Röhrenofen
Zwölfzonen-Rohröfen für 1700°C mit 100 mm Aluminiumoxid-Prozessrohr und unabhängiger Temperaturgradientenregelung
Artikelnummer: TU-82
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Produktübersicht



Dieses Hochleistungs-Mehrzonen-Wärmebehandlungssystem repräsentiert den Höhepunkt präziser Ingenieurskunst für die Hochtemperatur-Materialforschung und industrielle F&E. Durch die Integration von zwölf unabhängig gesteuerten Heizzonen entlang eines einzigen Hochreinaluminiumoxid-Prozessrohrs ermöglicht das Gerät Forschern und Ingenieuren, hochspezifische, reproduzierbare Temperaturgradienten über eine beträchtliche Heizlänge von 1400 mm zu etablieren. Diese Fähigkeit ist entscheidend für die Simulation komplexer reaktiver Kinetiken, Kristallwachstum und verschiedener Phasentransformationsprozesse, bei denen Temperaturuniformität oder nichtlineare Wärmeverläufe für den experimentellen Erfolg von größter Bedeutung sind.
Das System wurde für Vielseitigkeit in anspruchsvollen Labor- und Pilotumgebungen entwickelt und verfügt über einen geteilten Ofenkörper, der einen schnellen Rohraustausch, einfache Probenbeladung und die Integration komplexer interner Überwachungsgeräte erleichtert. Das Gerät ist darauf ausgelegt, kontinuierlichen Betrieb bei extremen Temperaturen bis zu 1700°C standzuhalten und bietet eine stabile Plattform für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Sintern und Glühen in zahlreichen Hightech-Sektoren, einschließlich Halbleiter, fortschrittliche Keramik und Luft- und Raumfahrtfertigung. Diese Konfiguration stellt sicher, dass komplexe thermische Profile über lange Zeiträume mit hoher Genauigkeit aufrechterhalten werden können.
Mit einer robusten, doppelwandigen Konstruktion aus Baustahl und integrierten Lüftern zur Zwangskühlung gewährleistet der Ofen eine konstante thermische Leistung bei gleichzeitiger Einhaltung einer sicheren Außentemperatur. Dieser Fokus auf Zuverlässigkeit, thermische Stabilität und Arbeitssicherheit gibt den Anwendern das Vertrauen, anspruchsvolle Experimente durchzuführen, ohne die Integrität der Ergebnisse zu beeinträchtigen. Diese Ausrüstung ist ein Eckpfeiler für Einrichtungen, die sich der Erweiterung der Grenzen der Materialwissenschaft durch präzise thermische Manipulation und industrielle Zuverlässigkeit widmen.
Hauptmerkmale
- Zwölf unabhängige Heizzonen: Das System ist mit zwölf separaten Heizzonen ausgestattet, die jeweils von einem eigenen dedizierten PID-Regler gesteuert werden, was die Erstellung komplexer Temperaturgradienten und hochgradig angepasster thermischer Profile über eine Spanne von 1400 mm ermöglicht.
- Hybrid-Heizelementarchitektur: Durch die strategische Kombination von Siliziumkarbid (SiC)-Elementen für die äußeren Zonen und Molybdändisilizid (MoSi2) für die zentralen Hochwärmebereiche erreicht das System schnelle Aufheizraten und außergewöhnliche Stabilität bis zu 1700°C.
- Ergonomie der geteilten Kammer: Das Längs-Scharnier-Design ermöglicht ein einfaches Öffnen des Ofens und bietet sofortigen Zugang zum Prozessrohr für Reinigung, Einstellung der Einrichtung oder schnelle Kühlung, ohne dass eine vollständige Demontage erforderlich ist.
- Präzise PID-Regelung: Zwölf einzelne programmierbare Regler mit 50 Segmenten bieten eine Regelgenauigkeit von ±1°C und eine Auflösung von 0,3°C, um sicherzustellen, dass selbst die empfindlichsten thermischen Prozesse innerhalb strenger Toleranzen bleiben.
- Hochreines Aluminiumoxid-Prozessrohr: Das Ø100 mm × 1800 mm Aluminiumoxidrohr ist für extreme thermische Schockbeständigkeit und chemische Inertheit ausgelegt und eignet sich daher für Umgebungen mit Hochvakuum oder kontrollierter Atmosphäre bei erhöhten Temperaturen.
