Hochtemperatur-Rohrofen 1800°C für CVD-Forschung, Vakuumsintern und präzise Wärmebehandlung

Röhrenofen

Hochtemperatur-Rohrofen 1800°C für CVD-Forschung, Vakuumsintern und präzise Wärmebehandlung

Artikelnummer: TU-GS17

Maximale Temperatur: 1800°C Temperaturgenauigkeit: +/- 1°C Heizelement: 1900 Grad MoSi2
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Dieser Hochtemperatur-Rohrofen repräsentiert die Spitze der thermischen Prozesstechnologie und wurde speziell für anspruchsvolle Labor- und industrielle F&E-Umgebungen entwickelt. Durch die Kombination einer maximalen Betriebstemperatur von 1800°C mit einem hochreinen Atmosphärenkontrollsystem bietet das Gerät eine außergewöhnliche Plattform für Materialsynthese, Sintern und Glühen. Sein Kernvorteil liegt in der Kombination aus schnellem thermischen Ansprechverhalten, bemerkenswerter Temperaturgleichmäßigkeit und einer robusten vakuumdichten Umgebung, die sicherstellt, dass empfindliche Materialien unter strengsten Bedingungen absolut konsistent verarbeitet werden.

Das System wurde primär für Materialwissenschaftler und Industrieingenieure entwickelt und eignet sich hervorragend für Anwendungen wie die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), atmosphärengesteuertes Sintern und Vakuumglühen. Es wird häufig in der Luft- und Raumfahrt, der Halbleiterindustrie und der modernen Keramikindustrie eingesetzt, wo eine präzise Kontrolle des Temperaturgradienten und der Gasumgebung unerlässlich ist. Das doppelschichtige Stahlgehäuse mit integrierter Luftkühlung sorgt dafür, dass das Äußere auch bei extremen Temperaturen im Innenraum sicher berührbar bleibt, was die Laborsicherheit und Betriebseffizienz erhöht.

Anwender können sich dank der Auswahl hochwertiger Komponenten voll auf die Zuverlässigkeit dieses Geräts verlassen. Mit erstklassigen Heizelementen und aus Japan importierter polykristalliner Aluminiumoxid-Faserisolierung ist das System so konstruiert, dass es den Belastungen kontinuierlicher Hochtemperaturzyklen standhält. Die Integration ausgeklügelter Sicherheitsverriegelungen und in Japan hergestellter PID-Steuerelektronik stellt sicher, dass jedes Experiment oder jede Produktionscharge vor Überhitzung geschützt ist und eine stabile sowie reproduzierbare thermische Umgebung für anspruchsvolle Forschung und Entwicklung bietet.

Hauptmerkmale

  • Fortschrittliche 1900-Grade-MoSi2-Heizelemente: Dieses System verwendet erstklassige Molybdändisilizid-Heizelemente, die für 1900°C ausgelegt sind und sicherstellen, dass der Ofen problemlos eine kontinuierliche Betriebstemperatur von 1750°C aufrechterhalten kann. Diese Elemente wurden aufgrund ihrer hervorragenden Oxidationsbeständigkeit und ihrer Fähigkeit, ein hochgradig gleichmäßiges Temperaturfeld über die gesamte Heizlänge zu gewährleisten, ausgewählt.

  • Präzise digitale Shimaden-Steuerung: Ausgestattet mit einem importierten japanischen Shimaden FP93-Regler bietet das Gerät 40 programmierbare Segmente, die in mehrere unabhängige Programme unterteilt werden können. Dies ermöglicht komplexe Rampen-, Halte- und Abkühlzyklen, während sechs verschiedene Gruppen von PID-Parametern eine punktgenaue Genauigkeit über niedrige, mittlere und hohe Temperaturbereiche gewährleisten.

  • Hochreine Aluminiumoxid-Faserisolierung: Die Innenkammer besteht aus 98% polykristalliner Aluminiumoxidfaser. Dieses aus Japan importierte Material mit hohem Reflexionsvermögen bietet außergewöhnliche Wärmespeicherung und Beständigkeit gegen Thermoschock, wodurch Risse oder Degradation bei schnellen Aufheiz- und Abkühlzyklen verhindert werden.

  • Vakuumdichte Atmosphärenkontrolle: Das Gerät verfügt über Edelstahl-Vakuumflansche mit Doppelring-Silikondichtungen an beiden Enden des Keramikrohrs. Dies bietet eine sichere Umgebung für die Verarbeitung unter Vakuumniveaus von bis zu 10-4 Torr (mit entsprechenden Pumpen) oder unter inerten, reduzierenden oder speziellen Gasatmosphären, die über integrierte Durchflussmesser gesteuert werden.

  • Doppelwandiges luftgekühltes Gehäuse: Der Ofen ist auf Sicherheit und Leistung ausgelegt und nutzt eine doppelschichtige Struktur mit einem aktiven Luftkühlsystem zwischen der Innen- und Außenwand. Dieses Design ermöglicht schnellere Abkühlraten nach der Verarbeitung und hält die Außenflächentemperatur niedrig, um das Laborpersonal zu schützen.

  • Umfassendes Sicherheitsverriegelungssystem: Um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten, ist ein Überlauf-Endschalter in die Abdeckung integriert. Die Stromzufuhr wird automatisch unterbrochen, wenn die Kammer während des Betriebs geöffnet wird. Zusätzlich umfasst das System einen Leckageschutz und automatische Abschaltprotokolle bei Thermoelementausfall oder Überstromereignissen.

