Röhrenofen
Hochtemperatur-Zweizonen-Klapprohrofen für fortschrittliches Atmosphärensintern und Vakuum-CVD-Anwendungen
Artikelnummer: TU-GS15
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Produktübersicht
Dieses Hochleistungs-Thermalsystem setzt Maßstäbe in der Labor-Wärmebehandlungstechnologie und wurde speziell für die fortgeschrittene Materialforschung sowie industrielle F&E entwickelt. Durch die Nutzung einer Zweizonen-Heizkonfiguration innerhalb einer klappbaren Architektur ermöglicht das Gerät präzise Temperaturprofile und schnelles Abkühlen, was es zu einem unverzichtbaren Hilfsmittel für Hochtemperatur-Atmosphärensintern, CVD-Experimente und Vakuumglühen macht. Der Kernvorteil liegt in der Fähigkeit, ein außergewöhnlich gleichmäßiges Temperaturfeld aufrechtzuerhalten und gleichzeitig die Flexibilität einer unabhängigen Steuerung der einzelnen Heizzonen zu bieten.
Das System wurde für anspruchsvolle Laborumgebungen konzipiert und wird häufig in materialwissenschaftlichen Instituten, Luft- und Raumfahrtforschungseinrichtungen sowie Halbleiterentwicklungslaboren eingesetzt. Ob bei komplexer chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) oder einfacher Atmosphärenreduktion – dieses Gerät gewährleistet hohe Reproduzierbarkeit und Präzision. Die doppelwandige Gehäusekonstruktion ermöglicht eine effiziente Luftkühlung, wodurch sichergestellt wird, dass die Außenfläche auch bei extremen Temperaturen im Inneren der Kammer sicher berührbar bleibt, was das Engagement für Leistung und Bedienersicherheit unterstreicht.
Ingenieure und Beschaffungsteams können sich auf die robuste Konstruktion und die hochwertigen thermischen Komponenten dieses Geräts verlassen. Von der importierten japanischen polykristallinen Aluminiumoxidfaser-Isolierung bis hin zu den Siliziumkarbid-Heizelementen (SiC) ist jedes Detail auf Langlebigkeit und Energieeffizienz optimiert. Dieses System bietet eine stabile, steuerbare Umgebung für die Synthese neuer Materialien oder die Durchführung strenger thermischer Belastungstests und stellt sicher, dass Ihre Forschungsergebnisse selbst unter den anspruchsvollsten experimentellen Bedingungen konsistent bleiben.
Hauptmerkmale
- Unabhängige Zweizonen-Steuerung: Dieses System verfügt über zwei getrennte Heizzonen, die jeweils mit einem eigenen Regler und Thermoelement ausgestattet sind, wodurch Benutzer spezifische thermische Gradienten erzeugen oder einen langen, gleichmäßigen Bereich konstanter Temperatur aufrechterhalten können.
- Präzises PID-Temperaturmanagement: Mit einem fortschrittlichen 40-Segment-Digitalregler bietet das Gerät professionelle Genauigkeit mit 6 PID-Parametern, die speziell auf niedrige, mittlere und hohe Temperaturbereiche abgestimmt sind, um ein Überschwingen zu verhindern.
- Hervorragende Wärmedämmung: Die Kammer besteht aus hochreiner polykristalliner Aluminiumoxidfaser, die eine exzellente Wärmespeicherung, hohe Reflexionsfähigkeit sowie Beständigkeit gegen thermische Ausdehnung und Kontraktion bietet, was den Energieverbrauch erheblich senkt.
- Hochleistungs-SiC-Heizelemente: Siliziumkarbid-Elemente sind strategisch positioniert, um ein gleichmäßiges Temperaturfeld und eine lange Betriebsdauer zu gewährleisten, selbst bei häufigen Hochtemperatur-Zyklen.
- Integrierte Sicherheitsschutzsysteme: Das Gerät ist mit einem Endschalter ausgestattet, der beim Öffnen des Deckels automatisch die Stromzufuhr unterbricht, sowie mit Übertemperatur- und Überstromschutz für einen ausfallsicheren Betrieb.
- Vakuum- und Atmosphären-Vielseitigkeit: Ausgestattet mit Edelstahl-Doppelring-Dichtflanschen kann der Ofen in Verbindung mit einer Molekularpumpe Vakuumniveaus von bis zu 10⁻⁴ Pa erreichen und unterstützt verschiedene Gasstromkonfigurationen für die kontrollierte Atmosphärenverarbeitung.
- Klappbares Kammerdesign mit hydraulischer Unterstützung: Der klappbare Ofenkörper lässt sich leicht mit einem hydraulischen Heber öffnen, was ein schnelles Abkühlen des Rohrs oder einen bequemen Zugang für Probenplatzierung und Wartung ermöglicht.
- Erweiterte Datenkommunikation: Eine integrierte 485-Kommunikationsschnittstelle ermöglicht den Anschluss des Geräts an einen Computer zur Echtzeitüberwachung, Datenprotokollierung und Erstellung von Heizkurven über eine dedizierte Software.
