Röhrenofen
Mehrzweck-Rohrofen 1100 °C für die Materialforschung im Labor und fortschrittliche industrielle Wärmebehandlung
Artikelnummer: TU-15
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Produktübersicht





Dieses thermische Mehrzweck-Verarbeitungssystem stellt eine vielseitige Lösung für die fortschrittliche Materialforschung dar und bietet ein einzigartiges mechanisches Design, das sowohl den vertikalen als auch den horizontalen Betrieb ermöglicht. Das Gerät ist für Temperaturen bis zu 1100 °C ausgelegt und bietet eine kompakte, aber leistungsstarke Umgebung für das Brennen kleiner Proben. Es erleichtert komplexe VLS-Wachstumsprozesse (Vapor-Liquid-Solid), chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und schnelle Abschrecktests. Der Kernwert dieser Einheit liegt in ihrer Anpassungsfähigkeit; das Edelstahlgehäuse ist auf einer höhenverstellbaren Plattform montiert, wodurch Forscher die Heizkammer präzise an die spezifischen gravitativen oder gerichteten Anforderungen ihrer Versuchsprotokolle anpassen können.
Dieses System wurde für die anspruchsvollen Umgebungen der modernen industriellen Forschung und Entwicklung sowie für Materialwissenschaftslabore konzipiert und legt den Schwerpunkt auf Präzision und Konsistenz. Die Integration einer hochreinen Aluminiumoxid-Faserisolierung sorgt für schnelle Aufheizzyklen und außergewöhnliche Energieeffizienz bei gleichzeitig kühlem Außengehäuse. Ob in der Halbleiterindustrie für das Züchten elektronischer Kristalle oder in der Energieforschung für das Sintern protonenleitender Keramiken – das Gerät liefert wiederholbare thermische Profile. Sein modularer Aufbau ermöglicht die nahtlose Integration verschiedener Rohrdurchmesser und Vakuumkonfigurationen, was es zu einem grundlegenden Werkzeug für Labore macht, die Hochtemperaturpräzision ohne Einbußen bei der räumlichen Flexibilität benötigen.
Das Vertrauen in die Leistung ist in jede Komponente dieses Geräts eingebaut. Von den Mo-dotierten Fe-Cr-Al-Legierungs-Heizelementen bis hin zur fortschrittlichen PID-Steuerungsarchitektur ist das System für den Dauerbetrieb bei 1000 °C ausgelegt. Die robuste Konstruktion wird durch Sicherheitsmerkmale wie Überhitzungsschutz und Alarme bei Thermoelementausfall ergänzt, wodurch sichergestellt wird, dass kritische industrielle Prozesse sicher bleiben. Dieses System ist nicht nur ein Ofen, sondern ein Präzisionsinstrument, das für langfristige Zuverlässigkeit bei den anspruchsvollsten thermischen Verarbeitungsprozessen in Wissenschaft und Industrie entwickelt wurde.
Hauptmerkmale
- Mechanische Flexibilität durch Mehrfachpositionierung: Das einzigartige Design verfügt über ein verstellbares Edelstahlgehäuse, das in vertikaler, horizontaler oder geneigter Position arretiert werden kann. Dies ermöglicht vielfältige Anwendungen, vom vertikalen Sintern bis hin zum horizontalen Kristallwachstum und geneigten CVD-Prozessen.
- Präzise PID-Temperaturregelung: Ausgestattet mit einem fortschrittlichen automatischen PID-Regler unterstützt das System 30 programmierbare Segmente. Dies ermöglicht die exakte Definition von Aufheizraten, Haltezeiten und Abkühlrampen, um spezifische metallurgische oder chemische Übergänge zu erreichen.
- Hochreine Aluminiumoxid-Faserisolierung: Die Innenkammer ist mit einer energiesparenden, hochreinen Al2O3-Faserisolierung ausgekleidet. Dieses Material bietet eine überlegene thermische Reflexion und geringe Wärmespeicherung, was im Vergleich zu herkömmlichen feuerfesten Steinen zu schnelleren Aufheizraten und reduziertem Stromverbrauch führt.