  • Digitale Datenprotokollierung und Konnektivität: Mit einer integrierten RS485-Kommunikationsschnittstelle und spezieller Software können Bediener alle Parameter von einem Computer aus überwachen und steuern. Das System zeichnet Echtzeit-Heizkurven auf, was eine präzise Datenverfolgung ermöglicht und die Möglichkeit bietet, historische Prozessparameter für Audit-Trails zu speichern oder abzurufen.

  • Langlebiges importiertes Keramik-Prozessrohr: Das Gerät ist mit einem hochwertigen importierten Keramikrohr ausgestattet, das speziell für seine Fähigkeit ausgewählt wurde, die strukturelle Integrität unter extremen thermischen Belastungen und chemischer Exposition aufrechtzuerhalten, was eine lange Lebensdauer selbst in Umgebungen mit hohem Durchsatz gewährleistet.

Anwendungen

Anwendung Beschreibung Hauptvorteil
CVD / PECVD-Forschung Synthese von Kohlenstoff-Nanoröhren, Graphen oder 2D-Materialien mittels Gasphasenabscheidung. Präziser Gasfluss und Temperaturstabilität für gleichmäßiges Schichtwachstum.
Technisches Keramiksintern Sintern von hochreinem Aluminiumoxid, Zirkoniumoxid oder Siliziumkarbid-Komponenten bei extremen Temperaturen. 1800°C-Fähigkeit ermöglicht vollständige Verdichtung moderner Keramiken.
Vakuumglühen Wärmebehandlung von Metalllegierungen oder Halbleiterwafern im Vakuum zur Vermeidung von Oxidation. Hochvakuum-Dichtigkeit verhindert Kontamination empfindlicher Substrate.
Atmosphärenreduktion Verarbeitung von Materialien in einer maßgeschneiderten reduzierenden Atmosphäre, wie Wasserstoff oder Formiergas. Zuverlässige gasdichte Flansche und Durchflusskontrolle gewährleisten sichere Handhabung der Atmosphäre.
Batteriematerialanalyse Kalzinierung und thermische Prüfung von Kathoden- und Anodenmaterialien für Batterien der nächsten Generation. Zyklus-Reproduzierbarkeit und Datenprotokollierung für strenge F&E-Dokumentation.
Pulvermetallurgie Hochtemperatur-Konsolidierung von Metallpulvern zu festen Bauteilen. Hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit sorgt für konsistente mechanische Eigenschaften.
Katalysatorsynthese Thermische Aktivierung und Prüfung von katalytischen Materialien unter kontrollierten Gasumgebungen. Mehrsegment-PID-Steuerung ermöglicht komplexe mehrstufige Reaktionsprofile.

Technische Spezifikationen

Spezifikation TU-GS17-I TU-GS17-II
Rohrdurchmesser 60 mm 80 mm
Rohrlänge 1000 mm 1000 mm
Heizlänge 300 mm 300 mm
Maximale Temperatur 1800°C 1800°C
Kontinuierliche Arbeitstemp. 1750°C 1750°C
Heizrate ≤ 30°C/min ≤ 30°C/min
Empfohlene Heizrate ≤ 15°C/min ≤ 15°C/min
Temperaturgenauigkeit +/- 1°C +/- 1°C
Heizelement 1900 MoSi2 1900 MoSi2
Thermoelement Typ B Typ B
Nennleistung 5,5 KW 5,5 KW
Eingangsspannung 220V 220V
Phase Einphasig Einphasig
Kammermaterial 98% polykristalline Aluminiumoxidfaser 98% polykristalline Aluminiumoxidfaser
Temperaturregler Shimaden FP93 (40 Segmente/4 Programme) Shimaden FP93 (40 Segmente/4 Programme)
Steuerelektronik Deutschland Semikron Thyristor / Chint Power Deutschland Semikron Thyristor / Chint Power
Vakuumfähigkeit 10-1 bis 10-4 Torr (abhängig vom Pumpentyp) 10-1 bis 10-4 Torr (abhängig vom Pumpentyp)
Schnittstelle RS485 RS485

Warum diesen Rohrofen wählen

  • Erstklassige technische Komponenten: Im Gegensatz zu Standard-Laborgeräten verwendet dieses System hochwertige Komponenten, die aus Japan und Deutschland importiert wurden, einschließlich des Shimaden-Reglers und der Semikron-Thyristoren, um langfristige industrielle Zuverlässigkeit zu garantieren.
  • Überlegene thermische Effizienz: Die 98% polykristalline Aluminiumoxid-Isolierung und das doppelwandige Kühlsystem maximieren die Energieeffizienz und schützen gleichzeitig die internen Komponenten vor thermischer Ermüdung, was die Lebensdauer des Geräts verlängert.
  • Unübertroffene Präzision: Mit einer Genauigkeit von ±1°C und fortschrittlichen PID-Algorithmen können Forscher hochgradig reproduzierbare Ergebnisse erzielen, was für Peer-Review-Forschung und industrielle Qualitätskontrolle entscheidend ist.
  • Vielseitiges integriertes Design: Die Kombination aus extremer Temperaturfähigkeit (1800°C) mit vollständiger Atmosphären- und Vakuumunterstützung macht dies zu einem Mehrzweckwerkzeug, das nahezu jeden Hochtemperatur-Wärmebehandlungsprozess bewältigen kann.
  • Robuste Sicherheit und Support: Jedes Gerät ist mit mehreren Ebenen von Hardware- und Softwareschutz ausgestattet, was die Einhaltung strenger Sicherheitsstandards gewährleistet und Sicherheit bei unbeaufsichtigten Übernacht-Läufen bietet.

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