Röhrenofen
1200C Vier-Zonen-Spaltrohröfen mit Touchscreen-Steuerung, hochreinem Quarzrohr und Vakuumdichtungsflanschen
Artikelnummer: TU-45
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Produktübersicht



Dieses hochentwickelte Wärmebehandlungssystem ist darauf ausgelegt, unübertroffene Präzision in der Hochtemperatur-Materialforschung und -produktion zu bieten. Durch die Nutzung einer einzigartigen Vier-Zonen-Heizarchitektur ermöglicht die Anlage dem Bediener die Wahl zwischen der Schaffung einer perfekt gleichmäßigen Konstanttemperaturzone oder der Einstellung eines maßgeschneiderten Temperaturgradienten. Diese Vielseitigkeit ist entscheidend für die fortschrittliche Materialsynthese, bei der spezifische Temperaturprofile erforderlich sind, um chemische Reaktionen anzutreiben, Kristallwachstum zu ermöglichen oder Phasenübergänge mit höchster Genauigkeit zu steuern. Das Spaltrohrofen-Design steigert zudem die Betriebseffizienz durch schnelles Abkühlen und einfachen Zugang zum Quarzprozessrohr, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Hochdurchsatz-Labore macht.
Für anspruchsvolle F&E-Zyklen und die Pilotproduktion konzipiert, überzeugt diese Einheit bei Halbleiterdiffusion, Keramiksintern und speziellen Glühprozessen. Ihre robuste Bauweise und fortschrittlichen Isoliermaterialien gewährleisten die Aufrechterhaltung von Spitzentemperaturen bis 1200°C, während sensible Laborumgebungen und umgebende Elektronik vor Wärmeableitung geschützt werden. Branchen von der Luft- und Raumfahrt und Batterietechnologie bis hin zur Festkörperchemie vertrauen auf dieses System wegen seiner Fähigkeit, unter Vakuum oder kontrollierter Atmosphäre reproduzierbare Ergebnisse zu liefern. Die Integration von hochreinem Quarz und präzisen Vakuumdichtungen bietet eine saubere, kontaminationsfreie Umgebung für selbst die empfindlichsten Analyseparoben.
Zuverlässigkeit ist der Eckpfeiler der Konstruktion dieses Thermalsystems. Jede Komponente, von der hochreinen faserigen Aluminiumoxid-Isolierung bis zu den leistungsstarken Kühllüftern, ist ausgewählt, um strukturelle Integrität und lange Lebensdauer unter Dauerbetrieb zu gewährleisten. Das doppelschalige Stahlgehäuse bleibt auch während der maximalen Heizzyklen kühl, was die Sicherheit des Bedieners und die Haltbarkeit der Ausrüstung priorisiert. Durch die Kombination von modernster Touchscreen-Automatisierung mit traditioneller Spaltrohrofen-Zuverlässigkeit bietet dieses System eine professionelle Lösung für Forscher, die sowohl die Leistungsfähigkeit der Hochtemperaturverarbeitung als auch die Feinabstimmung der Mehrzonen-Wärmemanagements benötigen.
Hauptmerkmale
- Unabhängig gesteuerte Vier-Zonen-Heizung: Das System verfügt über vier separate Heizzonen in einer 150mm-300mm-300mm-150mm-Konfiguration, die die Erzeugung präziser Temperaturgradienten oder eine massive Gesamtheizlänge von 900mm für die Großchargenverarbeitung ermöglicht.
- Fortschrittliche Touchscreen-Oberfläche: Ein zentralisiertes hochauflösendes Touchpanel integriert vier PID-Regler und ermöglicht nahtlose 30-Segment-Programmierung für Aufheizraten, Haltezeiten und Abkühlkurven mit einer Genauigkeit von ±1°C.
- Spaltrohrofen-Konstruktion für Effizienz: Das klappbare Spaltrohrgehäuse-Design ermöglicht ein schnelles Öffnen der Kammer, erleichtert die schnellere Probenabkühlung nach der Verarbeitung und vereinfacht die Installation oder Entfernung des Quarzrohrs und interner Vorrichtungen.
- Hochleistungs-Vakuumdichtung: Ausgestattet mit einem professionellen Vakuumdichtungs-Flanschsystem mit eingebautem Nadelventil, mechanischem Manometer und Kugelhahn unterstützt die Einheit Vakuumniveaus bis zu 10-4 Torr mit geeigneten Pumpsystemen.
