Dreizonen-Röhrenofen mit 11 Zoll oder 15 Zoll Quarzrohr und Scharnierflanschen für Vakuum-Atmosphären-Wärmebehandlung

Produktübersicht

Dieser leistungsstarke Dreizonen-Spaltrohröfen repräsentiert einen Höhepunkt in der Wärmeprozess-Technik und wurde speziell entwickelt, um den anspruchsvollen Anforderungen der Materialforschung und industriellen F&E gerecht zu werden. Durch die Integration einer großformatigen Quarz-Prozesskammer mit präzisionsgeregelten Heizzonen bietet die Anlage eine stabile und vielseitige Plattform für komplexe Wärmebehandlungen. Der Kernnutzen dieses Systems liegt in seiner Fähigkeit, über eine signifikante Länge eine außergewöhnliche thermische Gleichmäßigkeit aufrechtzuerhalten, was für den Erfolg empfindlicher chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) und Ausheizprozesse entscheidend ist.

Die primären Anwendungsfälle der Einheit erstrecken sich über verschiedene Hochtechnologie-Sektoren, einschließlich Halbleiterfertigung, Energiespeicherforschung und Hochleistungskeramik. Sie ist besonders effektiv für großformatiges Wafer-Ausheilen (bis zu 12 Zoll), Diffusionsprozesse und die Synthese von Massenproben unter streng kontrollierten Vakuum- oder Gasatmosphären. Die Anlage ist für Dauerbetrieb bei Temperaturen bis zu 1100°C ausgelegt und damit ein Standardgerät für Labore, die sich auf stickstoffdotierte Kohlenstoffstrukturordnung oder die Entwicklung von Katalysatoren der nächsten Generation konzentrieren.

Aus robusten Industriekomponenten gefertigt, bietet dieses System eine unübertroffene Zuverlässigkeit für Hochdurchsatzumgebungen. Die Integration motorisierter Deckelantriebe gewährleistet einen sanften, wiederholbaren Zugang zur Heizkammer, reduziert das Risiko mechanischer Stöße für das Quarzrohr und erhöht die Sicherheit des Bedienpersonals. Ob für akademische Materialsynthese oder industrielle Scale-up-Studien eingesetzt, liefert die Einheit konsistente, reproduzierbare Ergebnisse unter den anspruchsvollsten thermischen Zyklen und gibt volle Sicherheit in die Integrität der verarbeiteten Materialien.

Hauptmerkmale

• Präzise Dreizonen-Temperatursteuerung: Dieses System nutzt drei unabhängige programmierbare PID-Regler zur Steuerung separater 300-mm-Heizzonen. Diese Konfiguration ermöglicht die Erzeugung spezifischer Temperaturgradienten oder einer breiten, hochgradig gleichmäßigen Konstanttemperaturzone von bis zu 600 mm und gewährleistet so konsistente Ergebnisse über große Chargen oder lange Substrate hinweg.
• Großformatige Quarz-Prozesskammern: Käufer können zwischen Quarzrohren mit 11 Zoll und 15 Zoll Außendurchmesser wählen. Diese hochreinen Quarzglasrohre bieten ausgezeichnete chemische Beständigkeit und Thermoschockresistenz und ermöglichen eine klare visuelle Überwachung des Probenzustands während Hochtemperaturreaktionen, ohne die Vakuumintegrität zu beeinträchtigen.
• Automatisierter motorisierter Deckelantrieb: Der Ofen verfügt über ein Paar hochdrehmomentstarker motorisierter Aktuatoren, die den Spaltdeckel öffnen und schließen. Diese technische Lösung beseitigt die physische Belastung manueller Bedienung und stellt sicher, dass der schwere Ofendeckel präzise positioniert wird, wodurch die interne Keramikfaserisolierung und das Quarzrohr vor versehentlichen Stößen geschützt werden.
• Fortschrittliche SiC-Heiztechnologie: Ausgestattet mit 42 leistungsstarken Siliziumkarbid (SiC)-Heizelementen erreicht die Einheit schnelle Aufheizraten von bis zu 10°C/min. Diese Elemente sind strategisch positioniert, um eine ausgewogene Strahlungswärme zu liefern, was zur Fähigkeit des Systems beiträgt, für Kurzzeiteinsätze eine Spitzentemperatur von 1200°C zu erreichen.
• Hermetische Scharnierflansche für Atmosphärenkontrolle: Der Ofen ist mit einem Paar Edelstahl-Scharnierflanschen mit Elastomerdichtung ausgestattet. Dieses Design erleichtert das schnelle Be- und Entladen von Proben bei gleichzeitigem Erhalt einer robusten Dichtung für Vakuumwerte bis zu 10^-4 Torr bei Verwendung mit einer Hochleistungsturbopumpe und geeigneten thermischen Blöcken.
• Robuste Sicherheits- und Kühlarchitektur: Ein doppelschichtiges Stahlgehäuse mit integrierter Zwangsluftkühlung stellt sicher, dass die Außenflächentemperatur selbst im Spitzenbetrieb unter 70°C bleibt. Dies schützt Laborpersonal und umgebende Geräte und erhält gleichzeitig die Effizienz der internen feuerfesten faserigen Aluminiumoxid-Wärmedämmung.
• Anpassbare Steuerungsoptionen: Während Standardmodelle mit einer 30-Segment-PID-Steuerung mit ±1°C Genauigkeit ausgestattet sind, kann die Anlage mit Eurotherm-3000-Serie-Reglern aufgerüstet werden. Diese optionalen Einheiten bieten ±0,1°C Präzision und fortschrittliche RS-485-Kommunikationsprotokolle für komplexe Datenprotokollierung und Fernprozessüberwachung in Industrie-4.0-Umgebungen.
• Integrierte Gas- und Vakuumanschlüsse: Die Edelstahlflansche umfassen eine umfassende Reihe von Anschlüssen, einschließlich Nadelventilen, Druckmessgeräten und KF40-Vakuumverbindungen. Dies ermöglicht eine nahtlose Integration mit Gasversorgungssystemen und Vakuumpumpen und erleichtert die In-situ-Temperaturmessung und präzise Atmosphärenmanipulation.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Warum einen Dreizonen-Röhrenofen wählen

