Röhrenofen
Hochtemperatur-Drei-Zonen-Rohrofen 1700 °C mit Aluminiumoxidrohr und wassergekühlten Flanschen
Artikelnummer: TU-85
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Produktübersicht


Dieser Hochtemperatur-Drei-Zonen-Rohrofen stellt den Höhepunkt der thermischen Verarbeitungstechnologie für Materialwissenschaften sowie industrielle Forschung und Entwicklung dar. Das System wurde für Betriebstemperaturen von bis zu 1700 °C entwickelt und bietet Forschern die Möglichkeit, komplexe Wärmebehandlungen unter streng kontrollierten Atmosphären durchzuführen. Der Kernvorteil liegt in seiner Drei-Zonen-Heizarchitektur, die eine beispiellose Kontrolle über den thermischen Gradienten ermöglicht und im Vergleich zu herkömmlichen Ein-Zonen-Geräten eine deutlich längere und stabilere Zone konstanter Temperatur gewährleistet. Dieses Maß an Präzision ist für kritische Prozesse unerlässlich, bei denen selbst geringfügige Temperaturschwankungen die Integrität der Experimente gefährden könnten.
Die Anlage wurde speziell für anspruchsvolle Anwendungen wie das Wachstum fortschrittlicher Halbleiter-Nanodrähte, die Homogenisierung spezialisierter Legierungen und das Sintern technischer Keramiken konzipiert. Durch die Bereitstellung einer vielseitigen Plattform, die Vakuum- und verschiedene Gasumgebungen unterstützt, ermöglicht dieses Gerät Laboren einen nahtlosen Wechsel zwischen verschiedenen Forschungsprotokollen. Zu den Zielbranchen gehören die Luft- und Raumfahrt, die Mikroelektronik und die erneuerbaren Energien, in denen Materialien unter extremen Bedingungen getestet und verfeinert werden müssen, um modernen Leistungsstandards zu entsprechen.
Das System ist für den anspruchsvollen kontinuierlichen Industrie- und Laboreinsatz gebaut und verfügt über ein robustes, doppelwandiges Stahlgehäuse mit integrierter Luftkühlungstechnologie. Diese technische Entscheidung stellt sicher, dass das Gehäuse außen berührungssicher bleibt, während die innere Kammer extreme Temperaturen erreicht, was ein produktives und sicheres Arbeitsumfeld gewährleistet. Mit hochreiner Aluminiumoxid-Isolierung und MoSi2-Heizelementen ist der Ofen auf langfristige Betriebszuverlässigkeit und konstante Leistung ausgelegt und positioniert sich damit als grundlegende Investition für jede Hochtemperatur-Forschungseinrichtung.
Hauptmerkmale
- Unabhängig gesteuerte Drei-Zonen-Heizung: Das System nutzt drei separate Heizzonen (links, mitte, rechts) mit individuellen PID-Reglern. Diese Konfiguration ermöglicht die Erstellung eines benutzerdefinierten thermischen Profils oder einer deutlich erweiterten 300-mm-Temperatur-Gleichmäßigkeitszone, was für die Verarbeitung großer Chargen oder das langformatige Kristallwachstum entscheidend ist.
- Hochleistungs-MoSi2-Heizelemente: Ausgestattet mit 14 Molybdändisilizid-Heizelementen (MoSi2), erreicht dieser Ofen schnelle Aufheizraten und hält stabile Temperaturen bis zu 1700 °C. Diese Elemente wurden aufgrund ihrer hervorragenden Oxidationsbeständigkeit und Langlebigkeit in Hochtemperaturumgebungen gewählt.
- Präzises Atmosphärenmanagement: Das Gerät verfügt über wassergekühlte Edelstahlflansche mit hochwertiger Vakuumabdichtung. Mit integrierten 1/4"-Gasein- und -auslässen sowie KF25-Vakuumanschlüssen können Benutzer hermetische Umgebungen für empfindliche chemische Gasphasenabscheidungs- (CVD) oder Glühprozesse aufrechterhalten.
- Überlegene Wärmeisolierung: Durch die Verwendung von hochreiner faseriger Aluminiumoxid-Isolierung minimiert das System den Wärmeverlust und maximiert die Energieeffizienz. Dieses fortschrittliche Isolationspaket sorgt für kurze Aufheizzeiten und eine exzellente Temperaturstabilität während langer Haltephasen.
- Fortschrittliche Sicherheit und Kühlung: Das doppelwandige Stahlgehäuse enthält ein Zwangsluftkühlsystem, das die Außenhülle unter 70 °C hält. Darüber hinaus schützen eingebaute Sicherheitsverriegelungen vor Überhitzung und Thermoelementausfällen, wodurch die Sicherheit von Gerät und Bediener gewährleistet bleibt.
- Flexible Rohrabmessungen: Um unterschiedlichen Probengrößen und Durchsatzanforderungen gerecht zu werden, unterstützt das System hochreine Aluminiumoxidrohre mit Außendurchmessern von 50 mm, 60 mm oder 80 mm. Diese Flexibilität ermöglicht es Forschern, den Ofen für spezifische Experimentgeometrien zu optimieren.
- Programmierbare PID-Regler: Jede der drei Zonen wird von einem digitalen Regler verwaltet, der 30 programmierbare Segmente für präzise Heiz-, Halte- und Kühlzyklen bietet. Diese Automatisierung reduziert manuelle Eingriffe und sorgt für reproduzierbare Prozessergebnisse über mehrere Durchläufe hinweg.
