Zwei-Zonen-Rohrofen mit Doppelabdeckung für Hochtemperatur-CVD und Vakuumglühen

Röhrenofen

Zwei-Zonen-Rohrofen mit Doppelabdeckung für Hochtemperatur-CVD und Vakuumglühen

Artikelnummer: TU-GS08

Maximale Temperatur: 1200°C Heizelement: Schwedischer Kanthal A1 Widerstandsdraht Temperaturregelgenauigkeit: ±1°C
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Produktübersicht

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Dieser leistungsstarke Zwei-Zonen-Rohrofen wurde entwickelt, um den strengen Anforderungen der Materialforschung und industriellen Produktion gerecht zu werden. Durch die Kombination von zwei unabhängigen Heizzonen in einer einzigen, schlanken Einheit bietet dieses System Forschern die Flexibilität, komplexe thermische Gradienten zu erzeugen oder hochstabile Temperaturprofile über eine längere Heizlänge aufrechtzuerhalten. Das Doppelabdeckungs-Design verbessert die Zugänglichkeit bei gleichzeitiger Optimierung des Wärmemanagements, was das Gerät zu einem unverzichtbaren Werkzeug für anspruchsvolle Wärmebehandlungen macht, bei denen Präzision und Konsistenz von größter Bedeutung sind.

Das auf Vielseitigkeit ausgelegte Gerät zeichnet sich bei Hochtemperatursintern, Prozessen unter reduzierender Atmosphäre und der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) aus. Es wird in der Luft- und Raumfahrt, der Halbleiterindustrie und der modernen Keramikindustrie häufig für Vakuumglühen und Tests unter kontrollierter Atmosphäre eingesetzt. Die robuste Konstruktion und die integrierten Sicherheitsfunktionen gewährleisten, dass das Gerät unter Dauerbetriebsbedingungen zuverlässig arbeitet und dem Laborpersonal das Vertrauen gibt, lang andauernde Experimente ohne ständige Überwachung durchzuführen.

Dieses System wurde mit Fokus auf Langlebigkeit und Leistung entwickelt und enthält erstklassige Heizelemente sowie fortschrittliche Isoliermaterialien. Die Integration von hochwertigen Widerstandsdrähten und vakuumgeformten Aluminiumoxidfasern sorgt für schnelle Aufheizraten und außergewöhnliche Energieeffizienz. Ob für die Grundlagenforschung an Universitäten oder die anspruchsvolle Materialentwicklung in Industrielaboren – dieses Gerät liefert die thermische Stabilität und Atmosphärenkontrolle, die für die empfindlichsten technischen Prozesse erforderlich sind.

Hauptmerkmale

  • Erstklassige schwedische Kanthal A1-Heizelemente: Das Gerät verwendet importierten Kanthal A1-Widerstandsdraht, der Oberflächentemperaturen von bis zu 1420 °C erreichen kann. Diese Elemente wurden aufgrund ihres ausgewogenen Widerstands und ihres schlackefreien Betriebs ausgewählt, was eine saubere thermische Umgebung und eine Lebensdauer gewährleistet, die die von Standard-Legierungsdrähten deutlich übertrifft.
  • Fortschrittliche Zwei-Zonen-Steuerung: Mit zwei unabhängigen Temperaturzonen ermöglicht das System die Erzeugung präziser thermischer Gradienten. Dies ist entscheidend für Prozesse wie den physikalischen Dampftransport oder komplexe CVD-Anwendungen, bei denen die Verdampfung von Vorläufermaterialien und die Substratabscheidung unterschiedliche, gleichzeitige Temperaturen erfordern.
  • Hochreine Aluminiumoxidfaser-Kammer: Die Ofenkammer besteht aus hochwertiger polykristalliner Aluminiumoxidfaser, die auf Basis fortschrittlicher japanischer Technologie durch Vakuumansaugung und Filterformung hergestellt wurde. Dies führt zu einer geringen thermischen Masse, hoher Isolationseffizienz und überlegener Beständigkeit gegen thermische Schocks.
  • Anspruchsvolle PID-Temperaturregelung: Ausgestattet mit einem intelligenten 30-Segment-PID-Regler hält das System eine Regelgenauigkeit von ±1 °C aufrecht. Es verfügt über einen Übertemperaturschutz, Warnmeldungen bei Thermoelementausfall und eine Stromausfall-Wiederherstellungsfunktion, die das Programm ab dem Punkt der Unterbrechung fortsetzt.
  • Doppelmantel-Zwangsluftkühlung: Um die Sicherheit des Bedieners und die strukturelle Langlebigkeit zu gewährleisten, verfügt der Ofen über eine Doppelmantelkonstruktion. Ein integrierter Kühlventilator lässt Luft zwischen der inneren und äußeren Schicht zirkulieren, wodurch die äußere Oberflächentemperatur selbst bei Betrieb mit maximaler Temperatur unter 45 °C gehalten wird.
  • Umfassende Sicherheitsverriegelungen: Das Gerät enthält ein automatisches Schutzsystem bei geöffneter Abdeckung. Wenn der Ofendeckel während des Betriebs geöffnet wird, unterbricht ein Relais sofort die Hauptstromversorgung, um den Benutzer vor elektrischen Gefahren und hoher Hitzeeinwirkung zu schützen.
  • Digitale Kommunikation und Überwachung: Standard-RS485-Schnittstellen ermöglichen den direkten Anschluss des Geräts an einen Computer. Benutzer können Parameter steuern, Echtzeit-PV- (Prozesswert) und SV-Kurven (Sollwert) anzeigen und Temperaturdaten für historische Analysen und Qualitätssicherungsberichte protokollieren.
  • Vakuum- und Atmosphärenvielfalt: Das Gerät ist so konzipiert, dass es mit verschiedenen Gasversorgungs- und Vakuumsystemen verbunden werden kann. Von einfachem Spülen mit Inertgas bis hin zu Hochvakuumumgebungen, die 10⁻³ Pa erreichen, erfüllt das System vielfältige atmosphärische Anforderungen für die Verarbeitung empfindlicher Materialien.

