Doppelzone Quarzrohrofen mit 80 mm Durchmesser, 1200°C Maximaltemperatur, 3-Kanal-Gasmischer und Vakuumpumpensystem

Produktübersicht

Dieser leistungsstarke geteilte Doppelzonen-Rohrofen stellt eine vielseitige Lösung für fortschrittliche materialwissenschaftliche Forschung und industrielle Forschung & Entwicklung dar. Durch die Integration eines mehrkanaligen Gasfördersystems mit Hochvakuumfähigkeit bietet dieses System die kontrollierte Umgebung, die für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), chemischen Gastransport (CVT) und verschiedene Hochtemperaturglühprozesse erforderlich ist. Die Anlage wurde für Forscher entwickelt, die absolute Kontrolle über thermische Gradienten und atmosphärische Zusammensetzung benötigen, und gewährleistet wiederholbare Ergebnisse bei der Entwicklung von Werkstoffen der nächsten Generation wie Übergangsmetalldichalkogenide und Dünnfilmhalbleiter.

Der Kernvorteil dieser Einheit liegt in ihrer Doppelzonen-Architektur, die die Erstellung präziser Temperaturgradienten über ein hochreines Quarzrohr ermöglicht. Diese Funktionalität ist für Prozesse unerlässlich, bei denen Präsubstimation und Substratabscheidung bei unterschiedlichen, unabhängig voneinander gesteuerten Temperaturen stattfinden müssen. Zielbranchen sind Halbleiterfertigung, Nanotechnologieforschung und fortschrittliche Metallurgie. Das Design des geteilten Ofens ermöglicht schnelles Abkühlen und einfachen Zugang zur Prozesskammer, was die Stillstandszeiten zwischen Versuchsreihen deutlich reduziert und den Durchsatz in ausgelasteten Laborumgebungen erhöht.

Zuverlässigkeit ist in jede Komponente dieses Wärmebehandlungssystems integriert. Von der doppelwandigen Stahlgehäuse mit integrierter Lüfterkühlung bis zu den präzisen PID-Reglern ist die Anlage für den Dauerbetrieb unter anspruchsvollen Bedingungen ausgelegt. Die Integration eines korrosionsbeständigen Vakuummessers gewährleistet, dass das System auch bei der Arbeit mit aggressiven Gasen eine genaue Drucküberwachung ohne Sensorverschleiß beibehält. Diese Einheit bietet die robuste Leistung und Sicherheitskonformität, die für moderne Laborumgebungen erforderlich sind, und gibt Anwendern die Sicherheit, komplexe Temperaturprofile mit minimaler Überwachung durchzuführen.

