RTP-Ofen
Hochtemperatur-Rohrofen 1500°C mit Schiebebünden und 50 mm Außendurchmesser für schnelle thermische Verarbeitung – schnelles Heizen und Kühlen
Artikelnummer: TU-RT03
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Produktübersicht

Dieses Hochtemperatur-Thermoprozesssystem wurde speziell entwickelt, um die Lücke zwischen herkömmlichen Rohröfen und Anlagen für schnelle thermische Verarbeitung (RTP) zu schließen. Durch die Integration eines manuellen Schienenschiebemechanismus mit einer leistungsstarken 1500°C-Heizkammer können Forscher Verarbeitungsrohre sofort in die heiße Zone ein- und ausfahren. Diese Fähigkeit ist entscheidend für materialwissenschaftliche Anwendungen, bei denen die Mikrostrukturkontrolle von präzisen Heiz- und Kühlraten abhängt, die die Fähigkeiten statischer Thermosysteme übersteigen. Der Mehrwert liegt in der Fähigkeit, extreme Temperaturgradienten zu einem Bruchteil der Kosten von automatisierten RTP-Systemen zu erreichen – ein vielseitiges Werkzeug für die fortschrittliche Materialsynthese.
Primäre Anwendungsfälle für diese Anlage sind die Entwicklung von Festkörperelektrolyten, Halbleiterausheilung (Annealing) und die Untersuchung von Phasenumwandlungen in fortschrittlichen Keramiken. Zielbranchen reichen von Luft- und Raumfahrt und Energiespeicherung bis hin zu Mikroelektronik und industriellen F&E-Laboratorien. Das Design legt Priorität auf Flexibilität und unterstützt sowohl Mullit- als auch Quarzrohre, um unterschiedlichen Anforderungen an Atmosphäre und Temperatur gerecht zu werden. Durch die Möglichkeit der schnellen Einbringung in eine vorgeheizte Kammer oder sofortige Entnahme für Kaltluftkühlung bietet dieses System die betriebliche Agilität, die für iterative experimentelle Arbeitsabläufe erforderlich ist.
Vertrauen in diese Anlage wird durch ihre robuste Konstruktion und hochwertigen Komponenten gestützt. Mit 1500°C-Heizelementen aus Siliziumkarbid (SiC) und doppelten S-Thermoelementen gewährleistet die Einheit gleichbleibende Leistung unter anspruchsvollen Temperaturzyklen. Der doppelte Schieber aus verchromtem Stahl garantiert gleichmäßige, zuverlässige Bewegung bei langfristigem Betrieb. Egal ob im Hochvakuum oder unter Inertgasatmosphäre – dieser Ofen liefert die Präzision und Zuverlässigkeit, die für anspruchsvolle Industrieforschung und qualitätsempfindliche Materialproduktion erforderlich sind.
Hauptmerkmale
- Fähigkeit zur schnellen thermischen Verarbeitung: Die integrierte Schiebeschiene ermöglicht es, das Verarbeitungsrohr manuell in einen vorgeheizten Ofen für eine fast sofortige Erwärmung zu bewegen oder für beschleunigtes Abkühlen zurückzuziehen, wodurch die Zykluszeiten deutlich reduziert werden.
- Temperaturmanagement mit Doppeltemperaturregler: Zwei unabhängige digitale Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten regeln die Ofentemperatur und überwachen das Echtzeitprofil der Probe, was maximale Prozesstransparenz gewährleistet.
- Präzise SiC-Heizelemente: Ausgestattet mit vier hochwertigen 1500°C-Siliziumkarbidstäben liefert der Ofen zuverlässige und stabile Wärmeenergie für Dauerbetrieb bis 1400°C und intermittierenden Betrieb bei 1500°C.
- Fortschrittliche Vakuumdichtungstechnologie: Mit Vakuumbünden aus Edelstahl und integriertem digitalen Messgerät kann das System Vakuumwerte bis zu 10-5 Torr erreichen, wenn es mit einer Molekularpumpe gepaart wird – ideal für sauerstoffempfindliche Prozesse.
