Röhrenofen
Zweizonen-Rohrofen 1100°C mit 11-Zoll-Quarzrohr und Vakuumflanschen für die Verarbeitung von 8-Zoll-Wafern
Artikelnummer: TU-32
Versand: Kontaktieren Sie uns um Versanddetails zu erhalten. Genießen Sie Garantie für pünktliche Lieferung.
Produktübersicht
Dieser leistungsstarke Zweizonen-Rohrofen ist ein hoch entwickeltes thermisches Verarbeitungssystem, das für fortgeschrittene Materialforschung und industrielle Forschung und Entwicklung konzipiert wurde. Mit einem außergewöhnlich großen Quarzglasrohr mit 11 Zoll Außendurchmesser bietet das Gerät einen geräumigen Heizraum, der für große Proben und Halbleiterwafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll geeignet ist. Die Zweizonenkonfiguration ermöglicht die Erstellung präziser thermischer Gradienten oder einer breiteren Konstanttemperaturzone und bietet Forschern beispiellose Flexibilität bei der Verwaltung komplexer Wärmebehandlungsprofile. Durch die Integration von hochreiner Aluminiumoxid-Faserisolierung gewährleistet dieses System maximale Energieeffizienz und schnelle thermische Ansprechzeiten.
Das Gerät ist speziell für hochreine Anwendungen entwickelt, einschließlich des Sinterns neuer Materialproben und des Temperns von Halbleiterwafern unter Vakuum oder kontrollierten Gasatmosphären. Zielbranchen reichen von der Halbleiterherstellung und Metallurgie bis hin zur Nanotechnologie und Erneuerbare-Energien-Forschung. Die Verarbeitungskammer mit großem Durchmesser ermöglicht einen höheren Durchsatz und die Aufnahme spezialisierter Tiegel und Schiffchen, was sie zu einer idealen Wahl für Labore macht, die von kleinskaligen Experimenten zur Entwicklung im Pilotmaßstab übergehen. Ihre robusten Vakuumfähigkeiten und Gashandhabungsfunktionen ermöglichen eine präzise Kontrolle der chemischen Umgebung während kritischer Verarbeitungsschritte.
Zuverlässigkeit und Konsistenz sind die Markenzeichen des Designs dieser Einheit. Das System ist für anspruchsvolle industrielle Bedingungen ausgelegt und verwendet hochpräzise digitale Regler und langlebige NiCrAl-Heizwiderstände, um eine stabile Leistung über lange Zeiträume aufrechtzuerhalten. Der Einbau von wassergekühlten Edelstahlflanschen schützt die Integrität der Vakuumdichtungen und gewährleistet eine leckagefreie Umgebung auch während Hochtemperaturzyklen. Dieses Bekenntnis zu technischer Exzellenz stellt sicher, dass jeder Prozess, von der einfachen Kalzinierung bis zur fortgeschrittenen chemischen Dampfabscheidung, mit wiederholbaren, hochgenauen Ergebnissen durchgeführt wird, auf die professionelle Forscher vertrauen können.
Hauptmerkmale
- Präzise Zweizonen-Temperaturregelung: Das System verfügt über zwei unabhängig gesteuerte Heizzonen mit einer Länge von jeweils 300 mm, die von hochpräzisen digitalen PID-Reglern gesteuert werden. Dies ermöglicht die Einstellung stabiler thermischer Gradienten oder einer kombinierten 300 mm langen Konstanttemperaturzone mit einer Genauigkeit von ±1°C, was für Prozesse wie das Wachstum von TMD-Nanobändern unerlässlich ist.
- Extragroße 11-Zoll-Quarzkammer: Ausgestattet mit einem massiven Quarzglasrohr mit 279 mm Außendurchmesser nimmt dieser Ofen großformatige Proben auf, einschließlich Standard-Halbleiterwafer mit 8 Zoll. Das hochreine Quarzmaterial bietet eine hervorragende Thermoschockbeständigkeit und chemische Inertheit und gewährleistet eine verunreinigungsfreie Umgebung.
- Fortschrittliche schwenkbare Vakuumflanschen: Die Vakuumflanschen aus Edelstahl verfügen über ein schwenkbares Design für müheloses Be- und Entladen von Proben. Integrierte Wasserkühlkanäle in der doppelwandigen Flanschstruktur schützen die O-Ring-Dichtungen effektiv und erhalten die Vakuumintegrität bei Dauerbetrieb bei Temperaturen bis zu 1100°C.
