15KW Induktionsheizsystem mit 5-Zoll-Quarzrohr und 2200°C-Temperaturregler

Kundenspezifische Induktionsschmelzöfen

15KW Induktionsheizsystem mit 5-Zoll-Quarzrohr und 2200°C-Temperaturregler

Artikelnummer: TU-RL05

Maximale Arbeitstemperatur: 2200°C Maximale Eingangsleistung: 15 KW Induktionsausgangsfrequenz: 30 - 80 kHz
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Produktübersicht

Produktbild 1

Dieses hochfrequente Induktionsheizsystem stellt einen Höhepunkt der thermischen Verarbeitungstechnologie dar, speziell entwickelt für fortschrittliche Materialwissenschaft und industrielle Forschung und Entwicklung. Durch die Kombination eines leistungsstarken 15KW-Induktionsheizgeräts mit einer anspruchsvollen Quarzkammer ermöglicht es Forschern, Temperaturen bis zu 2200ºC mit außergewöhnlicher Geschwindigkeit und Präzision zu erreichen. Das System ist als schlüsselfertige Lösung konzipiert, die Hochvakuumfähigkeiten, eine Umlaufwasserkühlung und eine Hochreinheits-Graphittiegelbaugruppe integriert, um eine umfassende Plattform für das Schmelzen und Sintern neuer metallischer Legierungen und Hochtemperaturkeramik bereitzustellen.

Primäre Anwendungsfälle für dieses Gerät umfassen den physikalischen Dampftransport (PVT) für das SiC-Kristallwachstum, Schmelzinfiltration und die schnelle Wärmebehandlung von Halbleiterwafern. Es wird häufig in der Luft- und Raumfahrt-, Energie- und Elektronikbranche eingesetzt, wo Materialreinheit und thermische Konsistenz von höchster Bedeutung sind. Das modulare Design erlaubt Anpassungen, um spezifische Prozessanforderungen zu erfüllen, was es zu einem vielseitigen Gut für Labore macht, die von der Grundlagenforschung zur pilotmaßstäblichen Produktion übergehen.

Gebaut mit industrietauglichen Komponenten und einem robusten mobilen Rahmen bietet dieses Einheit unvergleichliche Zuverlässigkeit unter anspruchsvollen Bedingungen. Jede Komponente, von dem korrosionsbeständigen Kapazitäts-Diaphragmanalysator bis zum 100% Betriebszyklus-Induktionsheizgerät, wurde ausgewählt, um langfristige Betriebsstabilität zu gewährleisten. Anwender können mit Vertrauen arbeiten, da das System automatisierte Schutzprotokolle für Wasserdruck, Überhitzung und Leistungsschwankungen umfasst, die sowohl die Sicherheit des Bedieners als auch die Langlebigkeit des Geräts in forschungsintensiven Umgebungen gewährleisten.

