1200 °C Max. Drei-Zonen-Rohrofen, 6 Zoll Außendurchmesser, mit Rohr und Flansch

Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-System zur thermischen Verarbeitung wurde entwickelt, um den strengen Anforderungen der Materialwissenschaftsforschung und industriellen Produktion gerecht zu werden. Mit einer Drei-Zonen-Heizkonfiguration und einer großzügigen Kapazität für 150 mm (6 Zoll) Außendurchmesser bietet das Gerät eine vielseitige Plattform für die Probenverarbeitung im großen Maßstab, einschließlich des Glühens von 4-Zoll-Wafern. Durch die Nutzung von drei unabhängig gesteuerten Heizzonen können Anwender eine außergewöhnliche Temperaturgleichmäßigkeit erreichen oder präzise thermische Gradienten erzeugen, was dieses Gerät zu einem unverzichtbaren Werkzeug für komplexe Wärmebehandlungszyklen macht, die eine strikte Atmosphärenkontrolle und thermische Stabilität erfordern.

Das System ist für ein breites Anwendungsspektrum in der Halbleiter-, Luft- und Raumfahrt- sowie der Hochleistungskeramikindustrie konzipiert. Ob für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), das Sintern hochreiner Materialien oder die kontrollierte Oxidation von Metallkomponenten – das Gerät liefert wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse. Seine robuste Konstruktion und die ausgefeilte Steuerungsschnittstelle ermöglichen eine nahtlose Integration in F&E-Labore und Pilotproduktionslinien, in denen Präzision und Skalierbarkeit für die Entwicklung der nächsten Generation von Hochtemperaturmaterialien von größter Bedeutung sind.

Dieser Ofen wurde im Hinblick auf langfristige Betriebssicherheit entwickelt und verwendet eine erstklassige Isolierung sowie ein fortschrittliches Energiemanagement, um eine gleichbleibende Leistung unter anspruchsvollen Bedingungen aufrechtzuerhalten. Die Integration einer hochreinen Aluminiumoxid-Faserisolierung gewährleistet thermische Effizienz bei minimalem Wärmeverlust, was zu einem System führt, das sowohl energieeffizient als auch äußerst reaktionsschnell auf Temperaturanpassungen reagiert. Laborleiter und Beschaffungsteams können sich darauf verlassen, dass dieses Gerät eine stabile thermische Umgebung bietet und sicherstellt, dass kritische Experimente und Produktionschargen vor Temperaturschwankungen und Kontamination geschützt sind.