- Hocheffiziente Wärmeisolierung: Unter Verwendung von hochreiner Aluminiumoxid-Faserisolierung minimiert das Gerät Wärmeverluste und reduziert den Energieverbrauch. Diese leichte, leistungsstarke Isolierung ermöglicht auch schnellere Heiz- und Abkühlraten und optimiert die Gesamtzykluszeit für den Labordurchsatz.
- Robuste Heizelemente und Sicherheit: Langlebige NiCrAl-Heizwiderstände sorgen für eine gleichmäßige Wärmeverteilung. Für die Sicherheit von Bedienern und Geräten ist ein sekundärer Temperaturmonitor enthalten, der vor Überhitzung und defekten Thermoelementen schützt und sorgt für Sicherheit bei unbeaufsichtigtem Betrieb.
- Integrierte Gas- und Vakuumanschlüsse: Das System umfasst einen mechanischen Vakuummesser, zwei Edelstahl-Nadelventile und einen KF25-Vakuumanschluss. Diese umfassende Ausstattung ermöglicht eine präzise Atmosphärensteuerung und unterstützt Vakuumniveaus von 10-2 Torr mit mechanischen Pumpen bis zu 10-4 Torr mit Turbomolekularsystemen.
- Programmierbare Wärmbehandlungsprofile: Beide Temperaturregler unterstützen 30 programmierbare Segmente, sodass Benutzer komplexe Rampen-, Halte- und Abkühlsequenzen automatisieren können. Dies gewährleistet eine hohe Reproduzierbarkeit über mehrere Chargen hinweg, was für standardisierte Forschung und industrielle Qualitätskontrolle entscheidend ist.
- Computerschnittstelle und Datenprotokollierung: Das Gerät ist mit spezialisierter Labview-basierter Steuersoftware kompatibel, sodass Forscher Temperaturprofile bearbeiten, Rezepte verwalten und Echtzeitdaten auf einem PC aufzeichnen können für gründliche Nachprozessanalyse und Dokumentation.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Wafer-Tempern für Halbleiter | Thermische Verarbeitung von großformatigen Wafern (bis zu 8") zur Reparatur von Kristalldefekten oder Aktivierung von Dotierstoffen. | Überlegene Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche. |
| TMD-Nanoband-Wachstum | Nutzung von zwei Zonen zur unabhängigen Steuerung von Chalkogen-Dampfdruck und Substrat-Reaktionstemperatur. | Präzise Kontrolle über Nanobandbreite und Wachstumskinetik via Übersättigung. |
| Katalytische Pyrolyse | Hochtemperaturzersetzung von organischen Materialien wie Altreifen unter kontrollierten Atmosphären. | Verhinderung lokaler Überhitzung und übermäßiger Karbonisierung durch stabile Gradienten. |
| Materialsintern | Konsolidierung von Pulvermaterialien zu dichten Festkörpern für Forschung an strukturellen oder elektronischen Keramiken. | Konsistente Dichte und Kornstruktur erreicht durch ±1°C Genauigkeit. |
| Chemische Dampfabscheidung (CVD) | Präzise Abscheidung von Dünnfilmen unter Verwendung spezialisierter Gasgemische und Verarbeitungsrohre mit großem Durchmesser. | Nimmt große Substrate und hohe Gasdurchflussmengen auf für skalierbare Forschung. |
| Vakuum-Wärmebehandlung | Spannungsarmglühen oder Härten von Metallkomponenten in einer sauerstofffreien Umgebung. | Beseitigt Oxidation und Oberflächenverunreinigungen während Hochtemperaturzyklen. |
Technische Spezifikationen
| Parameter | Spezifikationen für TU-32 |
|---|---|
| Modellnummer | TU-32 |
| Rohrmaterial | Hochreines Quarzglas |
| Rohrabmessungen | 279 mm AD x 269 mm ID x 1000 mm Länge (11" x 10,6" x 40") |
| Maximal Temperatur | 1100°C (< 60 min, unter Inertgas) |
| Dauertemperatur | 400°C - 1000°C (unter Vakuum oder strömendem Gas) |
| Optionale Temperatur | 1150°C (mit aufgerüstetem GE 214 Quarzrohr) |
| Heizzonen | Zwei Zonen: je 300 mm (12"); insgesamt 600 mm (24") |
| Konstanttemperaturzone | 300 mm in der Mitte (±1°C) bei gleicher Einstellung der Zonen |
| Heizrate | Max. 20°C / min |
| Temperaturgenauigkeit | ±1°C |
| Temperaturregler | Zwei digitale PID-Regler mit 30 programmierbaren Segmenten |
| Thermoelement | Doppeltes K-Typ (12" x 1/4" Durchmesser geerdete Sonde) |
| Heizelement | NiCrAl Widerstandsdraht |
| Eingangsspannung | 208 - 240V AC, Einphasig |
| Nennleistung | 8 kW |
| Vakuumflanschen | Doppellagiger Edelstahl, wassergekühlt, schwenkbar |
| Vakuumanschlüsse | KF25-Anschluss, 1/4"-Schlauchanschlüsse, zwei Nadelventile |
| Vakuumgrenze | 10-2 Torr (Mechanische Pumpe) / 10-4 Torr (Turbopumpe) |
| Kühlanforderung | Wasserfluss ≥ 10L/min, Temperatur < 25ºC, Druck > 25 PSI |
| Konformität | CE-zertifiziert (NRTL/CSA auf Anfrage erhältlich) |
Warum Sie uns wählen sollten
- Zuverlässigkeit in Industriequalität: Dieses System wurde mit hochbeständigen Widerstandsdrähten und fortschrittlicher Faserisolierung entwickelt und ist auf langfristige betriebliche Konsistenz in anspruchsvollen Forschungsumgebungen ausgelegt.