- Hervorragende Wärmeisolierung: Durch die Verwendung von hochreiner faseriger Aluminiumoxid-Isolierung minimiert das System den Energieverbrauch und verhindert Wärmeabstrahlung, gewährleistet eine sichere Außengehäusetemperatur und erhält die interne thermische Stabilität.
- Präzisions-Thermoelement-Array: Vier K-Typ-Thermoelemente sind strategisch in den Zonen platziert, um Echtzeit-Temperaturrückmeldungen mit hoher Genauigkeit direkt an die PID-Regler zur sofortigen Anpassung der Temperaturprofile zu liefern.
- Erweiterte Sicherheitsprotokolle: Die Ausrüstung umfasst eingebaute Überhitzungsschutz- und Thermoelementbruch-Alarmsysteme, die die Heizung automatisch abschalten, um Hardware-Schäden oder Experimentverlust während unbeaufsichtigten Betriebs zu verhindern.
- Vielseitige Rohrkompatibilität: Das System ist für die Aufnahme mehrerer Quarzrohrdurchmesser von 80mm bis 130mm ausgelegt und bietet Forschern die Flexibilität, Probengrößen zu skalieren, ohne in komplett neue Ofensysteme investieren zu müssen.
- Gebläsekühlsystem: Ein integriertes doppelschaliges Stahlgehäuse mit energieeffizienten Kühllüftern gewährleistet kontinuierlichen Luftstrom zwischen Innen- und Außenschale und verlängert die Lebensdauer elektronischer Komponenten erheblich.
- Industrie-PC-Konnektivität: Mit einem RS485-Kommunikationsanschluss und dedizierter Software ermöglicht das System Fernüberwachung, Datenprotokollierung und PC-basierte Steuerung komplexer thermischer Zyklen für umfassende Prüfpfade.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Halbleiterdiffusion | Einführung von Dotierstoffen in Siliziumwafer mithilfe präziser Temperaturgradienten entlang des Prozessrohrs. | Gewährleistet gleichmäßige Sperrschichttiefen und elektrische Eigenschaften über die gesamte Charge. |
| Festkörperbatterie-F&E | Sintern von Elektrolytmaterialien und Elektrodenbeschichtungen unter kontrollierten Atmosphären oder Vakuum. | Verhindert Oxidation und gewährleistet hohe Ionenleitfähigkeit in empfindlichen Batteriekomponenten. |
| CVD / PECVD-Prozesse | Dient als thermischer Reaktor für die chemische Gasphasenabscheidung von Dünnschichten, Nanoröhren oder Nanodrähten. | Stabile Mehrzonenheizung ermöglicht präzise Kontrolle über Gasphasenreaktionen und Schichtdicke. |
| Glühen von Metalllegierungen | Abbau von Eigenspannungen in präzisionsbearbeiteten Luft- und Raumfahrt- oder medizinischen Metallkomponenten. | Kontrollierte Abkühlraten und Vakuumumgebung verhindern Oberflächendekarburierung und Zunderbildung. |
| Keramik-Co-Firing | Hochtemperaturverarbeitung von Mehrschicht-Keramikkondensatoren oder piezoelektrischen Materialien. | Die 300mm-Konstanttemperaturzone gewährleistet gleichmäßiges Schwinden und strukturelle Dichte. |
| Kristallzucht | Nutzung der Vier-Zonen-Gradientenfähigkeit zur Förderung der Bridgman- oder Czochralski-Wachstumsmethoden. | Anpassbare Temperaturgradienten ermöglichen strikte Kontrolle der Fest-Flüssig-Grenzfläche für hochreine Kristalle. |
| Atmosphärisches Sintern | Erhitzen von Oxidkeramiken in Stickstoff, Argon oder Formiergas, um die theoretische Dichte zu erreichen. | Hochwertige Vakuumflansche und Nadelventile ermöglichen präzises Gasflussmanagement und Reinheit. |
| Katalysatortests | Bewertung der Leistung von Industriekatalysatoren bei erhöhten Temperaturen unter verschiedenen Strömungsbedingungen. | Robuste Quarzrohrstruktur übersteht korrosive Gasumgebungen und schnelle thermische Zyklen. |
Technische Spezifikationen
Allgemeine Systemparameter
| Merkmal | Spezifikationsdetails (Modell TU-45) |
|---|---|
