Röhrenofen
Drei-Zonen-Rohrofen mit 24 Zoll Heizlänge und aufklappbarem Quarzrohr-Flanschsystem
Artikelnummer: TU-35
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Produktübersicht


Dieser leistungsstarke Drei-Zonen-Rohrofen stellt einen Höhepunkt der thermischen Prozesstechnik dar und wurde speziell entwickelt, um die strengen Anforderungen der Materialwissenschaftsforschung sowie der industriellen F&E zu erfüllen. Durch die Nutzung von drei unabhängig gesteuerten Heizzonen über eine Länge von 24 Zoll bietet das Gerät Forschern eine beispiellose Kontrolle über Temperaturgradienten und die Stabilität der Heizzone. Der Kernnutzen des Systems liegt in seiner Fähigkeit, komplexe chemische Gasphasenabscheidungen (CVD) und Glühprozesse mit extremer Wiederholbarkeit zu ermöglichen, wodurch sichergestellt wird, dass experimentelle Ergebnisse konsistent und vom Labor bis zur Pilotproduktion skalierbar sind.
Dieses Gerät wird hauptsächlich in der Halbleiterfertigung, Metallurgie und bei fortgeschrittenen Keramiken eingesetzt und ist besonders effektiv für die Synthese von 2D-Materialien, wie etwa die Anpassung der Kantenstrukturen von Molybdändisulfid für elektrokatalytische Anwendungen. Sein aufklappbares Design und der Scharnierflanschmechanismus ermöglichen einen schnellen Zugriff auf die Prozesskammer, was die Ausfallzeiten beim Be- und Entladen von Proben erheblich reduziert. Dies macht das Gerät zur idealen Wahl für Umgebungen mit hohem Durchsatz, in denen die betriebliche Effizienz ebenso entscheidend ist wie die thermische Präzision.
Das auf Zuverlässigkeit unter anspruchsvollen Bedingungen ausgelegte System verfügt über ein robustes, doppellagiges Stahlgehäuse und eine fortschrittliche Luftkühlungstechnologie. Diese Konstruktion stellt sicher, dass das Gehäuse trotz Innentemperaturen von bis zu 1200 °C von außen sicher zu berühren bleibt und eine stabile Laborumgebung aufrechterhalten wird. Die Integration einer hochreinen faserigen Aluminiumoxid-Isolierung und einer ausgeklügelten PID-Mikroprozessorsteuerung unterstreicht unser Engagement, ein Werkzeug zu liefern, das mit industrieller Langlebigkeit und wissenschaftlicher Genauigkeit arbeitet.
Hauptmerkmale
- Unabhängige Drei-Zonen-Heizung: Die gesamte Heizlänge von 24 Zoll ist in drei unterschiedliche Segmente unterteilt (6"+12"+6"), die jeweils von einem eigenen Thermoelement und PID-Regler gesteuert werden. Diese Konfiguration ermöglicht die Erstellung präziser Temperaturgradienten oder einer ultra-gleichmäßigen konstanten Temperaturzone von bis zu 480 mm.
- Schnellzugriff durch Scharnierflansche: Das Gerät ist an beiden Enden mit speziellen aufklappbaren Edelstahlflanschen ausgestattet. Dieses Design macht eine komplexe Demontage bei der Probenentnahme überflüssig, sodass Bediener die Flansche zum effizienten Beladen schnell aufschwenken können, während im geschlossenen Zustand eine hochvakuumfeste Abdichtung gewährleistet bleibt.
- Fortschrittliche PID-Mikroprozessorsteuerung: Jede Zone nutzt einen mikroprozessorgestützten, selbstoptimierenden PID-Regler mit 30 programmierbaren Segmenten. Dies stellt ein Überschwingen beim Aufheizen auf Null und eine Steady-State-Genauigkeit von ±1 °C sicher, was für empfindliche Sinter- und Diffusionsprozesse entscheidend ist.
- Hochvakuum-Kompatibilität: Ausgestattet mit einem KF25D-Adapter und einem digitalen Präzisions-Vakuummeter erreicht dieses System Vakuumniveaus von bis zu 10^-2 Torr mit einer mechanischen Pumpe und 10^-5 Torr mit einer Molekularpumpe, was saubere, sauerstofffreie Prozessumgebungen ermöglicht.
- Verbesserte Wärmedämmung: Der Innenraum ist mit einer energiesparenden, hochreinen Aluminiumoxid-Faserisolierung ausgekleidet. Dieses Material reduziert nicht nur den Stromverbrauch, sondern minimiert auch die thermische Masse, was schnellere Aufheizraten von bis zu 20 °C/min und eine verbesserte Reaktionsfähigkeit auf Regleranpassungen ermöglicht.
- Integrierte Sicherheit und Kühlung: Ein doppellagiges Stahlgehäuse erzeugt einen Luftkühlungsspalt, der von zwei hocheffizienten Lüftern angetrieben wird. Dieses aktive Kühlsystem verhindert einen Wärmestau an der Außenseite des Ofens und schützt Bediener sowie umliegende empfindliche Elektronik vor thermischen Schäden.
- Vielseitigkeit bei verschiedenen Atmosphären: Der Ofen ist für den Betrieb mit verschiedenen Inert- und Reduktionsgasen ausgelegt und umfasst Nadelventile sowie 1/4"-Rohrverschraubungen. Dies ermöglicht eine präzise Gasflusssteuerung während des Glühens oder der atmosphärischen Synthese, sofern der Druck unter 0,12 MPa gehalten wird.
