Großer vertikaler Dreizonen-Rohrofen mit 8-Zoll- oder 11-Zoll-Quarzrohr und Hochvakuumflanschen 1200°C

Röhrenofen

Großer vertikaler Dreizonen-Rohrofen mit 8-Zoll- oder 11-Zoll-Quarzrohr und Hochvakuumflanschen 1200°C

Artikelnummer: TU-C16

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Dieses großvolumige Wärmebehandlungssystem ist für fortschrittliche Materialforschung und industrielle Entwicklung konzipiert, die große Probenkammern und präzise Atmosphärenkontrolle erfordern. Als vertikale Einheit mit drei beheizten Zonen bietet es einen einzigartigen baulichen Vorteil für Prozesse, die durch Gravitation oder Konvektion beeinflusst werden, wie das vertikale Bridgman-Verfahren oder spezialisiertes Sintern. Die Anlage nimmt außerordentlich große Quarzrohre mit einem Außendurchmesser von bis zu 11 Zoll auf und ermöglicht die Verarbeitung großer Chargen oder großformatiger Komponenten, die kleinere Laboröfen nicht bewältigen können. Dieses System stellt eine wichtige Schnittstelle zwischen Tischversuchen und der großtechnischen Industrieproduktion dar und bietet die Flexibilität mehrerer Heizzonen und extreme Vakuumkompatibilität.

Konzipiert für anspruchsvolle F&E-Umgebungen zeichnet sich das System durch hohe Temperaturstabilität und hervorragende thermische Gleichmigkeit über eine Heizlänge von 1000 mm aus. Durch die Verwendung von drei unabhängig geregelten Heizsegmenten können Forschende präzise Temperaturgradienten erzeugen oder eine außerordentlich lange Konstante Temperaturzone für gleichmäßige Diffusion und Glühung aufrechterhalten. Der robuste Aluminiumrahmen mit industriellen Lenkrollen sorgt dafür, dass das Gerät trotz seiner hohen Kapazität und Leistungsfähigkeit mobil und anpassungsfähig in einem Labor oder Reinraum einsetzbar ist. Es ist die bevorzugte Wahl für Einrichtungen, die im Bereich fortschrittlicher Keramik, Halbleiterwafer und metallurgische Phasenumwandlungsstudien tätig sind.

Vertrauen in dieses Gerät gründet auf seiner robusten Konstruktion und entwicklungsorientierten Designphilosophie. Mit einem teilbaren Ofenkörper und hochwertiger faseriger Aluminiumoxid-Isolierung verbindet das System schnelle Heiz- und Kühlzyklen mit Energieeffizienz und sicheren Außentemperaturen. Die Integration von präzisionsgefertigten Edelstahl-Vakuumflanschen und zuverlässigen SiC-Heizelementen stellt sicher, dass dieser Ofen auch unter anspruchsvollen Betriebszyklen konstant funktioniert. Ob im Hochvakuum oder unter Schutzatmosphäre – dieses Gerät bietet die kontrollierte Umgebung, die für wiederholbare, hochgenaue Ergebnisse in anspruchsvollen materialwissenschaftlichen Anwendungen erforderlich ist.

