Röhrenofen
Hochtemperatur-1700°C-Sechszonen-Geteilter-Rohrofen mit Aluminiumoxidrohr und wassergekühlten Flanschen
Artikelnummer: TU-81
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Produktübersicht


Dieses Hochtemperatur-Wärmebehandlungssystem stellt einen Höhepunkt der Laborentwicklung dar und ist speziell dafür ausgelegt, Temperaturen von bis zu 1700°C mit außergewöhnlicher Präzision über sechs unabhängig gesteuerte Heizzonen zu erreichen. Durch die Integration eines geteilten Scharnierofen-Körpers mit einem hochreinen Aluminiumoxid-Prozessrohr ermöglicht das Gerät ein müheloses Einlegen von Proben und einen schnellen Zugriff auf die Reaktionskammer. Dieses Doppelfunktionsdesign macht es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Forschungsumgebungen, die sowohl extreme Hitze als auch die Flexibilität eines modularen Rohrsystems erfordern, und stellt sicher, dass komplexe experimentelle Konfigurationen einfach und effizient gehandhabt werden können.
Primär eingesetzt in materialwissenschaftlichen Abteilungen, industriellen F&E-Zentren und Halbleiterfertigungslaboren, eignet sich dieses Gerät hervorragend für anspruchsvolle Wärmebehandlungen wie Chemical Vapor Deposition (CVD), Kristallzüchtung und fortschrittliches keramisches Sintern. Die Fähigkeit des Systems, eine Heizlänge von 1400 mm aufrechtzuerhalten, ermöglicht eine hohe Durchsatzverarbeitung oder die Erzeugung präziser Temperaturgradienten. Seine robuste Konstruktion ist für anspruchsvolle Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Energiespeicherung und Elektronik ausgelegt, in denen Materialreinheit und thermische Konsistenz entscheidend für den Erfolg des Endprodukts sind.
Für langfristige Zuverlässigkeit unter anspruchsvollen Betriebsbedingungen entwickelt, verwendet dieses System hochwertige MoSi2-Heizelemente und ein zweischichtiges Gehäuse aus Weichstahl. Die integrierten Kühllüfter sorgen dafür, dass die äußere Oberfläche eine sichere Betriebstemperatur beibehält und sowohl den Bediener als auch die umliegende Laborinfrastruktur schützt. Mit sechs einzelnen PID-Reglern, die eine fein abgestufte Steuerung des Temperaturprofils ermöglichen, bietet das Gerät Forschern die Sicherheit, dass ihre empfindlichsten Prozesse jedes Mal mit reproduzierbaren, hochpräzisen Ergebnissen ausgeführt werden.
Hauptmerkmale
- Sechs unabhängige Heizzonen: Der Ofen ist mit sechs separaten Heizzonen (200, 200, 300, 300, 200 und 200 mm) ausgestattet, die jeweils von einer eigenen PID-Einheit gesteuert werden und die Erzeugung präziser Temperaturgradienten von bis zu 10°C/cm ermöglichen.
- Fortschrittliches geteiltes Gehäusedesign: Die geteilte Kammerarchitektur ermöglicht ein einfaches Einsetzen und Entfernen des Prozessrohrs, was insbesondere für vormontierte Versuchsanlagen oder für eine schnelle Abkühlung zwischen Prozesszyklen wichtig ist.
- Hochreines Aluminiumoxid-Prozessrohr: Ein Ø60 mm x 1800 mm Aluminiumoxidrohr bietet überragende chemische Beständigkeit und strukturelle Integrität bei extremen Temperaturen und gewährleistet eine saubere Umgebung für empfindliche Materialsynthesen.
- MoSi2-Heizelemente: Durch den Einsatz von Molybdändisilizid-Elementen der 1800°C-Klasse erreicht das System schnelle Aufheizzeiten und dauerhafte Hochtemperaturleistung ohne die bei niedrigeren Heizkomponenten übliche Degradation.
- Wassergekühlte Vakuumflansche: Das System umfasst einen umfassenden Satz wassergekühlter Flansche, die selbst bei maximalen Betriebstemperaturen die Dichtheit aufrechterhalten und Hochvakuumprozesse bis zu den für Dünnschichtabscheidung erforderlichen Werten ermöglichen.
- Präzise PID-Temperaturregelung: Jeder der sechs Regler bietet 50 programmierbare Segmente, eine Auflösung von 0,3°C und eine Genauigkeit von ±1°C, um den strengsten Laborstandards gerecht zu werden.
- Erweiterte Sicherheitsverriegelungen: Eingebaute Überhitzungs- und Thermoelementbruchalarme bieten automatische Abschaltfunktionen und schützen das Gerät sowie das Prozessrohr vor thermischem Durchgehen oder Hardwareausfall.
- Integrierte Datenerfassung: Mit RS485-Seriellkommunikation und LabVIEW-basierter Software können Benutzer Temperaturprofile aus der Ferne überwachen, Daten protokollieren und komplexe Rezepturen von einer zentralen Workstation aus verwalten.
- Thermisch effiziente Konstruktion: Ein doppelwandiges Stahlgehäuse mit Zwangsluftkühlung hält die Außentemperatur unter 70°C, minimiert die Wärmebelastung der Laborumgebung und verbessert die Energieeffizienz.