- Fähigkeit für große Maßstäbe: Das Rohr mit 11 Zoll Durchmesser ist ein seltenes Angebot bei Laborsöfen und bietet das erforderliche Volumen für die Verarbeitung von 8-Zoll-Wafern und große Materialchargen ohne dass ein industriegroßes Gerät erforderlich ist.
- Präzise Temperatursteuerung: Unabhängige Zweizonensteuerung bietet die thermische Flexibilität, die für komplexe chemische Dampfabscheidung und Nanostrukturwachstum erforderlich ist, und gewährleistet die höchste Ebene an experimenteller Kontrolle.
- Robuste Sicherheit und Schutz: Integrierte sekundäre Temperaturüberwachung und wassergekühlte Flanschsysteme schützen Ihre Laborwerte und gewährleisten die Langlebigkeit von Hochvakuumdichtungen.
- Umfassende Integration: Von Labview-Softwarekompatibilität bis hin zu anpassbaren Gasmisch- und Vakuumstationsoptionen dient dieser Ofen als vollständige, erweiterbare Plattform für Ihre thermischen Verarbeitungsanforderungen.
Für weitere Informationen zum Zweizonenofen TU-32 oder um ein individuelles Angebot zu erhalten, das auf Ihre spezifischen Vakuum- und Gashandhabungsanforderungen zugeschnitten ist, kontaktieren Sie noch heute unser technisches Vertriebsteam.
Fordern Sie ein Angebot an
Unser professionelles Team wird Ihnen innerhalb eines Werktages antworten. Sie können uns gerne kontaktieren!
Ähnliche Produkte
1100°C Zweizonen-Wasserstoff-Rohrofen mit Quarzrohr und integriertem H2-Leckerkennungssystem
Dieser leistungsstarke Zweizonen-Wasserstoff-Rohrofen verfügt über einen integrierten Honeywell-Gasdetektor für eine sichere thermische Verarbeitung bis 1100°C. Entwickelt für die materialwissenschaftliche Forschung und Entwicklung, bietet er eine präzise Atmosphärenkontrolle mit Quarzrohrdurchmessern von 60 mm oder 80 mm.
1100°C Zweizoniger geteilter vertikaler Rohrofen mit 4-Zoll-Quarzrohr und Vakuumdichtungsflanschen
Dieser zweizonige, geteilte vertikale Rohrofen mit 1100°C verfügt über ein vier Zoll großes Quarzrohr und Vakuumdichtungsflansche. Entwickelt für CVD- und PVD-Anwendungen, liefert dieses hochpräzise System außergewöhnliche thermische Gleichmäßigkeit für Forschung und Entwicklung im Labor.
1200°C Zweizonen-Klapp-Rohrofen mit Quarzglasrohr und Vakuumflanschen, erhältlich in 60 mm, 80 mm und 100 mm Durchmesser
Verbessern Sie Ihre Materialforschung mit diesem 1200°C Zweizonen-Klapp-Rohrofen, der über eine unabhängige Temperaturregelung für präzise thermische Gradienten verfügt. Ausgestattet mit Quarzglasrohren und Vakuum-Dichtflanschen ist er die ideale Lösung für fortschrittliche CVD-Prozesse und die Synthese von Nanomaterialien.
