss mit Nadelventil
Drucküberwachung Integriertes mechanisches Manometer
Maximales Vakuumniveau Begrenzt durch Pumpe (Standard <0,2 bar zur Sicherheit)
Konformität Zertifizierung CE-zertifiziert (NRTL/CSA auf Anfrage erhältlich)

Warum TU-49 wählen

  • Überlegene thermische Vielseitigkeit: Die einzigartige Sechszonen-Architektur ermöglicht die komplexeste thermische Profilierung, die in einem Rohrofen verfügbar ist, und ermöglicht es Forschern, Ergebnisse zu erzielen, die mit Ein- oder Zweizonengeräten unmöglich sind.
  • Industrielle Bauweise: Entwickelt mit hochdichter Aluminiumoxidfaser und einem robusten Klappgehäusedesign, ist dieses System darauf ausgelegt, den Anforderungen des kontinuierlichen Hochtemperaturbetriebs standzuhalten, ohne die strukturelle Integrität zu beeinträchtigen.
  • Präzision im Maßstab: Die Aufrechterhaltung einer Gleichmäßigkeit von +/- 2ºC über eine Spannweite von 1,5 Metern stellt sicher, dass großformatige Proben oder Multi-Wafer-Chargen eine identische thermische Behandlung erhalten, ein kritischer Faktor für die industrielle Qualitätskontrolle.
  • Zukunftssichere Erweiterbarkeit: Egal, ob Sie Massendurchflussregler, fortschrittliche Vakuumpumpen integrieren oder auf eine PC-basierte automatisierte Steuerung umsteigen müssen, dieses System ist so konzipiert, dass es mit den Anforderungen Ihres Labors wächst.
  • Zuverlässiger technischer Support: Unterstützt durch die tiefe Expertise von THERMUNITS bei Hochtemperatursystemen, kommt jedes Gerät mit der Gewissheit einer reaktionsschnellen technischen Unterstützung und hochwertigen Ersatzteilen.

Die Investition in dieses ultra-lange Ofensystem stellt sicher, dass Ihre Einrichtung mit einem Hochleistungswerkzeug ausgestattet ist, das den strengsten Anforderungen der thermischen Verarbeitung gerecht wird. Kontaktieren Sie unser Ingenieurteam noch heute, um ein Angebot anzufordern oder eine maßgeschneiderte Konfiguration für Ihre spezifische Anwendung zu besprechen.

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