- Austauschbare Verarbeitungsrohre: Die Anlage enthält sowohl in den USA hergestellte Mullit- als auch hochreine Quarzrohre, sodass Nutzer das optimale Material für ihre spezifischen Temperatur- und Chemiekompatibilitätsanforderungen auswählen können.
- Echtzeit-Thermofeedback: Ein internes S-Thermoelement wird durch eine sekundäre Sonde ergänzt, die direkt in das Rohr eingeführt wird, und liefert eine genaue 1:1-Messung der tatsächlichen Temperaturumgebung der Probe.
- Industrielle Schiebeschiene: Das 350 mm lange Doppelschienensystem aus verchromtem Stahl bietet eine stabile und glatte mechanische Schnittstelle für die manuelle Verschiebung des Rohres bei schnellen Temperaturübergängen.
- Computergesteuerte Schnittstelle: Ein integrierter RS485-Anschluss ermöglicht die vollständige Systemintegration mit Laborsoftware und ermöglicht automatisierte Datenprotokollierung und Fernverwaltung komplexer Temperaturrezepte.
- Verbesserte Sicherheitsarchitektur: Integrierte Übertemperaturalarme und automatische Schutzschaltungen ermöglichen den sicheren Betrieb des Systems ohne ständige Überwachung und schützen sowohl die Anlage als auch die Probe.
- Optimierte Konstante Temperaturzone: Die Konstruktion der Heizzone bietet einen 100 mm stabilen Bereich innerhalb von ±1°C und gewährleistet eine gleichmäßige Wärmeverteilung über die gesamte Probenlänge.
Anwendungen
| Anwendung | Beschreibung | Hauptvorteil |
|---|---|---|
| Festkörperelektrolyte | Herstellung von LPS-Festkörperelektrolytpulver mit Schnellkühlverfahren. | Verbessert die Ionenleitfähigkeit durch Kontrolle der Kristallphasen während des Abkühlens. |
| Halbleiter-Annealing | Schnelle thermische Ausheilung von Silizium- oder Verbindungshalbleiterwafern unter kontrollierten Atmosphären. | Minimiert die Dotantendiffusion bei gleichzeitig effizienter Aktivierung ionenimplantierter Spezies. |
| Keramiksinterung | Schnellzyklus-Sintern von fortschrittlichen technischen Keramiken zur Begrenzung des Kornwachstums. | Erzeugt hochdichte Keramikkomponenten mit überlegenen mechanischen Eigenschaften. |
| Phasenumwandlung | Untersuchung der Auswirkungen von Schnellabschreckung auf Metalle und Legierungsmikrostrukturen. | Ermöglicht den Einfang metastabiler Phasen durch hohe Kühlraten. |
| CVD / PECVD-Forschung | Dient als thermische Basis für Experimente zur chemischen Gasphasenabscheidung. | Bietet eine stabile Hochvakuumumgebung für präzises Dünnschichtwachstum. |
| Nanomaterialwachstum | Synthese von Kohlenstoffnanoröhren oder Nanodrähten, die präzise Temperaturanstiege erfordern. | Hohe Anstiegsraten ermöglichen eine bessere Kontrolle der Keimbildungs- und Wachstumskinetik. |
| Katalysatortests | Prüfung der thermischen Stabilität und Aktivität von Katalysatoren bei Hochgeschwindigkeitszyklen. | Beschleunigt Alterungstests durch Verkürzung der Zeit zwischen Temperaturstufen. |
Technische Spezifikationen
| Merkmal | Spezifikationsdetails für TU-RT03 |
|---|---|
| Modellnummer | TU-RT03 |
| Ofenkonstruktion | Einzelschiebebund auf der rechten Seite; manuelle Schiene für Rohrverschiebung; integriertes digitales Vakuummeter |