- Variable Rohrkompatibilität: Das Gerät ist für die Aufnahme von Quarz-Prozessrohren mit unterschiedlichen Durchmessern ausgelegt und unterstützt insbesondere sowohl 1-Zoll- als auch 2-Zoll-Außendurchmesser über die mitgelieferten, präzisionsgefertigten Rohradapter. Diese Flexibilität ermöglicht spezialisierte Probengrößen, ohne dass separate Heizeinheiten erforderlich sind.
- Mo-dotierte fortschrittliche Heizelemente: Durch die Verwendung von Fe-Cr-Al-Legierungselementen, die mit Molybdän dotiert sind, gewährleistet das System eine stabile Widerstandsfähigkeit und eine lange Lebensdauer, selbst unter Hochtemperaturzyklen. Diese Elemente sind strategisch positioniert, um eine gleichmäßige 300-mm-Heizzone zu gewährleisten.
- Höhenverstellbarer Mechanismus: Drei Präzisionsknöpfe an der Rückseite der Struktur ermöglichen die Einstellung der vertikalen Position des Ofens relativ zur Steuerplattform mit einem Verstellweg von 4,5 bis 12 Zoll. Dies erleichtert die Integration mit externen Abschreckbädern oder sekundären Verarbeitungsgeräten.
- Integrierte Sicherheit und Diagnose: Das Steuerungssystem umfasst einen eingebauten Schutz gegen Überhitzung und defekte Thermoelemente, wodurch die Stromzufuhr zu den Elementen automatisch unterbrochen wird, um Geräteschäden oder Probenverlust während des unbeaufsichtigten Betriebs zu verhindern.
- Vakuum- und atmosphärenbereites Design: Obwohl der Ofenkörper die Hauptkomponente ist, ist er für Hochvakuumanwendungen ausgelegt. Bei Ausstattung mit kompatiblen Flanschen und Quarzblöcken kann er mit einer Molekularpumpe Vakuumniveaus von bis zu 10^-5 Torr erreichen, was ihn für sauerstoffempfindliche Prozesse geeignet macht.
- Robuste industrielle Bauqualität: Das Außengehäuse besteht aus hochwertigem Edelstahl, was Korrosionsbeständigkeit und strukturelle Integrität in rauen Laborumgebungen bietet. Die kompakte Stellfläche sorgt für eine effiziente Nutzung des Platzes auf dem Labortisch, ohne die thermische Leistung zu beeinträchtigen.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | Wachstum von Dünnschichten und Nanostrukturen durch chemische Gasphasenabscheidung bei kontrollierten Temperaturen. | Präzise Atmosphärenkontrolle und Hochvakuumkompatibilität gewährleisten reines Schichtwachstum. |
| Kristallwachstum | Nutzung der horizontalen oder geneigten Ausrichtung zur Erleichterung des Bridgman- oder VLS-Wachstums elektronischer Kristalle. | Einstellbare Neigungswinkel ermöglichen schwerkraftunterstütztes Wachstum und optimierte Temperaturgradienten. |
| Abschrecktests | Schnelles Abkühlen von Proben durch Fallenlassen aus einer vertikalen Ofenposition in ein Abschreckmedium. | Die vertikale Neigungsfähigkeit ermöglicht den direkten, schwerkraftgetriebenen Probentransfer in Flüssigkeiten. |
| Sintern | Verdichten von Metall- oder Keramikpulvern zu festen Formen bei Temperaturen bis zu 1100 °C. | Die gleichmäßige Konstanttemperaturzone sorgt für konsistente Dichte und Mikrostruktur. |
| Protonenleitende Keramiken | Brennen und Testen von elektrochemischen Zellen und Gerüsten für die Wasserstoff-Brennstoffzellenforschung. | Die hochreine Isolierung verhindert Probenkontamination und gewährleistet thermische Stabilität über lange Zeiträume. |
| Halbleiter-F&E | Thermische Oxidation, Glühen und Dotierung von Halbleiterwafern und kleinen Substraten. | Die Genauigkeit von ±1 °C bietet die wiederholbaren Bedingungen, die für das Testen elektronischer Komponenten erforderlich sind. |
| Materialermüdung | Testen der strukturellen Integrität von Legierungen durch wiederholte thermische Zyklen und Haltezeiten. | Die 30-Segment-Programmierung ermöglicht komplexe, automatisierte thermische Belastungsprofile. |