- Zuverlässige Leistungselektronik: Gebaut mit Premium-Komponenten, einschließlich in Deutschland entwickelter Thyristor-Leistungssteller und Phasenanschnittsteuerungen, sorgt das System für eine stabile Stromversorgung und schützt die Heizelemente vor elektrischen Spannungsspitzen.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) | Wachstum von Dünnschichten und Nanomaterialien durch Reaktion gasförmiger Vorläufer im beheizten Rohr. | Präzise Zonensteuerung sorgt für gleichmäßige Schichtdicke. |
| Pyrolyse-Forschung | Thermische Zersetzung organischer Materialien wie Altreifen oder Biomasse in einer Inertatmosphäre. | Zwei Zonen verhindern lokale Karbonisierung und optimieren die Öl-/Gasausbeute. |
| Atmosphärensintern | Sintern von Keramik- oder Metallpulvern unter reduzierenden oder inerten Gasen zur Vermeidung von Oxidation. | Zuverlässige Flanschabdichtung erhält hohe Atmosphärenreinheit. |
| Vakuumglühen | Spannungsarmglühen von Metallkomponenten oder Wafern in einer Niederdruckumgebung. | Hohe Vakuumkapazität verhindert Oberflächenkontamination. |
| Katalysatortests | Bewertung der Effizienz von katalytischen Materialien unter spezifischen Temperaturgradienten. | Unabhängige Zonen ermöglichen verschiedene Reaktionsstufen in einem Durchgang. |
| Keramik-Co-Firing | Gleichzeitiges Brennen von mehrschichtigen Keramikkomponenten, die komplexe Rampen-/Haltezyklen erfordern. | 40-Segment-Programmierung ermöglicht komplexe thermische Profile. |
| Halbleiter-Dotierung | Diffusion von Dotierstoffen in Halbleiterwafer bei hohen Temperaturen. | Exzellente Temperaturgleichmäßigkeit innerhalb des Prozessrohrs. |
Technische Spezifikationen
| Parameter | TU-GS15-I | TU-GS15-II | TU-GS15-III |
|---|---|---|---|
| Rohraußendurchmesser | 60 mm | 80 mm | 100 mm |
| Rohrlänge | 1000 mm | 1000 mm | 1000 mm |
| Max. Betriebstemp. | 1400°C | 1400°C | 1400°C |
| Dauerbetriebstemp. | 1350°C | 1350°C | 1350°C |
| Heizzonen | 2 Zonen (je 260 mm) | 2 Zonen (je 260 mm) | 2 Zonen (je 260 mm) |
| Konstanttemperaturlänge | 100 mm pro Zone | 100 mm pro Zone | 100 mm pro Zone |
| Aufheizrate | ≤30°C / min | ≤30°C / min | ≤30°C / min |
| Temperaturgenauigkeit | +/- 1°C | +/- 1°C | +/- 1°C |
| Thermoelement-Typ | Typ S | Typ S | Typ S |
| Heizelement | Siliziumkarbid (SiC) | Siliziumkarbid (SiC) | Siliziumkarbid (SiC) |
| Temperaturregler | Shimaden FP93 (40 Segmente) | Shimaden FP93 (40 Segmente) | Shimaden FP93 (40 Segmente) |
| Rohrmaterial | Aluminiumoxid-Keramik | Aluminiumoxid-Keramik | Aluminiumoxid-Keramik |
| Kammermaterial | Polykristalline 98% Aluminiumoxidfaser | Polykristalline 98% Aluminiumoxidfaser | Polykristalline 98% Aluminiumoxidfaser |
| Auslöser | Phasenanschnittsteuerung | Phasenanschnittsteuerung | Phasenanschnittsteuerung |
| Gesamtabmessungen | 1420 x 490 x 855 mm | 1420 x 490 x 855 mm | 1420 x 490 x 855 mm |
| Vakuumniveau | 10⁻¹ bis 10⁻⁴ Pa (abhängig von der Pumpe) | 10⁻¹ bis 10⁻⁴ Pa (abhängig von der Pumpe) | 10⁻¹ bis 10⁻⁴ Pa (abhängig von der Pumpe) |
Warum diesen Ofen wählen?
- Unübertroffene thermische Präzision: Die Zweizonen-Konfiguration in Kombination mit importierten japanischen PID-Reglern bietet erstklassige Stabilität und Genauigkeit für empfindliche Materialsynthesen.
- Industrielle Langlebigkeit: Gebaut mit SiC-Elementen und hochdichter Aluminiumoxidfaser ist dieses Gerät für den Dauerbetrieb in industriellen Hochdurchsatz- und akademischen Laboren ausgelegt.
- Fortgeschrittenes Sicherheitsprotokoll: Von mechanischen Endschaltern bis hin zum elektronischen Leckageschutz ist das Gerät so konstruiert, dass Benutzer und Ihre Einrichtung vor betrieblichen Gefahren geschützt sind.
- Anpassbare Atmosphärenkontrolle: Die Einbeziehung von Hochvakuumflanschen und optionalen digitalen Durchflussmessern ermöglicht eine hochgradig maßgeschneiderte Umgebung, egal ob Sie mit Wasserstoff, Argon oder unter Vakuum arbeiten.
- Fachkundige technische Unterstützung: Wir bieten umfassende Dokumentation, Steuerungssoftware und technische Unterstützung, um sicherzustellen, dass sich diese Investition nahtlos in Ihren Arbeitsablauf integriert.
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