Atmosphärenofen
1200C Max 6-Kanal-Hochreinheits-Wasserstoffofen für Hochdurchsatz-Glühen
Artikelnummer: TU-QF25
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Produktübersicht
Dieses leistungsstarke multikanalige Thermoprozesssystem ist für fortgeschrittene Materialwissenschafts- und industrielle F&E-Anwendungen konzipiert, die extreme Reinheit und hohe Durchsatzleistung erfordern. Durch die Integration von sechs unabhängigen Heizkanälen in eine spezialisierte Hochreinheitskammer ermöglicht das Gerät Forschern und Ingenieuren, mehrere Wärmebehandlungszyklen gleichzeitig unter unterschiedlichen Parametern durchzuführen. Diese Konfiguration beschleunigt experimentelle Arbeitsabläufe erheblich und sorgt gleichzeitig für eine kontrollierte Umgebung, die für die empfindlichsten Materialien geeignet ist, einschließlich Halbleiter, fortschrittlicher Legierungen und hochreiner Keramiken.
Speziell für den Einsatz in Reinraumumgebungen entwickelt, erreicht das System ein Reinheitsniveau gemäß US FED STD 209E Class 100. Die interne Architektur nutzt hochwertige Isolierung und Oberflächenbehandlungen, um Partikelkontamination zu verhindern, was es zur idealen Lösung für das Glühen von Halbleiterwafern, die Forschung zur Dünnschichtabscheidung und das Sintern hochreiner Materialien macht. Dieses Gerät eignet sich hervorragend für atmosphärenkontrollierte Prozesse und bietet robuste Kompatibilität mit Wasserstoff-, Vakuum- und Inertgasumgebungen, wodurch eine vielseitige Leistung für komplexe metallurgische und chemische Syntheseverfahren gewährleistet wird.
Für langfristige Zuverlässigkeit in anspruchsvollen industriellen und akademischen Umgebungen gebaut, verfügt das Gerät über eine robuste Edelstahlkammer und fortschrittliche Sicherheitsprotokolle. Die Integration spezieller Wasserstoff-Sicherheitsmechanismen und präziser Automatisierung ermöglicht einen kontinuierlichen, unbeaufsichtigten Betrieb mit vollem Vertrauen. Ob in Universitätslaboren oder unternehmensinternen Pilotanlagen eingesetzt, stellt dieses System eine hochwertige Investition in thermische Prozesspräzision dar und liefert über jeden Kanal hinweg konsistente, reproduzierbare Ergebnisse.
Hauptmerkmale
- Sechs unabhängige Heizkanäle: Jeder Kanal ist mit einem eigenen Temperaturregelsystem und einer eigenen Gaszufuhrinfrastruktur ausgestattet, sodass sechs verschiedene Proben gleichzeitig bei unterschiedlichen Temperaturen und Atmosphärenbedingungen verarbeitet werden können.
- Class-100-Reinheitszertifizierung: Die Hochreinheitskammer aus Aluminiumoxidfaser verfügt über eine spezielle alumina-beschichtete Oberfläche, die die Staubentwicklung und Ausgasung minimiert und so eine innere Umgebung gewährleistet, die den US FED STD 209E Class 100-Standards entspricht.
- Fortschrittliches Wasserstoff-Sicherheitssystem: Um mögliche Explosionen zu verhindern, nutzt das Gerät ein Inertgas-Zirkulationssystem innerhalb der Isolierschicht zwischen Rohr und Kammer. Im Falle eines Rohrversagens wird Wasserstoff in dieser Schutzzwischenlage sicher eingeschlossen und verdünnt.
- Präzise PID- und PC-Integration: Jedes Heizmodul wird von einem intelligenten, 50-stufig programmierbaren Regler gesteuert, der vollständig in PC-basierte Software integriert ist und Echtzeitüberwachung, Datenprotokollierung sowie vollständige automatisierte Kontrolle von Heiz-, Halte- und Abkühlzyklen ermöglicht.