Hauptmerkmale

• Unabhängige Doppelzonenheizung: Der Ofen verfügt über zwei separate Heizzonen mit einer Länge von jeweils 200 mm, die eine Gesamtheizfläche von 400 mm bieten. Dies ermöglicht die Erstellung präziser Temperaturgradienten oder einer großen Konstanttemperaturzone von bis zu 250 mm bei Synchronisation beider Zonen und bietet beispiellose Flexibilität für den chemischen Gastransport (CVT).
• Präzise PID-Temperatursteuerung: Ausgestattet mit zwei fortschrittlichen PID-Reglern bietet das System 30 programmierbare Segmente für die sorgfältige Steuerung von Heizraten, Kühlraten und Haltezeiten. Die Genauigkeit liegt innerhalb von ±1°C, was eine hohe Prozessstabilität für empfindliches Materialwachstum gewährleistet.
• Integrierte 3-Kanal-Gasmischstation: Es ist ein professionelles Gasfördersystem mit drei unabhängigen Durchflussmessern und einem Mischbehälter integriert. Dies ermöglicht die präzise Mischung verschiedener Prozessgase und ermöglicht komplexe CVD-Reaktionen sowie Atmosphärensteuerung innerhalb der Quarzreaktionskammer.
• Leistungsstarke Vakuumintegration: Das System umfasst eine leistungsstarke zweistufige Drehschiebervakuumpumpe mit 156 l/min, die Vakuumwerte bis zu 10^-2 Torr erreichen kann. Das Vakuumsystem ist mit hochwertigen KF25-Edelstahlflanschen und Ventilen gesichert, um langfristige Vakuumintegrität und Leckraten unter 5 mTorr/min zu gewährleisten.
• Korrosionsbeständiges Pirani-Kapazitätsmessgerät: Im Gegensatz zu Standardmessgeräten verwendet diese Einheit ein keramikbeschichtetes Kapazitätsdiaphragmamesser. Dieser spezielle Sensor ist korrosionsbeständig gegenüber aggressiven chemischen Präsubstanzen ausgelegt und liefert zuverlässige Vakuummessungen von 10^-5 bis 1000 Torr in anspruchsvollen Prozessumgebungen.
• Fortschrittliche Sicherheit und Kühlung: Das doppelwandige Stahlgehäuse verfügt über ein automatisches Luftkühlsystem. Integrierte Thermostate aktivieren interne Lüfter, wenn die Gehäusetemperatur 55°C überschreitet, wodurch die Außenseite berührungssicher bleibt und interne elektronische Komponenten vor Hitzebelastung geschützt werden.
• Hochreine Quarz-Prozesskammer: Das System verwendet ein hochreines geschmolzenes Quarzrohr mit 80 mm Außendurchmesser. Dieses Material bietet außergewöhnliche Temperaturwechselbeständigkeit und chemische Inertheit und bietet eine transparente Umgebung, die die visuelle Überwachung von Proben und Präsubstanzen während der Wärmebehandlung ermöglicht.
• Automatisierung und Konnektivität: Ein integrierter RS485-Kommunikationsport ermöglicht externe Datenprotokollierung. Das System ist zudem mit LabView-basierter Software kompatibel und ermöglicht Fernbetrieb und Rezeptverwaltung über einen PC für hochautomatisierte Forschungsabläufe.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Warum Sie uns wählen sollten

• Überlegene thermische Vielseitigkeit: Die Doppelzonenkonfiguration dieses Systems bietet Forschern die unverzichtbare Fähigkeit, präzise Temperaturgradienten zu erzeugen – eine Voraussetzung für chemischen Gastransport und hochwertiges Kristallwachstum, die Einzonenöfen nicht bieten können.
• Industrielle Vakuumzuverlässigkeit: Durch die serienmäßige Integration eines korrosionsbeständigen Kapazitätsdiaphragmamessers gewährleistet dieser Ofen Langlebigkeit und Genauigkeit beim Umgang mit aggressiven Gasen und schützt Ihre Investition vor Sensorausfällen, die bei günstigeren Systemen häufig auftreten.
• Präzise Atmosphärensteuerung: Der integrierte 3-Kanal-Gasmischer und die Vakuumpumpe bieten eine vollständige schlüsselfertige Lösung für die CVD-Forschung, wodurch die Notwendigkeit von Fremdkomponenten entfällt und perfekte Kompatibilität zwischen Gasförderung und Wärmebehandlung gewährleistet wird.
• Nachgewiesene Sicherheit und Zertifizierung: Mit CE-Zertifizierung und der Verwendung von UL/MET/CSA-zertifizierten elektrischen Komponenten erfüllt diese Anlage die strengen Sicherheitsstandards, die von führenden akademischen und industriellen Labors weltweit gefordert werden.
• Robuste Konstruktion und Support: Hergestellt mit einer doppelschichtigen luftgekühlten Hülle und hocheffizienten Mo-dotierten Legierungselementen ist die Einheit für jahrelangen gleichmäßigen Betrieb ausgelegt. Wir bieten umfassenden technischen Support und Anpassungsoptionen, um Ihre spezifischen Forschungsanforderungen zu erfüllen.

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