Hauptmerkmale

  • Hocheffiziente 15KW-Induktionsleistung: Unter Verwendung eines fortschrittlichen festkörperbasierten Induktionsgenerators liefert dieses System bis zu 15KW Leistung mit einem 100%-Betriebszyklus. Der Frequenzbereich von 30 - 80 kHz gewährleistet eine tiefe thermische Penetration und effiziente Energieübertragung auf den Graphitsusceptor, was schnelle Aufheizraten ermöglicht, die herkömmliche Widerstandsöfen nicht erreichen können.
  • Präzise PID-Temperaturregelung: Der integrierte digitale Regler verfügt über 30 programmierbare Segmente, die komplexe Temperaturprofile einschließlich präziser Hochlauf-, Halte- und Abkühlphasen ermöglichen. Die automatische PID-Abstimmung hält eine Temperaturgenauigkeit von ±3ºC ein und gewährleistet wiederholbare Ergebnisse bei empfindlichen Versuchsserien.
  • Überlegene Wärmedämmung und feuerfestes Design: Eine spezielle dreischichtige feuerfeste Baugruppe aus hochreinem Aluminiumoxid umgibt den Tiegel. Dieses Design ist ausgelegt, um die extreme Betriebsumgebung von 2200ºC zu widerstehen und gleichzeitig den Wärmeverlust zur äußeren Quarzkammer zu minimieren, wodurch die strukturelle Integrität des Systems geschützt wird.
  • Hochvakuum- und kontrollierte Atmosphärenfähigkeiten: Ausgestattet mit einer 156 l/min zweistufigen Drehschieberpumpe und KF-25-Vakuumanschlüssen kann das System Vakuumniveaus bis zu 10E-2 Torr erreichen (oder 10E-5 Torr mit optionaler Turbopumpe). Edelstahlflansche mit Nadelventilen und einem korrosionsbeständigen Diaphragmanalysator ermöglichen eine präzise Atmosphärenkontrolle mit Inertgasen.
  • Robuste Sicherheits- und Überwachungsprotokolle: Das Gerät ist mit einem automatischen Druckentlastungsventil eingestellt auf 0,02 MPa und einem Schutzschild aus Phenol- oder Polycarbonatplatten ausgestattet. Diese Merkmale, kombiniert mit automatischen Sensoren für Wasserdurchfluss und Überleistungsbedingungen, mindern Risiken bei Hochtemperaturbetrieb.
  • Integrierte Kühl- und Gasverwaltung: Ein 58 l/min Umlaufwasserkühler ist enthalten, um optimale Temperaturen in der Induktionsspule und im Netzteil zu halten. Ein kompakter Direktablesedurchflussmesser ermöglicht die Feinabstimmung von Gasdurchflussraten zwischen 100-1000 cc/min und unterstützt präzise atmosphärische Verarbeitung.
  • Entwickelte Quarz-Verarbeitungskammer: Das 130 mm Außendurchmesser-Quarzrohr bietet eine saubere, nicht reaktive Umgebung für die thermische Verarbeitung. Der aufklappbare obere Flansch vereinfacht das Be- und Entladen, während die Durchführung für das C-Typ-Thermoelement eine direkte und genaue Überwachung der Tiegeltemperatur gewährleistet.
  • Mobile und modulare Infrastruktur: Das gesamte System ist auf einem robusten mobilen Stahlwagen montiert und bietet einen stabilen Arbeitsbereich von 600 mm x 800 mm. Dieses Design erleichtert den einfachen Umzug im Labor und die effiziente Organisation von Vakuumpumpe, Kühler und Heizeinheiten.

Anwendungen

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
Schmelzen metallischer Legierungen Schnelle Induktionsschmelze von hochreinen Legierungen und spezialisierten metallischen Zusammensetzungen unter Vakuum oder Inertgas. Verhindert Oxidation und gewährleistet hohe chemische Homogenität im Endschmelzprodukt.
SiC-Kristallwachstum (PVT) Verwendung von Physikalischem Dampftransportverfahren innerhalb des Graphitkastens für das Wachstum von Siliziumkarbid-Volumenkristallen. Hohe Temperaturgradientenkontrolle, die für hochwertige Halbleiterkristallstrukturen erforderlich ist.
Schmelzinfiltration Verarbeitung poröser Materialien durch Infiltration mit einer geschmolzenen Sekundärphase bei extremen Temperaturen. Ermöglicht die Herstellung komplexer Keramikmatrixverbundwerkstoffe (CMCs) für die Luft- und Raumfahrt.
Halbleiterwafer-Behandlung Verwendung eines speziell entwickelten Graphitkastens zur Aufnahme von Wafern mit bis zu 1,5" Außendurchmesser für gleichmäßige Wärmebehandlung. Außergewöhnliche Temperaturgleichmäßigkeit über der Waferoberfläche für gleichmäßige Dotierung oder Temperung.
Pulversintern Hochtemperaturverfestigung von keramischen oder metallischen Pulvern zu dichten, leistungsstarken Bauteilen. Schnelle Heizzyklen reduzieren das Kornwachstum und verbessern die mechanischen Eigenschaften des Sinterkörpers.
Hochtemperatur-Materialprüfung Belastung fortschrittlicher Materialien mit Temperaturen bis zu 2200ºC zur Bewertung von thermischer Ausdehnung und Stabilität. Bietet eine zuverlässige, kontrollierte Umgebung zur Validierung der Materialleistung bei extremer Hitze.