1100°C Geteilter vertikaler Rohrofen mit 80mm Quarzrohr und Edelstahl-Vakuumflanschen
Dieser leistungsstarke 1100°C geteilte vertikale Rohrofen verfügt über ein 80mm Quarzrohr, Edelstahl-Vakuumflansche und eine präzise 30-Segment-PID-Steuerung. Entwickelt für Materialforschung und -entwicklung, schnelles Abschrecken und atmosphärenkontrollierte thermische Prozesse in professionellen Industrielaboren.
Doppelzone Quarzrohrofen mit 80 mm Durchmesser, 1200°C Maximaltemperatur, 3-Kanal-Gasmischer und Vakuumpumpensystem
Dieser fortschrittliche Doppelzone-Quarzrohrofen verfügt über einen Rohr mit 80 mm Durchmesser, integrierte dreikanalige Gasmischung und ein leistungsstarkes Vakuumsystem. Er eignet sich perfekt für CVD- und Materialforschung und bietet präzise Wärmebehandlung bei 1200°C sowie korrosionsbeständige Vakuumüberwachung.
12-Zonen-Ultra-Lang-Rohrofen mit 20-Fuß-Quarzrohr und 1100 °C Maximaltemperatur
Dieser hochpräzise 12-Zonen-Rohrofen bietet eine Heizlänge von sechs Metern und eine Maximaltemperatur von 1100 °C für lange Proben. Mit unabhängiger PID-Steuerung und vakuumtauglichen Flanschen liefert er außergewöhnliche Gleichmäßigkeit für fortschrittliche industrielle Materialwissenschaften und F&E-Anwendungen.
1100°C Quarzrohr-Hochtemperaturofen mit großem Durchmesser, 24-Zoll-Heizzone und wassergekühlten Flanschen
Dieser 1100°C Quarzrohr-Hochtemperaturofen mit großem Durchmesser verfügt über eine 24-Zoll-Heizzone und wassergekühlte Flansche für präzise CVD-Prozesse. Ideal für die Materialforschung sowie industrielle F&E, bietet er außergewöhnliche thermische Stabilität und robuste Leistung.
Dreizonen-Röhrenofen mit 11 Zoll oder 15 Zoll Quarzrohr und Scharnierflanschen für Vakuum-Atmosphären-Wärmebehandlung
Erzielen Sie mit diesem Dreizonen-Röhrenofen eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit. Er verfügt über 11-Zoll- oder 15-Zoll-Quarzrohre für großflächiges Wafer-Ausheizen und Materialsynthese unter präziser Vakuumkontrolle und motorisiertem Deckelbetrieb für die Sicherheit im Industrielabor.
1100°C Hochtemperatur-Quarzkammerofen, 8 Zoll Außendurchmesser, 7,6 Liter Kapazität und Vakuumatmosphären-Funktion
Erweitern Sie Ihre Laborkapazitäten mit diesem 1100°C Quarzkammerofen mit 8 Zoll Außendurchmesser und 7,6 Litern Volumen. Dieses System wurde für Vakuum- und kontrollierte Atmosphärenumgebungen entwickelt und bietet präzise thermische Verarbeitung für die fortschrittliche Materialforschung und Halbleiterfertigung.
5-Zoll-Rotationsrohrofen mit zwei Zonen, 1100 °C für Pulver-CVD und Materialsynthese
Verbessern Sie die Materialforschung mit unserem hochpräzisen zweizonigen Rotationsrohrofen mit 1100 °C. Speziell für gleichmäßige Pulver-CVD und Kern-Schale-Synthese entwickelt, bietet dieses 5-Zoll-Quarzsystem eine fortschrittliche Atmosphärensteuerung sowie eine unabhängige Optimierung der thermischen Verarbeitung in zwei Zonen.
Hochtemperatur-Rohrofen mit verlängerter Doppelzone für Materialforschung und industrielle Wärmebehandlung
Optimieren Sie Ihre Materialforschung mit diesem leistungsstarken, verlängerten Doppelzonen-Rohrofen. Ausgestattet mit schwedischen Kanthal A1-Elementen und fortschrittlicher PID-Steuerung, gewährleistet er eine außergewöhnliche thermische Gleichmäßigkeit bis zu 1200 °C für anspruchsvolle Labor- und industrielle F&E-Prozessanwendungen in der modernen Technik.
Acht-Zonen-1100C-Hochtemperatur-Spaltröhrenofen mit 4 Zoll Außendurchmesser Quarzrohr und Touchscreen-Bedienpanel
Optimieren Sie die Materialforschung mit diesem Acht-Zonen-1100C-Spaltröhrenofen, der ein Touchscreen-Bedienpanel, präzise thermische Gradienten und ein großes 4-Zoll-Außendurchmesser-Quarzrohr für fortschrittliche industrielle F&E und chemische Gasphasenabscheidungsprozesse bietet.