- Fernüberwachungsfunktionen: Das System enthält standardmäßig einen RS485-Kommunikationsanschluss, mit optionalen LabView-basierten Softwaremodulen. Dies ermöglicht PC-basiertes Datenlogging, Rezeptverwaltung und Fernbedienung, wodurch eine vollständige Rückverfolgbarkeit für qualitätskontrollierte Industrieprozesse gewährleistet ist.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| 2D-Materialsynthese | Synthese von Ta- und Nb-dotiertem MoS2 und anderen Übergangsmetall-Dichalkogeniden. | Präzise Gradientenkontrolle für optimales Kristallwachstum. |
| Halbleiter-Glühen | Hochtemperaturbehandlung von Silizium-Wafern bis zu 4 Zoll Durchmesser. | Hervorragende Gleichmäßigkeit (±1 °C) verhindert thermische Spannungsfehler. |
| CVD / PECVD | Chemische Gasphasenabscheidung für die Produktion von Dünnschichten und Nanoröhren. | Stabile Heizzonen für konsistente chemische Reaktionen. |
| Batteriematerial-F&E | Sintern von Kathoden- und Anodenpulvern unter kontrollierten Atmosphären. | Hochreine Umgebung verhindert Materialkontamination. |
| Katalysatortests | Thermische Aktivierung von Industriekatalysatoren in strömenden Gasumgebungen. | Wiederholbare Rampen-/Haltezyklen für Leistungsbenchmarking. |
| Vakuummetallurgie | Schmelzen und Wärmebehandlung von hochreinen Metalllegierungen im Vakuum. | Verhindert Oxidation und stellt Materialintegrität sicher. |
| Keramiksintern | Konsolidierung technischer Keramikkomponenten bei Temperaturen bis zu 1200 °C. | Schnelle Heiz- und Kühlzyklen verbessern den Durchsatz. |
Technische Spezifikationen
| Parameter | Details für Artikelnummer: TU-35 |
|---|---|
| Ofenstruktur | Doppellagiges Stahlgehäuse mit Kühlventilatoren; energiesparende, hochreine faserige Aluminiumoxid-Isolierung |
| Nennspannung | AC 208-240V Einphasig, 50/60 Hz (40A Sicherung erforderlich) |
| Max. Leistungsaufnahme | 6,0 KW |
| Heizelemente | Fe-Cr-Al-Legierung, dotiert mit Mo |
| Gesamte Heizzonenlänge | 610 mm (24") insgesamt |
| Zonenkonfiguration | Z1: 152,4 mm (6") / Z2: 304,8 mm (12") / Z3: 152,4 mm (6") |
| Gleichmäßige Temp.-Zone (±1ºC) | 260 mm |
| Gleichmäßige Temp.-Zone (±2ºC) | 480 mm |
| Max. Temperatur (strömendes Gas) | 1200 °C |
| Dauerbetriebstemp. (strömendes Gas) | 1100 °C |
| Max. Temperatur (Vakuum) | 1000 °C |
| Max. Aufheizrate | 20 °C / min |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1 ºC |
| Temperaturregler | Drei 30-Segment programmierbare PID-Regler mit Selbstoptimierung |
| Thermoelemente | Drei K-Typ Thermoelemente |
| Vakuumniveau | 10^-2 Torr (mechanische Pumpe); 10^-5 Torr (Molekularpumpe) |
| Vakuumflansche | Aufklappbar; Links: KF25D mit Digitalanzeige; Rechts: Edelstahl-Nadelventil |
| Variante: TU-35-80 | Rohrgröße: 80 mm AD x 72 mm ID x 1200 mm L (max. 2" Wafer) |
| Variante: TU-35-4 | Rohrgröße: 101 mm AD x 92 mm ID x 1200 mm L (max. 3" Wafer) |
| Variante: TU-35-5 | Rohrgröße: 130 mm AD x 122 mm ID x 1200 mm L (max. 4" Wafer) |
| Konformität | CE-zertifiziert; NRTL oder CSA auf Anfrage erhältlich |
Warum diesen Drei-Zonen-Rohrofen wählen?
- Überlegenes Wärmemanagement: Die Drei-Zonen-Architektur bietet die Flexibilität, präzise thermische Profile zu erstellen, was für die fortgeschrittene Materialsynthese und zur Vermeidung von Thermoschocks bei empfindlichen Substraten unerlässlich ist.
- Auf Langlebigkeit ausgelegt: Gebaut mit hochwertigen Fe-Cr-Al-Heizelementen, die mit Molybdän dotiert sind, und erstklassiger faseriger Aluminiumoxid-Isolierung, ist dieses Gerät für den kontinuierlichen industriellen Einsatz bei minimalem Wartungsaufwand konzipiert.
- Präzision und Sicherheit: Mit UL-Standardkonformität und eingebauten Schutzvorrichtungen gegen Überhitzung und defekte Thermoelemente bietet das System Sicherheit für unbeaufsichtigte Betriebsabläufe über Nacht und hochsensible Forschung.
- Schlüsselfertige Vakuumintegration: Im Gegensatz zu Standardöfen ist dieses Gerät mit Scharnierflanschen und digitaler Vakuumüberwachung ausgestattet, was eine sofortige Integration in vakuumabhängige Arbeitsabläufe ohne zusätzliche technische Anpassungen ermöglicht.
- Skalierbare Anpassung: Von PC-Steuermodulen und LabView-Kompatibilität bis hin zu verschiedenen Rohrgrößenoptionen und Upgrades für Molekularpumpen kann das System an die spezifischen Durchsatz- und Präzisionsanforderungen Ihres Labors angepasst werden.
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