- Hochreine Aluminiumoxidfaser-Kammer: Die Kammer besteht aus vakuumgeformter Keramikfaser, um eine überlegene Wärmedämmung und hohe Heizeffizienz zu bieten und gleichzeitig die Betriebslebensdauer der internen Komponenten erheblich zu verlängern.
- Zweilagige luftgekühlte Außenhülle: Die äußere Struktur verwendet ein zweischichtiges Design mit integrierter Umluftkühlung, sodass die Außenflächen auch bei dauerhaftem Betrieb mit maximalen Innentemperaturen berührungssicher bleiben.
- Automatisierte Gas- und Druckregelung: Der softwaregesteuerte Modus des konstanten Drucksinterns passt die Gasdurchflussraten automatisch an, um einen stabilen, leicht positiven Druck aufrechtzuerhalten und so eine gleichbleibende Atmosphärendichte während des gesamten Wärmebehandlungsprozesses sicherzustellen.
- Unabhängige wassergekühlte Flansche: Sechs Sätze 304-Edelstahlflansche mit integrierten Wasseranschlüssen schützen die O-Ring-Dichtungen und gewährleisten langfristige Vakuumintegrität sowie hohe Druckstabilität während intensiver Hochtemperaturzyklen.
- Anpassbare Rohroptionen: Während hochreine Quarzrohre standardmäßig sind, unterstützt das System Rohre aus Nickelbasislegierung oder Zirkoniumlegierung, um spezielle korrosive Umgebungen oder spezifische Temperaturanforderungen bis zu 1200°C zu erfüllen.
- Umfassende Datendokumentation: Alle experimentellen Prozessdaten, einschließlich Temperaturkurven, Druckniveaus und Vakuumstatus, werden aufgezeichnet und können für eine gründliche Analyse und Qualitätskontrollprüfung exportiert werden.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Halbleiter-Glühen | Hochreine Wärmebehandlung von Silizium- und Verbindungshalbleiter-Wafern unter Reinraumbedingungen. | Minimiert Partikelkontamination und gewährleistet eine gleichmäßige Kristallregeneration. |
| Wasserstoffreduktion | Reduktion von Metalloxiden zu reinen Metallpulvern oder dünnen Filmen mithilfe einer kontrollierten Wasserstoffatmosphäre. | Hochdurchsatzverarbeitung mit integrierten Sicherheitsprotokollen für explosive Gase. |
| Fortgeschrittene Metallurgie | Sintern und Wärmebehandlung von Hochtemperaturlegierungen und Nichteisenmetallen in unterschiedlichen Stufen. | Unabhängige Kanäle ermöglichen schnelle vergleichende Materialuntersuchungen. |
| F&E für Dünnschichten | Thermische Verarbeitung funktionaler Dünnschichten auf Keramik- oder Glassubstraten im Vakuum oder Inertgas. | Verhindert Oxidation und gewährleistet eine präzise Kontrolle der Film-Mikrostruktur. |
| Prüfung von Nuklearmaterialien | Hochtemperaturanalyse spezieller Materialien unter simulierten Betriebsatmosphären. | Robuste Einschließung und zuverlässige Datenprotokollierung für sensible Forschung. |
| Keramiksintern | Sintern fortschrittlicher technischer Keramiken, einschließlich Dentalmaterialien und Strukturbauteilen. | Außergewöhnliche Temperaturgleichmäßigkeit in allen sechs Probenzonen. |
| Industrielle QS-Prüfung | Chargenprüfung von Materialproben zur Überprüfung der thermischen Stabilität und chemischen Beständigkeit über Produktionslose hinweg. | Erhöht die Laborproduktivität durch gleichzeitiges Ausführen mehrerer Testprofile. |
Technische Spezifikationen