| Artikelnummer | TU-45 |
| Ofenstruktur | Doppelschaliges Stahlgehäuse mit Gebläselsüftung |
| Isoliermaterial | Hochreine faserige Aluminiumoxid-Isolierung (energiesparend) |
| Maximale Temperatur | 1200 °C (für < 1 Stunde) |
| Dauerbetriebstemperatur | 1100 °C |
| Maximale Aufheizrate | ≤ 20 °C / Minute |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1 °C |
| Thermoelementtyp | 4 Sätze K-Typ-Thermoelemente |
Mehrzonen-Konfiguration
| Heizzonen-Metriken | Messwert |
|---|---|
| Gesamtheizzonenlänge | 900 mm |
| Einzelzonenlängen | Zone 1: 150mm | Zone 2: 300mm | Zone 3: 300mm | Zone 4: 150mm |
| Konstanttemperaturzone | 300 mm innerhalb ± 2 °C (alle Zonen auf gleichem Sollwert) |
| Steuerungsmethode | Unabhängige PID-Regelung für jede Zone über Touchscreen |
Stromversorgung und elektrische Anforderungen
| Parameter | Anforderung |
|---|---|
| Eingangsspannung | AC 208-240V Einphasig, 50/60 Hz |
| Maximale Leistungsaufnahme | 7 KW |
| Stromkreisschutz | 50A Sicherung erforderlich |
| Kommunikationsschnittstelle | RS485-Port (Software inklusive) |
Prozessrohr und Variantenoptionen
| Basismodell | Rohrmaterial | Rohrabmessungen (Außen- x Innendurchmesser x Länge) | Flanschkompatibilität |
|---|---|---|---|
| TU-45-80 | Hochreiner Quarz | 80 mm x 74 mm x 1400 mm | Vakuumgedichtet mit 1/4"-Anschluss |
| TU-45-100 | Hochreiner Quarz | 100 mm x 94 mm x 1400 mm | Vakuumgedichtet mit 1/4"-Anschluss |
| TU-45-130 | Hochreiner Quarz | 130 mm x 124 mm x 1400 mm | Vakuumgedichtet mit 1/4"-Anschluss |
Vakuum- und Atmosphärenkontrolle
| Merkmal | Spezifikation |
|---|---|
| Vakuumniveau (Turbopumpe) | Bis zu 10-4 Torr |
| Vakuumniveau (mechanisch) | Bis zu 10-2 Torr |
| Vakuumanschlüsse | KF25-Anschluss auf Anfrage verfügbar |
| Gasdruckgrenze | < 0,2 bar (Standardbetrieb) |
| Maximale Gasdurchflussrate | < 200 SCCM (zum Schutz des Quarzes vor thermischem Schock) |
| Enthaltene Zubehörteile | Nadelventil, mechanisches Manometer, Kugelhahn, Keramikrohrblöcke |
Warum uns wählen
- Unübertroffene thermische Flexibilität: Die Vier-Zonen-Konfiguration bietet ein Maß an Kontrolle, das Standard-Einzonenöfen nicht erreichen können, und ermöglicht komplexe Gradientensynthese und überlegene Gleichmäßigkeit über ein größeres Volumen.
- Intuitive Touch-Bedienung: Durch die Konsolidierung von vier unabhängigen Reglern in eine einzige Touchscreen-Oberfläche reduzieren wir Bedienfehler und vereinfachen die Verwaltung komplexer 30-Segment-Temperaturprofile.
- Professionelle Vakuumtechnik: Im Gegensatz zu Standard-Laboröfen ist dieses System für hohe Vakuumintegrität optimiert, mit präzisionsgefertigten Flanschen und hochwertigem Quarz, die den Standards der industriellen Halbleiterverarbeitung entsprechen.
- Sicherheitsorientiertes Design: Die Doppelschalenkonstruktion und intensive Luftkühlung sind für die Sicherheit in hochfrequentierten Laboren ausgelegt und stellen sicher, dass die hohen Innentemperaturen kein Risiko für Personal oder andere Geräte darstellen.
- Investitionsgerechte Haltbarkeit: Gebaut mit hochreiner Aluminiumoxid-Isolierung und hochwertigen Heizelementen ist dieses System für Jahre konsistenter Leistung in anspruchsvollen F&E-Umgebungen ausgelegt und bietet durch seine Zuverlässigkeit eine hohe Kapitalrendite.
Dieses Hochleistungs-Vierzonen-Thermalsystem repräsentiert den Gipfel der Labor-Wärmebehandlungstechnologie. Kontaktieren Sie THERMUNITS noch heute, um ein Angebot anzufordern oder eine an Ihre spezifischen Materialwissenschaftsanforderungen angepasste Konfiguration zu besprechen.
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