| Vakuumleistung | 10-5 Torr (Turbopumpe); 10-2 Torr (Mechanische Pumpe) |
| Leistung | 2,5 kW (erfordert 20A-Sicherung) |
| Eingangsspannung | Einphasenwechselstrom 208-240V, 50/60 Hz |
| Maximaltemperatur | 1500°C |
| Kontinuierliche Arbeitstemperatur | 1400°C (mit Mullitrohr) |
| Temperaturgenauigkeit | ± 1°C |
| Heizzonenlänge | 6" (152 mm) |
| Konstante Temperaturzone | 100 mm (±1°C) im Bereich 800 - 1500°C |
| Heizelemente | 4 Stück 1500°C-SiC-Stäbe |
| Thermoelemente | Doppeltes S-Typ (eines für Ofenregelung, eines für Probenüberwachung) |
| Temperaturregler | Doppelter 30-segmentiger programmierbarer digitaler Regler mit RS485-Anschluss |
| Mullitrohr-Spezifikationen | 50 mm AD x 44 mm ID x 304,8 mm L; Max 1500°C (Luft) / 1300°C (Vakuum) |
| Quarzrohr-Spezifikationen | 50 mm AD x 44 mm ID x 304,8 mm L; Max 1200°C (Luft) / 1000°C (Vakuum) |
| Schiebeschienen-Typ | Doppelschiene aus verchromtem Stahl; 350 mm Schiebelänge |
| Heizrate (Mullit) | 10°C/Sekunde (RT-800°C); 7°C/Sekunde (800-1000°C); 1,5°C/Sekunde (1200-1300°C) |
| Kühlrate (Mullit) | 14°C/Sekunde (1350-1000°C); 7°C/Sekunde (1000-800°C); 2,5°C/Sekunde (500-400°C) |
| Heizrate (Quarz) | 30°C/Sekunde (RT-500°C); 12°C/Sekunde (500-800°C); 1°C/Sekunde (1000-1100°C) |
| Kühlrate (Quarz) | 16°C/Sekunde (1100-800°C); 9°C/Sekunde (800-600°C); 2,5°C/Sekunde (400-300°C) |
| Konformität | CE-zertifiziert; NRTL/CSA auf Anfrage erhältlich |
Warum Sie uns wählen sollten
- Unübertroffene thermische Agilität: Das manuelle Schiebedesign bietet eine kostengünstige Alternative zu teuren automatisierten RTP-Systemen und bietet Kühlraten bis zu 16°C/Sekunde und Heizraten bis 30°C/Sekunde für schnelles Materialscreening.
- Präzisionstechnik und Überwachung: Mit doppelten S-Thermoelementen und unabhängigen Reglern eliminiert dieses System Rätselraten, indem es Echtzeitdaten sowohl zur Ofenumgebung als auch zu den Bedingungen im inneren Rohr liefert.
- Hochvakuum und saubere Verarbeitung: Die Edelstahl-Dichtungstechnologie und digitale Überwachung ermöglichen eine ultrareine Verarbeitung bis 10-5 Torr – unverzichtbar für die Forschung an hochreinen Halbleitern und Elektrolyten.
- Langlebige Industriekonstruktion: Mit Schienen aus verchromtem Stahl und hochwertigen SiC-Elementen ist dieses System auf Langlebigkeit und gleichbleibende Leistung in intensiven 24/7-F&E-Umgebungen ausgelegt.
- Vielseitige Materialkompatibilität: Die Einbeziehung sowohl von hochtemperaturbeständigem Mullit als auch von hochreinem Quarz stellt sicher, dass das System sofort für eine breite Palette chemischer und thermischer Anforderungen einsatzbereit ist.
Mit der Investition in dieses System zur schnellen thermischen Verarbeitung stellt sicher, dass Ihr Labor über die Geschwindigkeit und Präzision verfügt, die für die Entwicklung neuer Generationen von Materialien erforderlich ist. Kontaktieren Sie unser technisches Vertriebsteam noch heute für ein detailliertes Angebot oder um eine benutzerdefinierte Konfiguration zu besprechen, die auf Ihre spezifischen Forschungsparameter zugeschnitten ist.
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