Haupteigenschaften

  • Vertikale geteilte Rohrarchitektur: Der Ofen zeichnet sich durch eine einzigartige vertikale Ausrichtung mit einer teilbaren Heizkammer aus, die das einfache Be- und Entladen großer Quarzrohre und empfindlicher Proben ermöglicht und gleichzeitig den Platz in der F&E-Einrichtung optimiert.
  • Unabhängige Dreizonen-Temperaturregelung: Ausgestattet mit drei getrennten Heizzonen, die jeweils über einen eigenen programmierbaren PID-Regler gesteuert werden, ermöglicht die Erstellung komplexer Temperaturprofile oder einer extrem stabilen zentralen Konstanttemperaturzone von über 330 mm.
  • Kompatibilität für großvolumige Quarzrohre: Dieses System ist speziell für die Aufnahme von Quarzrohren mit 8-Zoll- oder 11-Zoll-Außendurchmesser ausgelegt und bietet eines der größten Verarbeitungsvolumina im Bereich der vertikalen Rohröfen.
  • Industrielle Vakuumdichtung: Lieferung umfasst ein Paar klappbarer Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit hochtemperaturbeständigen Silikon-O-Ringen, die mit Standardmechanikpumpen Vakuumniveaus bis zu 10^-2 Torr erreichen können.
  • Fortschrittliche SiC-Heizelemente: Die Heizkammer wird von insgesamt 36 leistungsstarken Siliziumkarbid-(SiC)-Elementen gespeist, die strategisch positioniert sind, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung und schnelle thermische Reaktion bis zu 1200°C zu gewährleisten.
  • Thermische Effizienz und Sicherheit: Der doppelwandige Stahlgehäuse verwendet Luftkühlungstechnologie, die sicherstellt, dass die Außentemperatur auch bei Spitzenbetrieb unter 70°C bleibt, um Personal und umliegende Geräte zu schützen.
  • Präzise Mehrsegmentregler: Mit integrierten Eurotherm-Reglern mit 8 oder 24 einzelnen Segmenten bietet das System digitale Kommunikation (RS485) und Softwareintegration für Echtzeit-Überwachung und Datenprotokollierung per PC.
  • Hochreine Isolierauskleidung: Der Innenraum ist mit hochwertiger faseriger Aluminiumoxid-Isolierung ausgekleidet, die Wärmeverluste minimiert, Temperaturgradienten verbessert und die maximale Energieeffizienz des 30KW-Heizsystems gewährleistet.
  • Umfassende Messanschlüsse: Der rechte Flansch ist mit einem KF40-Vakuumanschluss und einem dedizierten 1/4"-Thermoelement-Einschubanschluss ausgestattet, der eine direkte Temperaturkalibrierung im Rohr und genaue interne Überwachung ermöglicht.
  • Zertifizierte Ingenieurstandards: Das Gerät ist CE-zertifiziert, was die Einhaltung strenger internationaler Sicherheits- und Qualitätsstandards für Labor- und Industrieheizgeräte unterstreicht.

Anwendungsbereiche

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
Halbleiterdiffusion Verarbeitung großdurchmessriger Wafer (bis zu 8 Zoll) für Dotierungsdiffusion und thermische Oxidation. Hervorragende thermische Gleichmigkeit über der Waferoberfläche für gleichbleibende elektronische Eigenschaften.
Sintern von Technischer Keramik Hochtemperaturverfestigung großer Keramikkomponenten oder Chargen kleinerer Teile in vertikaler Ausrichtung. Minimiert strukturelle Verformungen großer Bauteile durch optimierte vertikale Wärmeverteilung.
CVD-/PECVD-Forschung Herstellung von Dünnfilmbeschichtungen für fortschrittliche Elektronik oder Energiespeichermaterialien über Gasphasenreaktionen. Großes Rohrvolumen ermöglicht komplexe Substratanordnungen und einen höheren Durchsatz bei der Schichtabscheidung.
Glühung großer Komponenten Abbau innerer Spannungen in großformatigen Metalllegierungen oder spezialisierten Luft- und Raumfahrtkomponenten. Präzise Kontrolle der Kühlraten verhindert Thermoschock und erhält die Materialintegrität.
Pulvermetallurgie Sintern und Legieren von Metallpulvern zu dichten, hochreinen Komponenten unter Vakuum oder Inertgas. Verhindert Oxidation und Kontamination durch hochdichte Vakuumdichtung und Reinstquarz.
Bridgman-Kristallwachstum Nutzung der Dreizonensteuerung zur Einstellung eines präzisen Temperaturgradienten für gerichtete Erstarrung. Hochauflösende Gradientenkontrolle erleichtert das Wachstum hochwertiger Einkristalle.
Kalzinierung von Batteriematerialien Massenwärmebehandlung von Kathoden- und Anodenmaterialien in einer kontrollierten Atmosphäre. Skalierbare F&E-Kapazität, die industrielle Produktionsparameter für die Materialvalidierung nachbildet.
Phasenübergangsstudien Hochgenaue Temperaturverfolgung von Materialien während physikalischer Zustandsänderungen. Genaue Kalibrierung und PC-Überwachung ermöglichen die Protokollierung kritischer Übergangsdatenpunkte.