• Industriegeprägte thermische Präzision: Die Multizonen-PID-Architektur bietet die granulare Steuerung, die für hochriskante F&E notwendig ist. Durch die unabhängige Einstellung der Vorwärme-, Verarbeitungs- und Abkühlzonen stellt dieses System sicher, dass Ihre Materialsynthese reproduzierbar und wissenschaftlich fundiert bleibt.
• Für hohen Durchsatz konstruiert: Mit einer massiven 11-Zoll- oder 15-Zoll-Prozesskammer geht dieser Ofen über die Grenzen standardmäßiger Laborgeräte hinaus. Er überbrückt die Lücke zwischen Kleinmaßstab-Experimenten und Pilotproduktion und bietet das für die 8-12 Zoll Wafer-Verarbeitung erforderliche Volumen.
• Höchste Bau- und Sicherheitsstandards: Vom motorisierten Deckel, der mechanischen Verschleiß verhindert, bis zum doppelwandigen Kühlsystem, das Ihre Bediener schützt, ist jedes Element auf Langlebigkeit ausgelegt. Die Verwendung hochwertiger feuerfester Aluminiumoxid-Isolierung und hochdichter SiC-Elemente spiegelt ein Bekenntnis zu industrietauglicher Haltbarkeit wider.
• Vielseitige Atmosphärenintegrität: Ob Ihr Prozess hochreines Inertgas oder ein tiefes Vakuum erfordert, die hermetischen Scharnierflansche bieten eine zuverlässige, benutzerfreundliche Lösung. Die Flexibilität, zwischen Vakuum und Atmosphäre zu wechseln, ohne die Hardware zu ändern, macht dies zu einem vielseitigen Werkzeug für jedes Materialforschungslabor.
• Unübertroffene Anpassung und Unterstützung: Wir erkennen an, dass jedes Forschungsprojekt einzigartige Anforderungen hat. Von optionalen Quarz-Waferbooten über aufgerüstete Eurotherm-Steuerungssysteme bis hin zu individuellen Stromkonfigurationen bieten wir die technische Unterstützung, die nötig ist, um dieses System an Ihren spezifischen Arbeitsablauf anzupassen.

Unser Team von Ingenieuren ist bereit, Ihnen bei der Konfiguration der idealen thermischen Lösung für Ihre fortschrittlichen Materialanwendungen zu helfen. Kontaktieren Sie uns noch heute für eine technische Beratung oder ein formelles Angebot.