Mehrzweck-Rohrofen 1100 °C für die Materialforschung im Labor und fortschrittliche industrielle Wärmebehandlung
Dieser Mehrzweck-Rohrofen bietet eine präzise Erwärmung bis 1100 °C mit flexibler vertikaler und horizontaler Ausrichtung. Er wurde für die fortschrittliche Materialforschung entwickelt und verfügt über einen 30-Segment-PID-Regler sowie eine hochreine Faserisolierung für außergewöhnliche thermische Stabilität und zuverlässige Leistung im Industrielabor.
Hochtemperatur-Zweizonen-Vakuumrohrofen für Materialforschung und CVD-Prozesse
Erweitern Sie Ihre Laborkapazitäten mit diesem hochpräzisen Zweizonen-Vakuumrohrofen. Entwickelt für fortschrittliche Materialforschung und CVD-Prozesse, bietet er eine unabhängige Temperaturregelung, schnelle Aufheizraten und eine robuste Vakuumabdichtung für konsistente thermische Behandlungsergebnisse in Industriequalität.
Zwei-Zonen-Rohrofen mit Doppelabdeckung für Hochtemperatur-CVD und Vakuumglühen
Professioneller Hochtemperatur-Zwei-Zonen-Rohrofen mit Kanthal A1-Heizelementen und fortschrittlicher PID-Steuerung für Forschung und industrielle Anwendungen. Dieses System bietet präzise thermische Verarbeitung für CVD, Vakuumglühen und Materialsintern mit beispielloser Zuverlässigkeit.
Hochtemperatur-Sieben-Zonen-Rohrofen mit geteiltem Gehäuse, 1200 °C Maximaltemperatur und Quarzrohr mit großem Durchmesser
Dieser leistungsstarke Sieben-Zonen-Rohrofen mit geteiltem Gehäuse zeichnet sich durch eine beeindruckende Heizlänge von 2100 mm (82,6 Zoll) und ein 8-Zoll-Quarzrohr aus. Er wurde für die präzise Materialforschung entwickelt und bietet außergewöhnliche Temperaturgleichmäßigkeit sowie fortschrittliche Atmosphärenkontrolle für industrielle F&E-Projekte und anspruchsvolle Fertigungsanwendungen.
Verlängerter Zwei-Zonen-Rohrofen für industrielle Wärmebehandlung und materialwissenschaftliche Forschung
Dieser verlängerte Zwei-Zonen-Rohrofen verfügt über schwedische Kanthal A1-Elemente und eine fortschrittliche PID-Steuerung für präzise Materialforschung. Mit Optionen für Vakuum und Atmosphäre bietet er überlegene thermische Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit für anspruchsvolle industrielle Wärmebehandlungsanwendungen im Labor.
Hochtemperatur-Zweizonen-Klapprohrofen für fortschrittliches Atmosphärensintern und Vakuum-CVD-Anwendungen
Optimieren Sie Ihre Materialforschung mit diesem hochpräzisen 1400°C-Zweizonen-Klapprohrofen. Mit unabhängiger Temperaturregelung, Möglichkeiten zum Atmosphärensintern und überragender thermischer Stabilität ist er die ideale Lösung für anspruchsvolle CVD-Experimente und industrielle thermische Verarbeitungsprojekte.
Doppel-Temperatur-Drehrohr-Hochtemperaturofen mit Präzisionsrotation und einstellbarer Neigung für die fortgeschrittene Materialforschung
Leistungsstarker Doppel-Temperatur-Drehrohrofen mit Kanthal A1-Heizelementen und Präzisionsrotation für eine gleichmäßige Materialverarbeitung. Ideal für CVD- und F&E-Anwendungen, die eine zuverlässige thermische Steuerung und eine einstellbare Neigung in anspruchsvollen industriellen Laborumgebungen erfordern.
Zwei-Zonen-Drehrohr-Hochtemperaturofen für gleichmäßige Pulverkalzinierung, 1000 °C, 2-Zoll-Quarzrohr
Erzielen Sie eine überlegene Materialgleichmäßigkeit mit diesem 1000 °C Zwei-Zonen-Drehrohrofen. Ausgestattet mit variabler Rotation und programmierbaren PID-Reglern ist dieses System für die Kalzinierung hochreiner anorganischer Pulver und für Projekte zur Entwicklung von Lithium-Ionen-Batteriekathoden optimiert. Kontaktieren Sie uns noch heute für maßgeschneiderte thermische Lösungen.