Technische Spezifikationen

Parameter Spezifikationsdetails für TU-C16
Artikelnummer TU-C16
Ofenaufbau Vertikaler geteilter Rohrofen mit ~12" durchmessriger Heizkammer
Gehäusedesign Doppelwandiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung; Oberfläche < 70°C
Isolierung Hochwertige faserige Aluminiumoxid-Isolierauskleidung
Montage Aluminiumlegierungsrahmen mit schweren Lenkrollen
Standard-Rohroptionen 8" oder 11" Außendurchmesser Hochreines Quarzrohr (Länge: 1800 mm / 71")
Länge der Heizzone Gesamt: 1000 mm (40"); Drei Zonen: 330 mm + 330 mm + 330 mm
Konstante Temperaturzone 350 mm (+/- 3°C bei synchronisierten drei Zonen)
Heizelemente 36 Stück Siliziumkarbid-(SiC)-Elemente
Max. Arbeitstemperatur 1100°C (dauerhaft); 1200°C (kurzzeitig)
Temperaturgenauigkeit ± 0,1ºC
Temperaturregler 3 x programmierbare PID-Regler (RS485-Kommunikation)
Heiz-/Kühlrate 10°C / Minute (Maximum)
Stromversorgung Dreiphasig, 208V AC oder 380V AC, 50/60 Hz
Max. Leistungsaufnahme 30 KW (erfordert 100A-Sicherung)
Vakuumniveau 10^-2 Torr (Mechanikpumpe); 10^-5 Torr (optionale Turbopumpe)
Flanschtyp Klappbare Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit doppelten Ventilen
Gaseinlässe Linke Seite: Nadelventile + 1/4" Schlauchstutzen; Rechte Seite: KF40-Anschluss
Sicherheitsfunktionen Überlastschutz, Warnungen bei Thermoschock am Rohr, Strahlungsabschirmung
Zertifizierung CE-zertifiziert (NRTL oder NRTL/CSA auf Anfrage erhältlich)

Warum Sie uns wählen sollten

  • Unübertroffenes Verarbeitungsvolumen: Die Möglichkeit, Quarzrohre mit 11-Zoll-Durchmesser zu verwenden, ermöglicht Verarbeitungskapazitäten, die Standard-Laborrohren bei weitem überlegen sind, was diese Einheit ideal für die Hochskalierung von Forschung auf industrielles Niveau macht.
  • Anspruchsvolle thermische Präzision: Unabhängige Dreizonensteuerung ermöglicht ein beispielloses Maß an Temperaturprofilierung und erreicht Gleichmigkeitswerte, die eine gleichbleibende Probenqualität über tiefe Chargen oder große Komponenten hinweg sicherstellen.
  • Robuste Konstruktion für Langlebigkeit: Hergestellt mit hochwertigen SiC-Heizelementen und schwerer Aluminiumoxid-Isolierung ist dieses System gebaut, um jahrelangen Betrieb mit hohen Zyklen in anspruchsvollen industriellen F&E-Umgebungen zu bestehen.
  • Flexible Systemintegration: Die Kombination aus vertikaler Ausrichtung, Hochvakuumfähigkeit und digitalen PC-Schnittstellen erleichtert die Integration dieser Einheit in bestehende Laborabläufe oder komplexe automatisierte Systeme.
  • Sicherheit und Stabilität: Mit gekühlten Außengehäusen und zertifizierten elektronischen Komponenten stellt dieser Ofen die Bedienersicherheit in den Vordergrund und behält gleichzeitig die hohe Leistung, die für spezielle Wärmebehandlungen erforderlich ist.

Für industrielle Beschaffungsteams und Forschende, die ihre Wärmeverarbeitungsfähigkeiten verbessern möchten, bietet dieses vertikale Dreizonensystem die Zuverlässigkeit und Präzision, die für die fortschrittlichsten materialwissenschaftlichen Anwendungen erforderlich sind. Kontaktieren Sie unser technisches Vertriebsteam noch heute für ein detailliertes Angebot oder um kundenspezifische Konfigurationen zu besprechen, die auf Ihre spezifischen Vakuum- und Atmosphärenanforderungen zugeschnitten sind.

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