Anwendungen

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
CVD / PECVD Wachstum von Dünnschichten und Nanostrukturen durch chemische Gasphasenabscheidung bei kontrollierten Temperaturen. Präzise Gradientensteuerung für gleichmäßige Schichtdicke und Qualität.
Vakuumglühen Abbau innerer Spannungen in Metalllegierungen und Halbleiter-Wafern unter Hochvakuum. Verhindert Oxidation und gewährleistet hochreine Materialeigenschaften.
Atmosphärensinterung Sintern von moderner Keramik und pulvermetallurgischen Teilen in reduzierenden oder inerten Atmosphären. Überlegene thermische Gleichmäßigkeit führt zu konsistenter Produktdichte.
Batteriematerial-F&E Thermische Verarbeitung von Anoden- und Kathodenmaterialien für Energiespeicher der nächsten Generation. Zuverlässige Zyklen und Datenprotokollierung für wiederholbare experimentelle Ergebnisse.
Kalzinierung Erhitzen von Erzen oder chemischen Verbindungen zur thermischen Zersetzung. Energieeffizienter Betrieb mit schnellen Heiz- und Kühlzyklen.
Tests unter reduzierender Atmosphäre Verarbeitung von Materialien in Wasserstoff- oder Kohlenmonoxidumgebungen zur Untersuchung von Oxidationszuständen. Gasdichte Rohrdichtungen und integrierte Durchflussregelung gewährleisten sicheren Betrieb.

Technische Spezifikationen

Parameter TU-GS08-I TU-GS08-II TU-GS08-III TU-GS08-IV
Rohraußendurchmesser (mm) Dia 60 Dia 80 Dia 100 Dia 120
Rohrlänge (mm) 1460 1460 1460 1460
Stromverbrauch 2,5 KW 2,5 KW 4,0 KW 4,0 KW
Außenabmessungen (mm) 1500x490x600 1500x490x600 1500x490x600 1500x490x600
Versorgungsspannung 220V 220V 220V 220V
Heizelement Schwedisches Kanthal A1 Schwedisches Kanthal A1 Schwedisches Kanthal A1 Schwedisches Kanthal A1
Max. Temperatur 1200°C 1200°C 1200°C 1200°C
Nenntemperatur 1100°C 1100°C 1100°C 1100°C
Heizzonenlänge 205mm + 205mm 205mm + 205mm 205mm + 205mm 205mm + 205mm
Konstanttemperaturlänge 80mm + 80mm 80mm + 80mm 80mm + 80mm 80mm + 80mm
Heizrate ≤100°C / min ≤100°C / min ≤100°C / min ≤100°C / min
Regelgenauigkeit ±1°C ±1°C ±1°C ±1°C
Thermoelementtyp K-Typ K-Typ K-Typ K-Typ
Vakuumfähigkeit Optional (10Pa bis 10⁻³ Pa) Optional (10Pa bis 10⁻³ Pa) Optional (10Pa bis 10⁻³ Pa) Optional (10Pa bis 10⁻³ Pa)
Elektrische Komponenten Chint / Semikron Chint / Semikron Chint / Semikron Chint / Semikron

Warum Sie sich für diesen Ofen entscheiden sollten

  • Unübertroffene Thermotechnik: Durch die Verwendung von schwedischem Kanthal A1-Draht und einer von japanischer Technologie inspirierten Kammergeometrie bietet dieses System eine thermische Stabilität, die Standard-Laboröfen deutlich überlegen ist. Der ausgewogene Widerstand sorgt für ein gleichmäßiges Temperaturfeld, was für hochpräzise Forschung entscheidend ist.
  • Nachgewiesene langfristige Zuverlässigkeit: Die Wahl hochwertiger Komponenten, wie Semikron-Thyristoren und vakuumgeformte Aluminiumoxidfasern, stellt sicher, dass das Gerät den Belastungen des Hochtemperaturbetriebs über viele Jahre hinweg standhält.
  • Vielseitige Erweiterungsoptionen: Dieses Gerät kann mit verschiedenen Vakuumsystemen (von einstufigen Pumpen bis hin zu Hochvakuum-Molekulareinheiten) und Gasversorgungssystemen (Massendurchflussregler, Bubbler oder Verdampfer) angepasst werden, um spezifische Prozessanforderungen zu erfüllen.
  • Erhöhte Bedienersicherheit: Mit integrierten Leckageschutzvorrichtungen, Abschaltung bei geöffneter Abdeckung und Doppelmantelkühlung erfüllt dieses System die höchsten Sicherheitsstandards, die für moderne Industrie- und akademische Labore erforderlich sind.
  • Datengesteuerte Kontrolle: Die Möglichkeit, den Ofen über einen Computer zu überwachen und zu steuern, kombiniert mit detaillierter Kurvendarstellung und Datenspeicherung, liefert die notwendige Dokumentation für streng kontrollierte F&E- und Qualitätsaudit-Umgebungen.

Dieses System stellt eine erstklassige Investition in thermische Verarbeitungstechnologie dar und kombiniert Präzision, Sicherheit und Langlebigkeit, um Ihre wichtigsten Forschungs- und Produktionsziele zu unterstützen. Kontaktieren Sie uns noch heute für eine technische Beratung oder ein individuelles Angebot für Ihre spezifischen Laboranforderungen.

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