Röhrenofen
Sechszonen-Rohrofen mit geteiltem Gehäuse, Aluminiumoxid-Rohr und Vakuumflanschen für 1500°C Hochtemperatur-Wärmebehandlung und CVD
Artikelnummer: TU-67
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Produktübersicht
Dieser leistungsstarke Sechszonen-Rohrofen mit geteiltem Gehäuse stellt den Höhepunkt der Thermotechnik für moderne Materialwissenschaften sowie industrielle Forschung und Entwicklung dar. Das System ist für Temperaturen bis zu 1500°C ausgelegt und bietet Forschern eine beispiellose Kontrolle über thermische Umgebungen, sei es für eine perfekt gleichmäßige Temperaturzone oder einen hochspezifischen thermischen Gradienten. Durch die Integration fortschrittlicher Heizelemente mit einem modularen, geteilten Design ermöglicht das Gerät ein schnelles Be- und Entladen der Proben, ohne die Integrität komplexer Versuchsaufbauten oder empfindlicher Vakuumverbindungen zu beeinträchtigen.
Dieses Gerät wurde primär für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Glühen und Sintern entwickelt und bedient Branchen von der Halbleiterfertigung bis hin zu fortschrittlicher Keramik- und Luft- und Raumfahrtmaterialprüfung. Die Vielseitigkeit der Sechszonen-Konfiguration ermöglicht die Simulation komplexer industrieller Prozesse im Labormaßstab und liefert die notwendigen Daten für die Produktionsskalierung. Seine Fähigkeit, enge Toleranzen unter Vakuum oder kontrollierten Atmosphären einzuhalten, macht ihn zu einem grundlegenden Werkzeug für Labore, die die Grenzen des Hochtemperatur-Materialverhaltens ausloten.
Zuverlässigkeit ist das Markenzeichen dieses Wärmebehandlungssystems. Konstruiert mit hochbelastbaren Komponenten und hochreinem Aluminiumoxid-Feuerfestmaterial, ist der Ofen für den Dauerbetrieb in anspruchsvollen Umgebungen gebaut. Jeder Aspekt, von den robusten Siliziumkarbid-Heizstäben bis zu den präzisionsgefertigten Vakuumflanschen, wurde ausgewählt, um Wiederholbarkeit und langfristige Haltbarkeit zu gewährleisten. Bediener können Langzeitexperimente mit vollem Vertrauen in die Fähigkeit des Systems durchführen, die atmosphärische Reinheit und thermische Stabilität über viele Zyklen hinweg aufrechtzuerhalten.
Hauptmerkmale
- Unabhängige Sechszonen-Temperaturregelung: Die Heizkammer ist in sechs separate Zonen (12" + 8" + 8" + 8" + 8" + 12") unterteilt, die jeweils von einem eigenen dedizierten Regler gesteuert werden. Diese Konfiguration ermöglicht die Erstellung maßgeschneiderter thermischer Gradienten von bis zu 100°C/cm oder eine außergewöhnlich lange gleichmäßige Temperaturzone von 800 mm, was Flexibilität für diverse Forschungsprojekte bietet.
- Hochreines Aluminiumoxid-Prozessrohr: Ausgestattet mit einem professionellen Aluminiumoxid-Rohr mit 60 mm Außendurchmesser und 1800 mm Länge bietet das System exzellente chemische Beständigkeit und strukturelle Integrität bei extremen Temperaturen, wodurch sichergestellt wird, dass Proben während der Hochtemperaturzyklen frei von Verunreinigungen bleiben.
- Präzise PID-Instrumentierung: Jeder der sechs digitalen Temperaturregler verfügt über 30 programmierbare Segmente. Dies ermöglicht eine sorgfältige Steuerung von Aufheizraten, Haltezeiten und Kühlphasen. Mit einer Genauigkeit von ±1°C liefert das System die exakte Präzision, die für empfindliche Halbleiter- und metallurgische Prozesse erforderlich ist.