- Fortschrittliche wassergekühlte Vakuumflansche: Edelstahl 304-Flansche mit integrierten Wasserkühlkanälen schützen Hochvakuumdichtungen vor thermischer Degradation und ermöglichen einen zuverlässigen Betrieb bis zu 3e-2 Torr.
- Umfassende Überwachungsschnittstelle: Die integrierte serielle RS485-Kommunikation mit LabVIEW-basierter Software ermöglicht die Fernaufzeichnung von Daten, die Echtzeitüberwachung und die zentrale Steuerung aller zwölf Zonen von einer einzigen Workstation aus.
- Doppellagiges Sicherheitsgehäuse: Das Ofengehäuse verfügt über ein doppelwandiges Stahlgehäuse mit hocheffizienten Kühlventilatoren, die die Außentemperaturen auch bei Spitzenbetriebstemperaturen von 1700°C unter 70°C halten.
- Intelligente Alarm- und Verriegelungssysteme: Eingebaute Sicherheitsfunktionen umfassen Überhitzungsschutz und Unterbrechungsalarme für Thermoelemente, die die Stromversorgung automatisch abschalten, um Schäden am Gerät oder an Proben zu verhindern.
- Vielseitige Atmosphärenkontrolle: Ausgestattet mit KF25-Vakuumanschlüssen, 1/4-Zoll-Gaszufuhrleitungen und hochpräzisen Manometern unterstützt das System eine breite Palette von Prozessumgebungen, von Inertgas-Spülung bis hin zu Hochvakuumzyklen.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) | Wachstum von hochreinen Dünnschichten und Nanoröhren durch präzise gesteuerten Dampfphasentransport über Gradienten. | Überlegene Filmgleichmäßigkeit und kontrollierte Abscheidungsraten. |
| Einkristallzüchtung | Verwendung der Bridgman- oder ähnlicher Techniken durch Bewegung eines Temperaturgradienten durch das Material. | Hochwertige kristalline Struktur mit minimalen Defekten. |
| Simulation reaktiver Kinetiken | Modellierung chemischer Reaktionen, die unter verschiedenen Temperaturstufen entlang der Länge eines Reaktors auftreten. | Genaue Daten für die Skalierung industrieller Prozesse und die Mechanismusstudie. |
| Fortschrittliches Keramiksintern | Sintern von Hochleistungskeramiken, die spezifische Heiz- und Kühlraten erfordern, um thermische Spannungen zu vermeiden. | Verbesserte strukturelle Integrität und konsistente Materialdichte. |
| Halbleiterglühen | Hochtemperaturbehandlung von Wafern und Substraten zur Modifizierung elektrischer Eigenschaften oder zur Reparatur von Gitterdefekten. | Präzise Kontrolle über Dotierstoffdiffusion und Gitterentspannung. |
| Metallurgie und Phasenstudien | Untersuchung von Phasenänderungen in Legierungen durch Aussetzen von Proben spezifischen lokalisierten thermischen Umgebungen. | Detaillierte Kartierung von Phasendiagrammen und Transformationskinetiken. |
| Prüfung von Luft- und Raumfahrtkomponenten | Simulation der extremen Temperaturgradienten, denen Komponenten in Turbinen- oder Verbrennungsumgebungen ausgesetzt sind. | Nachgewiesene Haltbarkeit und Zuverlässigkeit unter simulierten Flugbedingungen. |
Technische Spezifikationen
| Kategorie | Parameter | Spezifikation (TU-82) |
|---|---|---|
| Elektrische Leistung | Betriebsspannung | 480VAC, 3-Phasen, 50/60 Hz |
| Maximale Leistung | 60 KVA | |
| Verkabelungsanforderungen | Stromkabel für Festverdrahtung im Lieferumfang enthalten | |
| Thermische Leistung | Maximale Temperatur | 1700°C (MoSi2-Zonen); 1500°C (SiC-Zonen) |
| Länge der Heizzonen | 1400 mm insgesamt | |
| Zonenkonfiguration | 12 unabhängige Zonen | |
| Temperaturgenauigkeit | ±1°C | |
