Vier-Zonen-Röhrenofen 1100°C mit 600 mm großem Quarzrohrdurchmesser und Vakuumflanschen

Produktübersicht

Dieser Hochleistungs-Vier-Zonen-Röhrenofen stellt einen Höhepunkt in der thermischen Verfahrenstechnik dar und ist speziell für die Aufnahme großformatiger Materialproben und 8-Zoll-Wafer konzipiert. Durch die Verwendung eines massiven 600 mm (24") durchmessenden Hochreinzuchtquarzrohrs bietet das System eine großzügige Umgebung für spezielle Wärmebehandlungen, die sowohl Volumen als auch Präzision erfordern. Der Kernwert dieser Anlage liegt in ihrer Mehrzonenkonfiguration, die eine differenzierte Steuerung von Temperaturgradienten ermöglicht, was sie zu einem unverzichtbaren Werkzeug für fortschrittliche chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Tempern und Sinterprozesse macht, bei denen Gleichmäßigkeit von größter Bedeutung ist.

Ausgerichtet auf industrielle F&E-Zentren und Materialforschungslabore, glänzt diese Anlage bei der Handhabung verschiedener Atmosphärenbedingungen. Egal ob Betrieb unter Hochvakuum oder spezifischen Schutzgasatmosphären – das System bewahrt seine Integrität durch robuste Konstruktion. Das doppelschalige Stahlgehäuse mit integrierter Luftkühlung stellt sicher, dass die Außenoberfläche für Bediener sicher bleibt, während die innere Kammer hohe Temperaturen erreicht, und fördert so eine produktive und sichere Laborumgebung. Diese Einheit ist für die Synthese neuer Materialien optimiert und bietet Forschern die Flexibilität, komplexe industrielle Fertigungsbedingungen im Labor- oder Pilotmaßstab zu simulieren.

Zuverlässigkeit steht im Vordergrund dieses Designs, das mit einem feuerfesten faserigen Aluminiumoxid-Isolierliner ausgestattet ist, um Energieeffizienz und thermische Stabilität zu maximieren. Das System ist für anspruchsvolle industrielle Betriebszyklen ausgelegt und bietet konsistente Leistung über Tausende von Betriebsstunden. Mit seiner Fähigkeit, die strukturelle Ordnung und Graphitisierung fortschrittlicher Kohlenstoffmaterialien zu handhaben, dient die Anlage als zuverlässige Basis für Projekte in der Katalysatorentwicklung, Halbleiterforschung und metallurgischen Prüfung. Dieses System ist nicht nur ein Ofen, sondern eine umfassende thermische Lösung für hochwertige Materialinnovation.