- Fortschrittliche Siliziumkarbid-Heizelemente: Durch den Einsatz von 48 hochwertigen SiC-Stäben erreicht der Ofen eine schnelle Aufheizung und behält eine hohe Temperaturstabilität bei. Diese Elemente wurden speziell für ihre Langlebigkeit und Effizienz in oxidierenden und neutralen Atmosphären ausgewählt und übertreffen Standard-Metallelemente in der Hochtemperatur-Haltbarkeit.
- Integrierte Vakuum- und Atmosphärenfähigkeit: Das System umfasst vakuumversiegelte Edelstahlflansche mit doppelten Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen. Es kann Vakuumniveaus von 10^-2 Torr mit mechanischen Pumpen und bis zu 10^-5 Torr mit Molekularsystemen erreichen, was es ideal für sauerstoffempfindliche Anwendungen macht.
- Geteiltes Scharnier-Design: Das Ofengehäuse verfügt über ein geteiltes Design, das sich der Länge nach öffnen lässt. Dies ermöglicht einen einfachen Zugang zum Prozessrohr und zur internen Heizkammer, was die Reinigung, Probenplatzierung und Wartung der Heizelemente vereinfacht, ohne das gesamte Gaszuführungssystem demontieren zu müssen.
- Umfassende Sicherheitssysteme: Integrierter Überhitzungsschutz und Schutz bei Thermoelementbruch stellen sicher, dass das Gerät bei einem Komponentenfehler sicher abschaltet. Optische und akustische Alarme benachrichtigen das Bedienpersonal bei Temperaturabweichungen, was den unbeaufsichtigten Betrieb während langer Haltezyklen ermöglicht.
- Erweiterbare Kommunikationsschnittstelle: Die Einbindung eines RS485-Kommunikationsanschlusses ermöglicht die Integration des Ofens in PC-basierte Steuermodule. Dies erlaubt Fernüberwachung, Datenprotokollierung und das Management komplexer Wärmebehandlungsrezepte über zentralisierte Softwareumgebungen.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | Wachstum von Dünnschichten und Nanomaterialien wie Graphen oder Kohlenstoff-Nanoröhren. | Präzise Kontrolle über Gasdynamik und thermische Zonen sichert hochwertiges Schichtwachstum. |
| Halbleiterglühen | Hochtemperaturverarbeitung von Siliziumwafern und Verbindungshalbleitern zur Reparatur von Kristalldefekten. | Mehrzonensteuerung verhindert Thermoschocks und sorgt für gleichmäßige Dotierungsaktivierung. |
| Gradientensintern | Sintern von Keramik- oder Metallpulvern unter einem definierten Temperaturgefälle. | Ermöglicht Forschern die Untersuchung des Temperatureinflusses auf die Dichte in einem einzigen Durchgang. |
| Katalysatortests | Bewertung der Leistung industrieller Katalysatoren unter variierten thermischen und Gasbedingungen. | Langlebiges Aluminiumoxid-Rohr widersteht korrosiven Prozessgasen und Hochtemperaturermüdung. |
| Materialentgasung | Entfernung flüchtiger Verunreinigungen aus hochreinen Materialien in einer Vakuumumgebung. | Hohe Vakuumintegrität gepaart mit 1500°C-Fähigkeit entfernt tiefsitzende Verunreinigungen. |
| Thermische Wechseltests | Testen der Haltbarkeit von Luft- und Raumfahrt- oder Automobilkomponenten unter wiederholtem Heizen/Kühlen. | Programmierbare Rampen ermöglichen eine präzise Simulation von Betriebsumgebungen. |
Technische Spezifikationen
Für den Ofen der Serie TU-67 beachten Sie bitte die nachstehenden umfassenden technischen Daten. Diese Spezifikationen spiegeln die Standardkonfiguration für leistungsstarke Laborumgebungen wider.