- Verfeinerte Vakuumkonnektivität: Die Integration von Push-to-Connect-Wasseranschlüssen und einem Vakuumflansch mit eingebautem Ventil und Messgerät ermöglicht eine schnelle Einrichtung und eine präzise Überwachung der internen Druckbedingungen während der Vakuumverarbeitung.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Halbleiter-Nanodraht-Wachstum | Erleichtert das Wachstum von Galliumoxid (Ga2O3) und anderen Nanodrähten durch Einstellung spezifischer thermischer Stufen in drei Zonen. | Optimiert die Katalysatorlegierung und das axiale Wachstum für eine überlegene Morphologieregelmäßigkeit. |
| Metallurgisches Glühen | Wird für die Homogenisierung und Diffusionsglühung von Fe-Ni-Cu-Legierungen bei Temperaturen bis zu 1000 °C verwendet. | Eliminiert Abweichungen der Diffusionsrate durch Bereitstellung einer gleichmäßigen thermischen Historie über die gesamte Probe. |
| Keramiksintern | Hochtemperaturbrand technischer Keramiken und moderner Verbundwerkstoffe in kontrollierten Atmosphären. | Gewährleistet konsistente Dichte und strukturelle Integrität durch präzise Rampen- und Haltekontrolle. |
| CVD / PECVD-Prozesse | Dient als thermischer Reaktor für Experimente zur chemischen Gasphasenabscheidung, die Gasfluss und Vakuum erfordern. | Bietet eine stabile Reaktionsumgebung mit hermetischer Abdichtung zur Vermeidung von Kontaminationen. |
| Materialdegradationstests | Aussetzung von Luft- und Raumfahrt- oder Industriekomponenten gegenüber anhaltenden Umgebungen von über 1650 °C. | Simuliert extreme Betriebsbedingungen mit hoher Wiederholgenauigkeit zur Haltbarkeitsprüfung. |
| Kristallwachstum | Dampftransport- und gerichtete Erstarrungstechniken zur Synthese hochreiner Kristalle. | Ermöglicht eine präzise Steuerung des für die hochwertige Kristallbildung notwendigen Temperaturgradienten. |
Technische Spezifikationen
| Parametergruppe | Spezifikationsdetail | Werte der TU-85 Serie |
|---|---|---|
| Maximale Temperatur | Kurzzeitig (<1 Std.) | 1700 °C |
| Dauertemperatur | Dauerbetrieb | 1650 °C |
| Vakuumtemperatur | Unter Vakuumbedingungen | 1500 °C |
| Heizzonen | Konfiguration | Drei Zonen: 195mm (L) / 220mm (M) / 195mm (R) |
| Gesamtheizlänge | Kombinierte Zonen | 610 mm |
| Gleichmäßigkeitszone | bei 1600 °C | 300 mm |
| Heizelemente | Typ & Anzahl | 14 Stk. MoSi2-Heizelemente |
| Prozessrohr | Material & Größen | 99,8% Aluminiumoxid; Ø 50, 60 oder 80 mm AD x 1200 mm |
| Temperaturregelung | Genauigkeit & Segmente | ± 1 ºC; 30 programmierbare Segmente pro Zone |
| Thermoelement | Sensortyp | Typ B (Pt-Rh) |
| Stromversorgung | Spannung & Phase | 208-240 VAC, 3-phasig (380-415 VAC optional) |
| Leistungsaufnahme | Maximaler Verbrauch | 15 kVA / 50 A |
| Vakuumschnittstelle | Anschlusstyp | KF25 mit wassergekühlten Edelstahlflanschen |
| Gasschnittstelle | Anschlüsse | 1/4" Klemmringverschraubungen |
| Kühlsystem | Kühlanschlüsse | Ø12 mm Push-to-connect für Wasserein-/auslass |
| Sicherheitsmerkmale | Schutzsysteme | Übertemperaturschutz; Unterbrechungsschutz bei Thermoelementdefekt; luftgekühltes Gehäuse |
| Aufrüstbare Optionen | 1800 °C Modell | Erhältlich mit Kanthal 1900 °C Elementen & 1900 °C Aluminiumoxid-Isolierung |
Warum den Hochtemperatur-Drei-Zonen-Rohrofen wählen?
- Unübertroffene thermische Präzision: Die Drei-Zonen-Architektur ermöglicht die Korrektur von Wärmeverlusten an den Enden und bietet ein gleichmäßiges Temperaturfeld, das für hochpräzise Materialforschung und industrielle Skalierung entscheidend ist.
- Premium-Ingenieurstandards: Von den Molybdändisilizid-Heizelementen bis zu den wassergekühlten Edelstahlflanschen ist jede Komponente aufgrund ihrer Fähigkeit ausgewählt, extremer thermischer und chemischer Belastung standzuhalten.
- Vielseitigkeit durch Design: Ob Ihr Prozess ein Hochvakuum, ein Schutzgaspolster oder einen spezifischen Temperaturgradienten für das Kristallwachstum erfordert, dieses System passt sich Ihren technischen Anforderungen mühelos an.
- Bewährte langfristige Zuverlässigkeit: Unsere Verwendung von hochwertiger Aluminiumoxid-Isolierung und doppelwandiger Konstruktion verhindert strukturelle Ermüdung und schützt empfindliche elektronische Komponenten, was eine hohe Kapitalrendite durch jahrelangen Betrieb sicherstellt.
- Fachkundige Anpassung & Support: Wir bieten optionale Upgrades an, darunter Eurotherm-Regler mit ± 0,1 ºC Genauigkeit und Labview-basierte Software für die Fern-Datenprotokollierung und Rezeptverwaltung.
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