Doppelrohr-CVD-Schiebeofen 100 mm / 80 mm mit 4-Kanal-Gasmisch- und Vakuumsystem

Produktübersicht

Dieses Hochleistungs-Wärmebehandlungssystem wurde für fortschrittliche Anwendungen der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) entwickelt, insbesondere um das Wachstum von Dünnschichten und Graphen auf Metallfolien zu erleichtern. Durch die Nutzung einer einzigartigen Doppelrohr-Architektur ermöglicht das Gerät eine präzise Kontrolle der Reaktionsumgebung. Der Hauptvorteil des Systems liegt in seiner Fähigkeit, die Herstellung flexibler Elektroden auf metallischen Substraten zu handhaben – eine kritische Anforderung für die nächste Generation der Energiespeicherung und Elektronikforschung. Diese Einheit integriert Heizung, Gaszufuhr und Vakuumkontrolle in eine einzige, kohärente Plattform und sorgt so für optimierte Arbeitsabläufe für Materialwissenschaftler.

Die Ausrüstung eignet sich besonders für industrielle F&E-Umgebungen und akademische Labore, die sich auf zweidimensionale Materialien und Nanotechnologie konzentrieren. Zu den primären Anwendungsfällen gehören die großflächige Produktion von Graphenschichten und die Synthese komplexer Nanostrukturen, die eine strikte Atmosphärenkontrolle erfordern. Dieses System bietet eine vielseitige Umgebung, in der reaktive Gase präzise in einen engen 10-mm-Reaktionsraum zwischen konzentrischen Quarzrohren dosiert werden, wodurch die Vorläufereffizienz und die Schichtgleichmäßigkeit maximiert werden. Der Schiebemechanismus erhöht den Nutzen des Geräts weiter und ermöglicht schnelle thermische Zyklen, die für spezifische Phasenumwandlungen und Experimente mit hohem Durchsatz unerlässlich sind.

Der mit industrietauglichen Komponenten gebaute Ofen bietet unübertroffene Zuverlässigkeit unter anspruchsvollen Bedingungen. Die hochreine Aluminiumoxid-Isolierung und die robusten Edelstahl-Vakuumflansche sind für den Dauerbetrieb bei erhöhten Temperaturen ausgelegt. Jeder Aspekt dieses Systems, von den digitalen Massendurchflussreglern bis zur Hochleistungs-Vakuumstation, spiegelt das Engagement für Präzisionstechnik wider. Forscher können sich auf dieses Gerät für konsistente, reproduzierbare Ergebnisse verlassen, egal ob sie routinemäßige Wärmebehandlungen oder komplexe mehrstufige CVD-Syntheseprozesse in einer kontrollierten Atmosphäre durchführen.

Hauptmerkmale

• Konzentrische Doppelrohr-Architektur: Das System verwendet ein Außenrohr mit 100 mm Durchmesser und ein aufgehängtes Innenrohr mit 80 mm Durchmesser, wodurch ein 10-mm-Reaktionsspalt entsteht, in dem metallische Foliensubstrate für eine optimale CVD-Oberfläche und Gasinteraktion gewickelt werden können.
• Dynamisches Schienensystem: Eine robuste Gleitschiene ist in den Boden des Ofens integriert, sodass die Heizkammer schnell von der Probenzone weg bewegt werden kann. Dies ermöglicht schnelles Abschrecken oder hohe Aufheizraten, die mit stationären Öfen unmöglich sind.
• Präzise 4-Kanal-Gaszufuhr: Die integrierte Gasmischstation verfügt über vier digitale Massendurchflussregler (MFC) mit unterschiedlichen Bereichen (100 bis 500 SCCM), die eine komplexe Mischung von Vorläufer- und Trägergasen mit einer Genauigkeit von ±1 % vom Endwert ermöglichen.
• Fortschrittliche PID-Temperaturregelung: Das Gerät verwendet einen hochentwickelten PID-Regler mit 30 programmierbaren Segmenten, der eine sorgfältige Steuerung von Aufheizraten, Haltezeiten und Abkühlkurven bietet, um eine Temperaturstabilität von ±1 °C aufrechtzuerhalten.
• Integrierte Vakuum- und Drucküberwachung: Eine umfassende Vakuumstation ist enthalten, die eine zweistufige Drehschieberpumpe und ein digitales Vakuummeter umfasst, das von 10^-4 bis 1000 Torr messen kann, um eine saubere und kontrollierte Reaktionsumgebung zu gewährleisten.
• Robuste wassergekühlte Flansche: Edelstahl-304-Flansche sind mit integrierten Wasserkühlmänteln ausgestattet, die die Hochvakuumdichtungen schützen und die strukturelle Integrität bei längerem Hochtemperaturbetrieb gewährleisten.
• Optimierte Wärmedämmung: Die Heizkammer besteht aus hochreiner Al2O3-Faserisolierung, die den Wärmeverlust minimiert und eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit über die gesamte konstante Heizzone bietet.
• Skalierbare Heizkonfigurationen: Das System ist sowohl in Ein- als auch in Zweizonen-Heizkonfigurationen erhältlich und ermöglicht eine unabhängige Steuerung von Temperaturgradienten, was für den Transport von Vorläufern oder die Steuerung mehrstufiger Reaktionen unerlässlich ist.
• Sicherheit und Automatisierung: Eingebaute Übertemperaturalarme und automatische Schutzfunktionen ermöglichen es dem System, sicher ohne ständige Überwachung zu arbeiten, was die Laboreffizienz erhöht und das Betriebsrisiko verringert.
• Industrielle Swagelok-Anschlüsse: Alle Gasein- und -auslässe verwenden 1/4"-Swagelok-Rohrverbinder, die eine leckagefreie Leistung und Kompatibilität mit der standardmäßigen industriellen Gasinfrastruktur gewährleisten.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Warum TU-RT12 wählen?

• Überlegene Technik für die Graphenforschung: Das Doppelrohr-Design ist speziell für das Roll-to-Roll-Folienwickeln optimiert und bietet die effizienteste Konfiguration für die Synthese von großflächigem Graphen und 2D-Materialien im Labormaßstab.
• Unübertroffene thermische Agilität: Das Schiebeofendesign bietet Forschern die entscheidende Fähigkeit, ultraschnelle Abkühlraten zu erreichen oder Proben sofort zwischen Temperaturzonen zu bewegen, was für die Kontrolle von Korngrößenwachstum und Phasenreinheit unerlässlich ist.
• Schlüsselfertige Gas- und Vakuumintegration: Im Gegensatz zu modularen Setups, die umfangreiche Montage erfordern, wird dieses System mit einer vollständig integrierten 4-Kanal-MFC-Station und einer passenden Vakuumpumpstation geliefert, was eine hochreine Atmosphärenkontrolle vom ersten Tag an gewährleistet.
• Für den langfristigen industriellen Einsatz gebaut: Vom robusten mobilen Wagen bis zu den hochwertigen Edelstahlflanschen und der Al2O3-Isolierung wurde jede Komponente auf Langlebigkeit und konsistente Leistung in F&E-Umgebungen mit hoher Auslastung ausgewählt.
• Präzision und Anpassbarkeit: Mit Optionen für Ein- oder Zweizonensteuerung und der Möglichkeit, Eurotherm-Regler oder kundenspezifische Gaskonfigurationen zu integrieren, kann dieses System genau an die Anforderungen Ihres spezifischen CVD-Prozesses angepasst werden.

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