| Kategorie | Parameter | Spezifikation (TU-QF25) |
|---|---|---|
| Modellidentifikation | Produktartikelnummer | TU-QF25 |
| Stromversorgung | Eingangsleistung | AC-Drehstrom 380V; 50/60Hz |
| Maximale Leistung | 48 KW | |
| Temperaturleistung | Max. Betriebstemperatur | 1200℃ (≤ 30 min) |
| Dauertemperatur | 1100℃ | |
| Heizrate | ≤ 10℃/min | |
| Länge der Heizzone | 700 mm | |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1℃ (optionale europäische Regler ± 0.1℃) | |
| Steuersystem | Reglermodell | 858P PID intelligenter Regler |
| Programmierung | 50-stufige programmierbare Steuerung | |
| Steuerschnittstelle | DB9-PC-Kommunikationsport mit spezieller Software | |
| Steuermodi | Automatischer Spülmodus; Konstantdruck-Sintermodus | |
| Konstruktion | Kammermaterial | Hochreine Aluminiumoxidfaser mit Oberflächenbeschichtung |
| Heizelemente | Molybdän-Eisen-Chrom-Aluminium | |
| Thermoelement | Typ K | |
| Reinheitsgrad | US FED STD 209E Class 100 | |
| Gas & Vakuum | Flanschtyp | 304-Edelstahl-Wassergekühlte Flansche (KF60/KF25) |
| Gasdurchflussregelung | 6 unabhängige Schwebekörper-Durchflussmesser (40-400 ml/min) | |
| Standard-Überdruckventil | Öffnet bei 0.04 MPa | |
| Sinterdruckbereich | 100,000 Pa - 115,000 Pa (automatische Regelung) | |
| Rohrspezifikationen | Standard-Quarzgrößen | Φ25x19 ID, Φ50x44 ID, Φ60x55 ID (Länge: 1200 mm) |
| Optionale Legierungsrohre | Nickelbasislegierung (1200℃) / Zirkoniumlegierung (800℃) | |
| Optionales Zubehör | Behandlung brennbarer Gase | 200W, AC220V, mit Stromwandler-Schutz |
| Wasserstofferkennung | Fest installiert oder tragbar (Bereich 1-1000 ppm) | |
| Vakuumpumpen | Mechanisch (10^-2 Torr) oder Molekular (10^-5 Torr) | |
| Kühleinheit | CW-6300 (Kühlleistung 26826 Btu/h) |
Warum den 1200C Max 6-Kanal-Hochreinheits-Wasserstoffofen für Hochdurchsatz-Glühen wählen
- Unerreichte Durchsatzleistung und Vielseitigkeit: Dieses System erledigt effektiv die Arbeit von sechs separaten Öfen und ermöglicht eine massive Skalierung von F&E-Aktivitäten, ohne den Platzbedarf oder den Energieaufwand zu erhöhen.
- Hervorragende Reinraumkompatibilität: Für hochreine Umgebungen entwickelt, stellt das System sicher, dass Proben frei von Verunreinigungen bleiben – eine kritische Anforderung für moderne Halbleiter- und Nanotechnologieforschung.
- Sicherheitsorientierte Konstruktion: Mit integrierten Inertgas-Zwischenschichten und optionalen Geräten zur Behandlung brennbarer Gase setzt dieses Gerät den Branchenstandard für die sichere thermische Verarbeitung in Wasserstoffatmosphäre.
- Präzisionsautomatisierung und Datenintegrität: Die fortschrittliche Softwareoberfläche automatisiert nicht nur komplexe Spül- und Sinterabläufe, sondern stellt auch sicher, dass jeder Datenpunkt für die Einhaltung gesetzlicher Vorschriften und die wissenschaftliche Validierung erfasst wird.
- Anpassbar und zukunftssicher: Von verschiedenen Rohrmaterialien bis hin zur Integration fortschrittlicher Molekularpumpen kann das System an Ihre aktuellen Forschungsanforderungen angepasst und bei sich ändernden Prozessanforderungen aufgerüstet werden.
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