Röhrenofen
Hochtemperatur-Zweizonen-Rohrofen 1700 °C für Materialwissenschaften und industrielle Forschung zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD)
Artikelnummer: TU-74
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Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem wurde für die moderne Materialforschung und industrielle Entwicklung konzipiert, bei der eine präzise, unabhängige Steuerung mehrerer thermischer Zonen erforderlich ist. Durch die Zweizonen-Konfiguration ermöglicht das Gerät die Erzeugung komplexer Temperaturgradienten, die für spezialisierte Prozesse wie den chemischen Gasphasentransport (CVT) und die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) unerlässlich sind. Die Architektur des Systems kombiniert zwei unterschiedliche Heiztechnologien in einer einzigen Einheit und bietet eine vielseitige Plattform für die Synthese funktioneller Materialien und das Wachstum hochwertiger epitaktischer Schichten.
Dieses Gerät wurde für die anspruchsvollsten Labor- und Industrieumgebungen entwickelt und findet breite Anwendung in der Halbleiterforschung, der Metallurgie und der Festkörperchemie. Es dient als kritisches Werkzeug für Forscher, die sich auf das Wachstum von Übergangsmetall-Dichalkogenid-Nanobändern (TMD) und die Entwicklung hochreiner Einkristalle konzentrieren. Die robuste Konstruktion stellt sicher, dass das System selbst bei Betriebstemperaturen von bis zu 1700 °C eine außergewöhnliche thermische Stabilität beibehält, was konsistente und reproduzierbare Ergebnisse bei anspruchsvollen F&E-Projekten ermöglicht.
Zuverlässigkeit und Sicherheit stehen im Mittelpunkt der Designphilosophie dieses Geräts. Mit einem doppelschichtigen Stahlgehäuse und integrierten Kühlventilatoren hält das System eine niedrige Außenflächentemperatur aufrecht, wodurch Laborpersonal und umliegende Geräte geschützt werden. Die Verwendung von hochreiner faseriger Aluminiumoxid-Isolierung verbessert nicht nur die Energieeffizienz, sondern trägt auch zu schnellen Heiz- und Kühlzyklen bei, was den Durchsatz in geschäftigen Forschungseinrichtungen maximiert. Käufer können mit Vertrauen investieren, da dieses System so gebaut ist, dass es den Anforderungen eines kontinuierlichen Hochtemperaturbetriebs ohne Leistungseinbußen standhält.
Hauptmerkmale
- Unabhängige Zweizonen-Steuerung: Jede 12-Zoll-Heizzone wird von einem eigenen digitalen Präzisionsregler gesteuert, was die Erzeugung spezifischer thermischer Gradienten oder eine gleichmäßige Erwärmung über eine Gesamtlänge von 24 Zoll ermöglicht.
- Fortschrittliche Dual-Element-Technologie: Die erste Zone nutzt Siliziumkarbid-Elemente (SiC) für einen stabilen Betrieb bis 1400 °C, während die zweite Zone Molybdändisilizid-Elemente (MoSi2) verwendet, um Spitzentemperaturen von 1700 °C zu erreichen, was eine unübertroffene Flexibilität für verschiedene thermische Profile bietet.
- Präzises PID-Temperaturmanagement: Ausgestattet mit zwei programmierbaren digitalen 30-Segment-Reglern bietet das System eine automatisierte PID-Steuerung über Thyristorsteller (SCR), die eine Genauigkeit von ±1 °C gewährleistet.
- Hochreine Aluminiumoxid-Isolierung: Die Ofenkammer ist mit hochdichtem faserigem Aluminiumoxid ausgekleidet, das den Wärmeverlust minimiert und eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit sicherstellt, während gleichzeitig eine Kontamination empfindlicher Proben verhindert wird.
- Erweiterte Sicherheitsprotokolle: Integrierte Übertemperaturalarme und automatische Schutzschaltungen ermöglichen einen sicheren, unbeaufsichtigten Betrieb, während das doppelschichtige Gehäuse die äußere Umgebung kühl hält.
- Vakuumfähiges Dichtungssystem: Die Ausrüstung umfasst hochbelastbare Vakuumdichtflansche aus Edelstahl mit integrierten Ventilen und Druckmessgeräten, die Niederdruckanwendungen und die Verarbeitung in inerter Atmosphäre unterstützen.
- Hochfeste Aluminiumoxid-Prozessrohre: Das System unterstützt verschiedene Rohrdurchmesser (50 mm, 60 mm und 80 mm), um unterschiedliche Probenvolumina und Durchsatzanforderungen zu erfüllen, ohne die strukturelle Integrität bei hohen Temperaturen zu beeinträchtigen.
- Robuste Stromversorgungsarchitektur: Unter Verwendung von hochbelastbaren, UL-geprüften Stromkabeln und einer 60A-Leitungsschutzschalter-Anforderung ist das System für eine stabile Stromversorgung während Phasen mit hohem Heizbedarf ausgelegt.