Hauptmerkmale

• Unabhängige Drei-Zonen-Steuerung: Das System verfügt über drei getrennte Heizzonen, die die Erzeugung eines erweiterten Bereichs mit gleichmäßiger Temperatur oder eines benutzerdefinierten thermischen Gradienten ermöglichen. Diese Konfiguration ist unerlässlich für Prozesse, die spezifische Temperaturprofile über die Länge des Prozessrohrs erfordern, wie z. B. Kristallzüchtung oder das Glühen großer Chargen.
• Fortschrittliche Touchscreen-Schnittstelle: Ein 7-Zoll-Touchpanel mit hoher Auflösung bietet eine intuitive Steuerzentrale für das gesamte System. Anwender profitieren von einer Ein-Klick-Start/Stopp-Funktionalität, Echtzeit-Datenüberwachung und der Möglichkeit, mehrere komplexe Temperaturprogramme vorzuspeichern, was das Potenzial für manuelle Einstellungsfehler erheblich reduziert.
• Präzise PID-Temperaturregelung: Ausgestattet mit einem hochentwickelten PID-Regler und Auto-Tune-Funktionen hält das Gerät eine Temperaturgenauigkeit von +/- 0,2 °C. Dieses Maß an Präzision ist entscheidend für die Verarbeitung empfindlicher Materialien, bei denen bereits geringfügige Abweichungen die strukturelle Integrität oder die elektrischen Eigenschaften der Probe beeinträchtigen können.
• Hochreine Al2O3-Faserisolierung: Die Ofenkammer ist mit einer energiesparenden, hochreinen Aluminiumoxid-Faserisolierung ausgekleidet, die zusätzlich durch eine Aluminiumoxid-Beschichtung verstärkt wird. Diese Kombination verlängert nicht nur die Lebensdauer der Heizelemente, sondern sorgt auch für schnelle Aufheizraten und eine hervorragende thermische Eindämmung.
• Verarbeitungskapazität für große Durchmesser: Dieses System wurde für Quarzrohre mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm (6 Zoll) entwickelt und ist ideal für die Verarbeitung von 4-Zoll-Wafern und größeren Schüttgutproben. Die Flexibilität, verschiedene Rohrdurchmesser (80 mm bis 150 mm) mittels Adaptern zu verwenden, macht es zu einem äußerst anpassungsfähigen Aktivposten für sich entwickelnde Forschungsanforderungen.
• Umfassende Datenprotokollierung: Das integrierte Steuerungssystem zeichnet Prozessdaten automatisch auf und speichert die Historie für bis zu einen Monat. Diese Funktion erleichtert die gründliche Analyse nach dem Prozess und die Dokumentation der Qualitätskontrolle, was für industrielle Zertifizierungen und die Reproduzierbarkeit der Forschung von entscheidender Bedeutung ist.
• Robuste Vakuum- und Atmosphärenabdichtung: Hochwertige Edelstahl-Dichtflansche sind erhältlich, um die Verarbeitung unter Vakuum oder kontrollierten Gasumgebungen zu unterstützen. Dies ermöglicht es dem Gerät, diverse chemische Prozesse zu handhaben und Oxidation während Hochtemperaturzyklen zu verhindern.
• Sicherheitsorientierte Konstruktion: Integrierte Schutzmechanismen gegen Überhitzung und Thermoelementausfall sind Standard und sorgen für ein beruhigendes Gefühl bei Langzeitläufen. Das Design des Systems legt den Schwerpunkt auf einen sicheren Betrieb mit spezifischen Protokollen für Druckmanagement und Gasflussregelung.
• Leistungsstarke Vollrohr-Isolierung: Das Vollrohr-Isolationsdesign bietet im Vergleich zu herkömmlichen geteilten Rohrdesigns eine gleichmäßigere Temperaturzone und stellt sicher, dass die Strahlungswärme gleichmäßig um den gesamten Umfang des Prozessrohrs verteilt wird.
• Programmierbare Segmentflexibilität: Mit 50 programmierbaren Segmenten unterstützt das System hochkomplexe Heiz- und Kühlrampen. Dies ermöglicht die präzise Simulation industrieller thermischer Zyklen sowie die Durchführung langsamer, kontrollierter Abkühlvorgänge, um Thermoschocks bei spröden Materialien zu vermeiden.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Warum TU-37 wählen?

• Unübertroffene thermische Präzision: Die TU-37-Serie nutzt eine hochentwickelte 3-Zonen-Architektur, die den für Ein-Zonen-Systeme typischen Temperaturabfall eliminiert und eine massive 420 mm große, gleichmäßige Zone für kritische industrielle Prozesse bietet.
• Industrielle Bauqualität: Von der hochreinen Al2O3-Faserisolierung bis zu den robusten Edelstahlflanschen wurde jede Komponente des Systems aufgrund ihrer Fähigkeit ausgewählt, dem Dauerbetrieb in anspruchsvollen F&E-Umgebungen standzuhalten.
• Skalierbare Verarbeitungskapazität: Die einzigartige Möglichkeit, 6-Zoll (150 mm) Rohre aufzunehmen, ermöglicht es Forschern, reibungslos von Tests im kleinen Maßstab zur 4-Zoll-Wafer-Produktion überzugehen, ohne die Geräteplattform wechseln zu müssen.
• Benutzerzentrierte digitale Steuerung: Die Touchscreen-Schnittstelle und die automatisierte Datenprotokollierung reduzieren die Einarbeitungszeit und stellen gleichzeitig sicher, dass alle Prozessparameter für Compliance und Qualitätssicherung akribisch dokumentiert werden.
• Vielseitige atmosphärische Flexibilität: Ob Ihr Prozess Hochvakuum, Inertgasfluss oder ein spezifisches Druckmanagement erfordert – die anpassbaren Flansch- und Pumpoptionen des Systems bieten eine zukunftssichere Lösung für vielfältige Forschungswege.

Unser Ingenieurteam steht bereit, um Ihnen bei der Konfiguration der perfekten thermischen Verarbeitungslösung für Ihre spezifischen Anforderungen zu helfen. Kontaktieren Sie uns noch heute für eine technische Beratung oder ein formelles Angebot für das TU-37-System.