- Umfassende Gleichmäßigkeit: Das Gerät bietet bei synchronisierten Zonen eine gleichmäßige Temperaturzone von 1000 mm bei ± 5°C, ideal für Chargenverarbeitung oder langes Sintern von Proben.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Wichtiger Vorteil |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | Synthese hochwertiger Kohlenstoffnanoröhren, Graphen und Dünnfilm-Beschichtungen unter kontrollierten Atmosphären. | Präziser Gasfluss und genaue Temperaturregelung führen zu hervorragender Filmgleichmäßigkeit. |
| Kristallzüchtung | Nutzung der Sechszonen-Gradientensteuerung zur Förderung des Wachstums von Einkristallen aus Schmelz- oder Dampfphasen. | Präzise 10°C/cm-Gradienten ermöglichen kontrollierte Kristallisationsraten für hochreine Ergebnisse. |
| Keramiksintern | Hochtemperatur-Verdichtung fortschrittlicher Keramiken und feuerfester Werkstoffe in einer kontrollierten Luft- oder Vakuumumgebung. | Die Fähigkeit bis 1700°C erlaubt die Verarbeitung selbst anspruchsvollster technischer Keramiken. |
| Thermische Gradiententests | Prüfung von Materialien unter variablen Temperaturbedingungen entlang einer Achse zur Beobachtung struktureller Veränderungen. | Unabhängige Zonen ermöglichen komplexe Temperaturprofile, die reale thermische Belastungen simulieren. |
| Glühen und Anlassen | Wärmebehandlung von Speziallegierungen und Halbleiter-Wafern zur Spannungsentlastung und Änderung mechanischer Eigenschaften. | Hervorragende thermische Gleichmäßigkeit verhindert Verzug und gewährleistet eine konsistente strukturelle Integrität. |
| Festkörpersynthese | Kalzinierung und Synthese von Kathoden-/Anodenmaterialien für Batterien in mehrstufigen Heizzyklen. | Großes Prozessvolumen und modulare Rohroptionen unterstützen unterschiedliche Chargengrößen. |
| Atmosphärenforschung | Untersuchung von Materialreaktionen unter spezifischen Gasumgebungen wie Stickstoff, Argon oder Sauerstoff. | Wassergekühlte Flansche und luftdichte Dichtungen sorgen für hohe Reinheit und verhindern Kontamination. |
Technische Spezifikationen
| Spezifikationskategorie | Parameterdetails für TU-81 |
|---|---|
| Modellkennung | TU-81 |
| Elektrischer Eingang | 208-240 VAC, 3 Phasen, 50/60Hz, 100 A, 30 kVA (Optionen für 380V - 480V verfügbar) |
| Maximale Temperatur | 1700°C (< 60 Minuten) |
| Dauerbetriebstemperatur | 800°C - 1600°C |
| Vakuum-Betriebstemperatur | < 1450°C unter Vakuumbedingungen |
| Heizrate | < 10°C / Minute |
| Heizzonen | Sechs Zonen: 200 + 200 + 300 + 300 + 200 + 200 mm |
| Gesamtheizlänge | 1400 mm |
| Gleichmäßige Zonenlänge | 1000 mm @ ± 5°C (bei 1400°C mit synchronisierten Zonen) |
| Konstanttemperaturzone | 800 mm @ ± 5°C |
| Thermischer Gradient | Bis zu 10°C / cm durch unabhängige Zonenprogrammierung erreichbar |
| Heizelemente | MoSi2-Heizelemente der 1800°C-Klasse |
| Prozessrohr | Aluminiumoxidrohr Ø60 mm (Außendurchmesser) × Ø51 mm (Innendurchmesser) × 1800 mm (Länge) |
| Vakuumflansche | Ein Satz wassergekühlter Vakuumflansche enthalten |
| Steuerungssystem | 6 programmierbare PID-Regler, jeweils 50 Segmente |
| Genauigkeit & Auflösung | ± 1°C Genauigkeit; 0,3°C Temperaturauflösung |
| Thermoelement | Typ B |
| Kommunikationsschnittstelle | RS485-Seriellanschluss; LabVIEW-basierte Software (MTS03) enthalten |
| Innendruck | < 3 psig |
| Gehäusekonstruktion | Doppelwandiges Weichstahlgehäuse mit integrierten Kühllüftern |
| Sicherheitsstandards | CE-zertifiziert; NRTL (UL61010) oder CSA auf Anfrage erhältlich |
Warum Sie sich für den Hochtemperatur-1700°C-Sechszonen-Geteilter-Rohrofen entscheiden sollten
- Überlegene thermische Vielseitigkeit: Die Kombination aus 1700°C Spitzenleistung und unabhängiger Sechszonensteuerung ermöglicht Forschern einen nahtlosen Wechsel zwischen gleichmäßiger Erwärmung und komplexen Gradientenprofilen in einem einzigen Gerät.
- Bewährte Zuverlässigkeit und Verarbeitungsqualität: Mit hochwertigen MoSi2-Elementen und einem zweischaligen Kühldesign gebaut, ist dieses System für die intensiven Zykluszeiten ausgelegt, die in industrieller F&E und Fertigung erforderlich sind.
- Präzisionsorientierte Ergebnisse: Mit branchenführender Regelgenauigkeit und integrierter LabVIEW-Software können Benutzer komplexe thermische Rezepte automatisieren und die Datenintegrität für wichtige Forschungsdokumentationen sicherstellen.
- Modular und anpassbar: Unser Entwicklungsteam bietet umfangreiche Anpassungsoptionen, von speziellen Flanschausführungen bis hin zu unterschiedlichen Netzspannungsstandards, um sicherzustellen, dass das System perfekt in Ihre bestehende Laborinfrastruktur integriert wird.
- Umfassende Konformität und Unterstützung: Jede Einheit ist CE-zertifiziert, mit Optionen für UL- und CSA-Standards, unterstützt durch unser reaktionsschnelles technisches Supportteam, um maximale Betriebszeit und Betriebssicherheit zu gewährleisten.
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