Technische Spezifikationen

Systemübersicht: TU-RL05

Komponente Spezifikationsparameter Technische Daten
Induktionsheizgerät Betriebsspannung 220V AC, 50/60Hz, Dreiphasig
Max. Eingangsleistung 15 KW
Betriebsstrom 5~52 Ampere (60A-Schalter erforderlich)
Ausgangsfrequenz 30 - 80 kHz
Betriebszyklus 100%
Abmessungen Induktionsspule 150mm (AD) x 140mm (ID) x 65mm (H)
Kühlung & Schutz Hecklüfterkühlung; Schutz vor Wasserdruck/Temperatur/Überlastung
Temperaturregelung Reglertyp Präziser digitaler PID mit 30 programmierbaren Segmenten
Thermoelementtyp C-Typ (1/4" x 10" L)
Max. Betriebstemperatur 2200ºC (< 30 min); 2000ºC (2 Std.)
Kontinuierlicher Temperaturbereich 1000ºC – 1900ºC
Temperaturgenauigkeit ± 3 ºC
Max. Aufheizrate 10ºC/s (bei 1200ºC); 3ºC-6ºC/s (bei 1700ºC)
Kammer & Vakuum Abmessungen Quarzrohr 130mm (AD) x 122mm (ID) x 360mm (L)
Vakuumpumpenleistung 156 l/min (zweistufige Drehschieberpumpe)
Vakuumniveau 10E-2 Torr (Standard); 10E-5 Torr (mit optionaler Turbopumpe)
Drucksensor Korrosionsbeständige Kapazitätsdiaphragma (bis 3,8x10E-5 Torr)
Dichtungsflansche Edelstahl mit KF-25-Anschluss und Nadelventilen
Tiegel & Werkzeuge Graphittiegel 2" AD x 1,57" ID x 4" Tiefe
Feuerfestes Material Hochreines Aluminiumoxid (dreischichtiges Design)
Durchflussmesserbereich 100 - 1000 cc/min (Genauigkeit: 4%)
Druckentlastung Sicherheitsventil eingestellt auf 0,02 MPa
Hilfsgeräte Wasserkühler 58 l/min Durchfluss; 15L Edelstahltank; 5 - 30°C Bereich
Mobiler Wagen Stahlrahmen; 600mm (L) x 800mm (B) Oberfläche
Schutzschild Phenol (nicht UL) oder Polycarbonat (UL) Platten

Warum Sie uns wählen sollten

  • Ausgelegt für extreme thermische Leistung: Im Gegensatz zu Standard-Laboröfen ist dieses System für Temperaturen bis zu 2200ºC optimiert und nutzt hochfrequente Induktion, um schnelle thermische Zyklen zu erreichen, die die Prozesszeiten drastisch reduzieren.
  • Umfassende schlüsselfertige Lösung: Diese Einheit wird als komplettes integriertes System geliefert, einschließlich Induktionsgenerator, Vakuumpumpe, Wasserkühler und allen erforderlichen feuerfesten Komponenten, was sofortige Betriebsbereitschaft nach der Installation gewährleistet.
  • Präzision und Wiederholbarkeit: Die Kombination eines hochgenauen C-Typ-Thermoelements und eines 30-segmentigen PID-Reglers ermöglicht die präzise Replikation komplexer Heizkurven, was für konsistente metallurgische und halbleiterbezogene Forschung entscheidend ist.
  • Robuste industrielle Verarbeitungsqualität: Von den Edelstahl-Vakuumflanschen bis zum robusten mobilen Wagen ist jede Komponente für Langlebigkeit in anspruchsvollen industriellen und akademischen Umgebungen gebaut, was eine hohe Kapitalrendite und minimale Wartung gewährleistet.
  • Sicherheitsorientierte Konstruktion: Integrierte automatische Schutzvorrichtungen gegen Überhitzung und Wasserdruck, gepaart mit einem physischen Schutzschild und Druckentlastungsventilen, bieten mehrere Sicherheitsebenen für Hochdruck- und Hitzebetrieb.

Unser Ingenieurteam steht Ihnen bereit, bei der Konfiguration dieses Systems für Ihre spezifischen Forschungsanforderungen zu unterstützen oder kundenspezifische Tiegel- und Kammeranpassungen zu besprechen. Kontaktieren Sie uns noch heute für eine technische Beratung oder ein formelles Angebot.

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