Technische Spezifikationen
| Merkmalsgruppe | Parameter | Spezifikationsdetails für TU-15 |
|---|---|---|
| Thermische Leistung | Maximale Temperatur | 1100 °C (< 1 Stunde) |
| Dauerbetriebstemperatur | 1000 °C | |
| Maximale Aufheizrate | 10 °C / Minute | |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1 °C | |
| Physikalische Abmessungen | Länge der Heizzone | 12" (300 mm) |
| Konstanttemperaturzone | 3,1" (80 mm) | |
| Verstellweg der Position | 4,5" ~ 12" (Höhenverstellbar von der Plattform) | |
| Rohrdurchmesser-Kompatibilität | 1,0" und 2,0" AD (Adapter enthalten) | |
| Elektrische Daten | Leistungsaufnahme | 1500 W |
| Stromstärke | 15 Ampere | |
| Betriebsspannung | AC 110V oder 220V einphasig (vom Benutzer wählbar) | |
| Steuerungssysteme | Reglertyp | PID-Automatikregelung mit Auto-Tune |
| Programmierung | 30 Segmente (Heizen, Halten, Kühlen) | |
| Thermoelement | Typ K | |
| Computerschnittstelle | Optionales MTS02-Y Software-Kit + Laptop erhältlich | |
| Material & Sicherheit | Isoliermaterial | Energiesparende, hochreine Al2O3-Faserauskleidung |
| Heizelement | Fe-Cr-Al-Legierung, dotiert mit Mo | |
| Zertifizierung | CE-zertifiziert (NRTL/CSA/UL61010 auf Anfrage erhältlich) | |
| Sicherheitsmerkmale | Überhitzungs- und Thermoelement-Bruchschutz | |
| Vakuumfähigkeit | Grenzwert mechanische Pumpe | 50 m-Torr (mit entsprechenden Flanschen/Rohren) |
| Grenzwert Molekularpumpe | 10^-5 Torr (mit entsprechenden Flanschen/Rohren) | |
| Gasflussbegrenzung | < 200 ml/min empfohlen zur Reduzierung von Thermoschocks |
Warum Sie diesen Mehrzweck-Rohrofen wählen sollten
- Unübertroffene Positionierungsflexibilität: Im Gegensatz zu Geräten mit fester Position ermöglicht dieses System den nahtlosen Wechsel zwischen horizontaler und vertikaler Ausrichtung. Diese Anpassungsfähigkeit ermöglicht es einem einzigen Labor, eine Vielzahl von Experimenten durchzuführen, vom Sintern bis zum Abschrecken, ohne mehrere Öfen kaufen zu müssen.
- Fortschrittliche Thermotechnik: Durch die Verwendung von Molybdän-dotierten Heizelementen und hochwertiger Faserisolierung erreicht der Ofen eine überlegene thermische Gleichmäßigkeit und Energieeffizienz. Dies führt zu niedrigeren Betriebskosten und präziseren experimentellen Daten.
- Robuste Zuverlässigkeit und Sicherheit: Ausgestattet mit einem Edelstahlgehäuse und leistungsstarker Sicherheitselektronik ist das Gerät für den kontinuierlichen Mehrschichtbetrieb ausgelegt. Es erfüllt internationale CE-Standards und stellt sicher, dass es mit Vertrauen in anspruchsvolle industrielle F&E-Umgebungen integriert werden kann.
- Präzisionssteuerung für komplexe Rezepte: Der 30-Segment-PID-Regler bietet die Granularität, die für empfindliche Materialien erforderlich ist, die spezifische Rampen-Halte-Kühl-Profile erfordern, wodurch sichergestellt wird, dass Ihre Forschung wiederholbar ist und Ihre Materialien exakt nach Spezifikation verarbeitet werden.
- Experten-Support und Anpassung: Als Hersteller bieten wir tiefgreifendes technisches Know-how und können kundenspezifische Softwareschnittstellen, spezielle Rohrmaterialien und Vakuumflanschkonfigurationen anbieten, um Ihre individuellen Verarbeitungsanforderungen zu erfüllen.
Die Investition in diesen Ofen bedeutet, sich eine flexible, langlebige und hochpräzise thermische Verarbeitungsplattform zu sichern, die mit Ihren Forschungsanforderungen wächst. Kontaktieren Sie uns noch heute für ein detailliertes Angebot oder um Ihre spezifischen Hochtemperaturanforderungen zu besprechen.
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