Hauptmerkmale

• Vier-Zonen-unabhängige Temperatursteuerung: Das System verfügt über vier separate Heizzonen von jeweils 300 mm Länge, was eine Gesamtheizlänge von 1200 mm ergibt. Diese Konfiguration ermöglicht die Erzeugung präziser Temperaturgradienten oder einer außergewöhnlich langen Konstanttemperaturzone von bis zu 1100 mm und gewährleistet damit unübertroffene Verarbeitungsflexibilität für lange Substrate oder große Chargen.
• Extragroßes Quarzprozessrohr: Ausgestattet mit einem 600 mm (24") Außendurchmesser-Hochreinzuchtquarzrohr ist diese Einheit speziell für die Verarbeitung großformatiger Materialien, wie 8-Zoll-Wafer, konzipiert. Das Quarzmaterial bietet ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit und chemische Trägheit und erhält eine kontaminationsfreie Umgebung für hochreines Sintern und Tempern.
• Präzisions-Mikroprozessor-PID-Regelung: Jede Zone wird von einem dedizierten digitalen Regler mit 30-Segment-Programmierzyklen und Selbstoptimierungsfunktionen gesteuert. Die mikroprozessorbasierte PID-Logik verhindert Temperaturüberschwingen und hält eine stationäre Genauigkeit von ±1°C, was für empfindliche Materialumwandlungen und reproduzierbare Ergebnisse entscheidend ist.
• Fortschrittliche mehrstufige Vakuumabdichtung: Das System enthält ein Paar wassergekühlter, rostfreier, schwenkbarer Flansche für schnellen Zugang und überlegene Abdichtung. Unter Verwendung von Silikon-O-Ringen und integrierten KF40-Anschlüssen kann der Ofen bei Kopplung mit sekundären Turbomolekularpumpen Vakuumwerte bis zu 10-5 Torr erreichen und ermöglicht so ultrareine Prozessbedingungen.
• Industrietaugliche Heizelemente: Unter Verwendung hochwertiger NiCrAl-Widerstandsdraht-Heizelemente erreicht der Ofen eine maximale Heiztemperatur von 1150°C. Diese Elemente wurden für ihre Haltbarkeit und gleichmäßige Wärmeabgabe ausgewählt, um langfristige Zuverlässigkeit selbst bei häufigen thermischen Zyklen zu gewährleisten.
• Integrierte Sicherheits- und Kühlsysteme: Das doppelschalige Stahlgehäuse ist mit interner Luftkühlung konstruiert, um die Außenoberflächentemperatur unter 70°C zu halten. Dieses Design schützt Laborpersonal und verhindert Wärmestau in der Umgebung, während die Einbeziehung eines Umlaufwasser-Kühlers für die Flansche die Dichtungen bei Hochtemperaturläufen schützt.
• Umfassende Überwachung und Kalibrierung: Die Einheit ist mit vier K-Typ-Thermoelementen zur Echtzeitüberwachung jeder Zone ausgestattet. Die Flansche enthalten spezielle Anschlüsse für sekundäre Kalibrierthermoelemente, die es Benutzern ermöglichen, interne Temperaturen zu verifizieren und höchste Standards bei der Prozessvalidierung und Qualitätskontrolle sicherzustellen.
• Hocheffiziente feuerfeste Isolierung: Hochwertige faserige Aluminiumoxid-Isolierliner minimieren Wärmeverlust und Stromverbrauch. Dieses energieeffiziente Design kombiniert mit keramischen Rohrblöcken hält Strahlung effektiv zurück und fokussiert thermische Energie in die Prozesszone anstatt in die Umgebung.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Warum uns wählen

• Überlegene thermische Gleichmäßigkeit: Die Vier-Zonen-Architektur bietet eine außergewöhnlich große Konstanttemperaturzone und macht diese Einheit zur ersten Wahl für großformatige Substrate und Massenverarbeitung, bei denen thermische Konsistenz die Produktqualität bestimmt.
• Robuste Industrieausführung: Konstruiert aus schwerem Stahl, wassergekühlten Edelstahlflanschen und hocheffizienter Aluminiumoxid-Isolierung ist dieses System für die Strapazen kontinuierlicher F&E- und Pilotproduktionsumgebungen ausgelegt.
• Außergewöhnliche Vakuumintegrität: Das Schwenkflansch-Design kombiniert mit Hochgeschwindigkeits-Turbopumpen-Kompatibilität stellt sicher, dass Forscher die ultrareinen Atmosphären erreichen und halten können, die für hochreine chemische Gasphasenabscheidung notwendig sind.
• Präzisionskonstruktion und Support: Jedes System wird nach strengen Standards kalibriert und durch eine Reihe verfügbarer Zubehörteile unterstützt, einschließlich Gaszufuhrsystemen, Wasserstoffleckdetektoren und Kalibriersätzen, um langfristige Betriebsgenauigkeit sicherzustellen.
• Anpassbare Hochkapazitätsverarbeitung: Mit seinem einzigartigen 600-mm-Rohrdurchmesser schließt dieser Ofen die Lücke zwischen Standardlaborgeräten und industriellen Produktionsöfen und bietet eine professionelle Lösung für die Hochskalierung fortschrittlicher Materialforschung.

Unser technisches Team steht bereit, Sie bei der Konfiguration der idealen thermischen Lösung für Ihre spezifischen Prozessanforderungen zu unterstützen. Kontaktieren Sie uns noch heute für eine technische Beratung oder ein formelles Angebot.