- Vielseitige Schnittstellenoptionen: Die standardmäßigen Schlauchtüllen können für Hochvakuumanwendungen auf KF25-Adapter oder für die Hochdruckgaszufuhr auf VCR-Dichtungsverschraubungen aufgerüstet werden, um spezifischen technischen Anforderungen gerecht zu werden.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| TMD-Nanoband-Wachstum | Präzise Steuerung des Chalkogen-Dampfdrucks während des Wachstums von Übergangsmetall-Dichalkogenid-Nanobändern. | Unabhängige Anpassung der Dampfkonzentration ohne Beeinflussung der Wachstumskinetik. |
| Chemischer Gasphasentransport (CVT) | Aufbau stabiler Temperaturgradienten über das Prozessrohr für die Migration chemischer Dämpfe. | Ermöglicht das Wachstum großer, hochreiner Einkristalle wie PdCoO2. |
| Epitaktisches Schichtwachstum | Nutzung von CVD- oder PVD-Prozessen unter Vakuum zur Abscheidung dünner Schichten auf Substraten. | Hohe Temperaturgleichmäßigkeit über die Wachstumszone sorgt für eine konsistente Schichtdicke. |
| Katalytische Pyrolyse | Erhitzung von Industrieabfällen wie Altreifen mit kontrollierten Raten zur Analyse der Nebenproduktverteilung. | Verhindert lokales Überhitzen und sorgt für eine hochwertige Öl- und Gasrückgewinnung. |
| Synthese funktioneller Materialien | Aussetzen von Materialvorstufen gegenüber spezifischen thermischen Gradienten zur Induzierung gewünschter Phasenänderungen. | Reproduzierbare Herstellung fortschrittlicher Materialien mit maßgeschneiderten physikalischen Eigenschaften. |
| Halbleiter-Dotierung | Diffusion von Dotierstoffen in Halbleiter-Wafer unter Hochtemperatur-Atmosphärenkontrolle. | Präzise 30-Segment-Programmierung ermöglicht exakte Kontrolle der Eindringtiefe. |
| Keramiksintern | Hochtemperatur-Verfestigung fortschrittlicher Keramikpulver zu festen Bauteilen. | Schnelle Aufheizraten von bis zu 10 °C/min optimieren die Verarbeitungszeit für hochdichte Keramiken. |
Technische Spezifikationen
| Parameter | TU-74-50 | TU-74-60 | TU-74-80 |
|---|---|---|---|
| Rohraußendurchmesser | 50 mm | 60 mm | 80 mm |
| Rohrinnendurchmesser | 44 mm | 54 mm | 74 mm |
| Rohrlänge | 1200 mm | 1200 mm | 1200 mm |
| Max. Temperatur Zone 1 | 1500 °C (SiC-Elemente) | 1500 °C (SiC-Elemente) | 1500 °C (SiC-Elemente) |
| Max. Temperatur Zone 2 | 1700 °C (MoSi2-Elemente) | 1700 °C (MoSi2-Elemente) | 1700 °C (MoSi2-Elemente) |
| Länge der Heizzone | 12" + 12" (300 mm + 300 mm) | 12" + 12" (300 mm + 300 mm) | 12" + 12" (300 mm + 300 mm) |
| Konstante Temperaturzone | 14" (350 mm) innerhalb ±1 °C | 14" (350 mm) innerhalb ±1 °C | 14" (350 mm) innerhalb ±1 °C |
| Aufheizrate | Max. 10 °C/min | Max. 10 °C/min | Max. 10 °C/min |
| Thermoelemente | S-Typ (Zone 1) / B-Typ (Zone 2) | S-Typ (Zone 1) / B-Typ (Zone 2) | S-Typ (Zone 1) / B-Typ (Zone 2) |
| Regelgenauigkeit | ±1 °C | ±1 °C | ±1 °C |
| Gesamtleistung | 9 KW | 9 KW | 9 KW |
| Spannung | 220-240V Einphasig | 220-240V Einphasig | 220-240V Einphasig |
| Gesamtabmessungen | 780 x 450 x 720 mm | 780 x 450 x 720 mm | 780 x 450 x 720 mm |
| Konformität | CE-zertifiziert | CE-zertifiziert | CE-zertifiziert |
| Vakuumgrenze | < 0,02 MPa (Sicher bis 1500 °C) | < 0,02 MPa (Sicher bis 1500 °C) | < 0,02 MPa (Sicher bis 1500 °C) |
Warum den 1700 °C Hochtemperatur-Zweizonen-Rohrofen wählen?
- Überlegene Technik und Materialqualität: Durch die Kombination von SiC- und MoSi2-Heizelementen ist dieses System auf Langlebigkeit und präzise Leistung ausgelegt, die herkömmliche Öfen nicht erreichen können.
- Branchenführende Steuerung thermischer Gradienten: Die unabhängige 30-Segment-PID-Steuerung für jede Zone ermöglicht es Forschern, komplexe thermische Profile mit unübertroffener Wiederholbarkeit und Genauigkeit auszuführen.
- Umfassende Sicherheit und Konformität: Mit CE-Zertifizierung und integriertem Übertemperaturschutz erfüllt dieses Gerät die strengen Sicherheitsanforderungen moderner Industrie- und akademischer Labore.
- Flexible und skalierbare Konfiguration: Von anpassbaren Rohrgrößen bis hin zu optionaler drahtloser Fernsteuerung und LabVIEW-Integration kann dieses System an die spezifischen Durchsatz- und Datenaufzeichnungsanforderungen Ihrer Einrichtung angepasst werden.
- Bewährte Zuverlässigkeit in der modernen F&E: Dieses Gerät ist ein Standard in der High-End-Materialsynthese und wird von führenden Institutionen für seine Fähigkeit geschätzt, stabile Vakuum- und Temperaturumgebungen aufrechtzuerhalten.
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