Leistung und Betrieb
| Parameter | Spezifikation (TU-67) |
|---|---|
| Leistungsaufnahme | 22 KW |
| Betriebsspannung | AC 220V +/- 10%, Dreiphasig, 50/60Hz |
| Strombedarf | 100 A Sicherung erforderlich |
| Maximale Temperatur | 1500°C (für < 30 Minuten) |
| Dauerbetriebstemperatur | 800°C - 1400°C |
| Empfohlene Aufheizrate | ≤ 5°C/min |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1°C |
Heizzone und Rohrabmessungen
| Komponente | Spezifikation (TU-67) |
|---|---|
| Rohrmaterial | Hochreines Aluminiumoxid |
| Rohrabmessungen | 60 mm AD x 51 mm ID x 1800 mm L |
| Anzahl der Zonen | 6 unabhängige Zonen |
| Länge der einzelnen Zonen | 12" + 8" + 8" + 8" + 8" + 12" |
| Gesamtlänge der Heizzone | 1422 mm (~56") |
| Konstante Temperaturzone | 800 mm (± 5°C) ohne Zonenzwischenstücke |
| Maximaler thermischer Gradient | Bis zu 100°C/cm (mit internen Abständen) |
Instrumentierung und Vakuum
| Merkmal | Details |
|---|---|
| Temperaturregler | 6x digitale PID-Regler mit 30 programmierbaren Segmenten |
| Thermoelemente | 6x S-Typ (eines pro Zone) |
| Heizelemente | 48x 1500°C-taugliche Siliziumkarbid (SiC)-Stäbe |
| Vakuumniveau (mechanisch) | Bis zu 10^-2 Torr |
| Vakuumniveau (molekular) | Bis zu 10^-5 Torr |
| Kommunikation | RS485-Anschluss (PC-Steuermodul optional) |
| Sicherheitsmerkmale | Schutz bei Thermoelementbruch, Übertemperaturalarm |
| Konformität | CE-zertifiziert (NRTL/UL/CSA auf Anfrage erhältlich) |
Betriebshinweise
- Für den Vakuumbetrieb sollte die Temperatur 1300°C nicht überschreiten.
- Gasflussraten sollten unter 200 SCCM gehalten werden.
- Die Verwendung eines zweistufigen Druckreglers ist für die Sicherheit der Gasflaschen zwingend erforderlich.
- Verwenden Sie keine Graphittiegel in direktem Kontakt mit dem Aluminiumoxid-Rohr.
Warum den TU-67 wählen?
- Unübertroffene thermische Vielseitigkeit: Die Sechszonen-Architektur des TU-67 bietet Labortechnikern die einzigartige Fähigkeit, thermische Profile anzupassen, die mit Einzonenöfen einfach nicht erreichbar sind, was ihn zum flexibelsten Werkzeug seiner Klasse macht.
- Robuste industrielle Bauweise: Durch die Verwendung von 48 einzelnen SiC-Stäben und hochdichter Aluminiumoxid-Isolierung ist dieser Ofen auf Langlebigkeit und minimalen Wartungsaufwand ausgelegt, selbst bei wiederholten 1500°C-Zyklen.
- Präzision und Stabilität: Die Integration von S-Typ-Thermoelementen und präziser PID-Logik stellt sicher, dass Ihre Forschungsdaten durch stabile, wiederholbare thermische Bedingungen gestützt werden, was Variablen in komplexen Experimenten reduziert.
- Fortschrittliche Atmosphärenkontrolle: Ob Ihr Prozess ein Hochvakuum oder eine spezifische Inertgasumgebung erfordert, das hochwertige Flanschsystem gewährleistet eine leckfreie Umgebung für reine chemische Reaktionen.
- Globale Sicherheitsstandards: Mit Standard-CE-Zertifizierung und der Option auf UL- oder CSA-Upgrades erfüllt dieses Gerät die strengen Sicherheitsanforderungen führender akademischer und unternehmerischer Forschungseinrichtungen weltweit.
Investieren Sie in ein thermisches System, das mit Ihren Forschungsanforderungen wächst. Kontaktieren Sie uns noch heute für ein Angebot zur individuellen Konfiguration oder eine technische Beratung, um zu erfahren, wie der TU-67 Ihre Materialverarbeitungsmöglichkeiten erweitern kann.
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