| Temperaturauflösung | 0,3°C | |
| Heizelemente | Zonen 1-5 & 11-12 | Siliziumkarbid (SiC), je 100 mm |
| Zonen 6-8 | Molybdändisilizid (MoSi2), je 100 mm | |
| Zonen 9-10 | Molybdändisilizid (MoSi2), je 200 mm | |
| Steuerungssystem | Steuerungstyp | 12x PID-Programmierbare Regler |
| Programmsegmente | 50 Segmente pro Regler | |
| Kommunikation | RS485-Serienanschluss mit LabVIEW-Software | |
| Sicherheitsverriegelungen | Überhitzungs- und Thermoelement-Unterbrechungsalarm | |
| Prozessrohr | Material | Hochreines Aluminiumoxid |
| Abmessungen | Ø100 mm (AG) × Ø90 mm (IG) × 1800 mm (L) | |
| Max. Temp. (Umgebung) | 1700°C | |
| Max. Temp. (Vakuum) | 1450°C | |
| Vakuum & Gas | Flanschmaterial | Edelstahl 304, wassergekühlt |
| Vakuumgrad | < 3e-2 Torr (mit geeigneter Pumpe) | |
| Druckbereich | < 3 psig; -0,1 bis 0,5 MPa Überdruck | |
| Anschlusstypen | KF25, 1/4" Rohr, DN100CF/ISO100K | |
| Infrastruktur | Kühlwasser | 5 - 35°C, 10 L/min, 10 psi erforderlich |
| Gehäusestruktur | Doppellagiger Baustahl mit Lüftern | |
| Physisches Profil | 660 kg Nettogewicht | |
| Konformität | Zertifizierungen | CE-zertifiziert (NRTL/CSA auf Anfrage erhältlich) |
Warum uns wählen
Die Wahl dieses Zwölfzonen-Thermosystems stellt sicher, dass Ihr Labor oder Ihre Produktionsstätte mit einem Werkzeug ausgestattet ist, das für höchste akademische und industrielle Anforderungen konzipiert ist. Die technische Exzellenz der Zwölfzonen-Architektur bietet eine unübertroffene Fähigkeit zur Steuerung von Temperaturgradienten, was eine Anforderung der modernen Materialwissenschaft ist, die Einkanal- oder Dreizonenöfen einfach nicht erfüllen können. Dieses System ist für Benutzer gebaut, die keine Kompromisse bei der Präzision eingehen wollen und einen Grad an Kontrolle bieten, der sich direkt in reproduzierbare Daten und hohe Ausbeuten übersetzt.
Unser Engagement für Langlebigkeit zeigt sich in jeder Komponente, von den hochwertigen MoSi2-Heizelementen bis zu den wassergekühlten Edelstahlflanschen. Dieses System ist nicht nur ein Ofen, sondern eine umfassende thermische Lösung, die für langfristige Betriebskonsistenz entwickelt wurde. Durch die Integration von Zwangskühlung und fortschrittlichen Verriegelungssystemen stellen wir sicher, dass Ihre Investition geschützt ist und Ihr Arbeitsbereich auch während der anspruchsvollsten Hochtemperaturzyklen sicher bleibt.
Darüber hinaus ermöglicht die Flexibilität des geteilten Ofendesigns und des Mehrkanal-Flanschsystems eine nahtlose Integration in bestehende Vakuumsysteme oder Gaszuführungssysteme. Ob Sie grundlegende Forschung zur reaktiven Kinetik betreiben oder Halbleitermaterialien der nächsten Generation entwickeln, diese Ausrüstung bietet die robuste Leistung, die benötigt wird, um von der Hypothese zur Entdeckung zu gelangen. Unser Ingenieurteam bietet auch Anpassungsfähigkeiten, um das System an Ihre spezifischen Prozessanforderungen anzupassen, unterstützt durch reaktionsschnellen technischen Support.
Investieren Sie in ein System, das den Standard für Hochtemperatur-Gradientenregelung und industrielle Zuverlässigkeit definiert. Kontaktieren Sie uns noch heute, um ein detailliertes Angebot zu erhalten oder eine kundenspezifische Konfiguration zu besprechen, die auf Ihre spezifischen Forschungsziele zugeschnitten ist.
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